Translation of "Sacrificial material" in German
Wet
etching
is
likewise
useful
during
the
removal
of
the
sacrificial
material.
Eine
Naßätzung
ist
ebenfalls
nützlich
beim
Entfernen
des
Opfermaterials.
EuroPat v2
The
porous
silicon
is
subsequently
removed
as
sacrificial
material
using
ammonia.
Das
poröse
Silizium
wird
anschließend
als
Opfermaterial
mit
Ammoniak
entfernt.
EuroPat v2
The
first
layer
14
of
the
sacrificial
material
is
applied
by
a
galvanic
process.
Die
erste
Schicht
14
aus
dem
Opfermaterial
wird
durch
einen
galvanischen
Prozess
aufgewachsen.
EuroPat v2
Preferably,
the
second
sacrificial
material
comprises
an
electrically
conducting
material,
in
particular
copper.
Vorzugsweise
umfasst
das
zweite
Opfermaterial
ein
elektrisch
leitendes
Material,
insbesondere
Kupfer.
EuroPat v2
Here,
first
masking
elements
are
created
from
the
sacrificial
material.
Dabei
entstehen
aus
dem
Opfermaterial
erste
Maskenelemente.
EuroPat v2
The
sacrificial
material
is
removed
in
the
next
method
step.
Im
nächsten
Verfahrensschritt
wird
das
Opfermaterial
abgetragen.
EuroPat v2
Removal
of
the
sacrificial
material
may
be
performed
by
way
of
various
etching
methods.
Die
Abtragung
des
Opfermaterials
kann
durch
verschiedene
Ätzverfahren
vorgenommen
werden.
EuroPat v2
The
second
sacrificial
material
may
be
deposition-placed
into
these
trenches.
In
diese
Gruben
kann
dann
das
zweite
Opfermaterial
abgeschieden
werden.
EuroPat v2
Initially
and
optionally,
a
further
sacrificial
material
layer
is
deposition-placed
on
the
material
of
the
device
to
be
produced.
Zunächst
wird
optional
eine
weitere
Opfermaterialschicht
auf
das
Material
der
herzustellenden
Vorrichtung
abgeschieden.
EuroPat v2
Subsequently,
a
further
sacrificial
material
is
deposition-placed,
so
that
a
masking
element
is
formed.
Anschließend
wird
ein
weiteres
Opfermaterial
abgeschieden,
so
dass
ein
Maskenelement
gebildet
wird.
EuroPat v2
Deposition-placing
of
the
sacrificial
material
is
performed
substantially
in
the
first
voids.
Die
Abscheidung
des
Opfermaterials
erfolgt
im
Wesentlichen
in
den
ersten
Freiräumen.
EuroPat v2
The
masking
elements
in
the
first
voids
are
formed
by
the
deposition
of
the
sacrificial
material.
Durch
die
Abscheidung
des
Opfermaterials
werden
die
Maskenelemente
in
den
ersten
Freiräumen
gebildet.
EuroPat v2
The
photoresist
layer
5
is
applied
to
the
sacrificial
material
layer
4
and
structured.
Die
Fotolackschicht
5
wird
auf
die
Opfermaterialschicht
4
aufgetragen
und
strukturiert.
EuroPat v2
In
this
case,
deposition-placing
the
first
sacrificial
material
layer
is
not
mandatory.
In
diesem
Fall
ist
das
Abscheiden
der
ersten
Opfermaterialschicht
nicht
zwingend
erforderlich.
EuroPat v2
The
subsequent
formation
of
the
buried
plate
165
is
preferably
carried
out
by
outdiffusion
from
the
sacrificial
filling
material
152
.
Vorzugsweise
wird
das
nachfolgende
Ausbilden
der
vergrabenen
Platte
165
durch
Ausdiffusion
aus
dem
Opfer-Füllmaterial
152
durchgeführt.
EuroPat v2
The
cover
layer
is
then
deposited
on
said
surface
and
can
be
structured
after
removal
of
the
sacrificial
material.
Auf
dieser
wird
dann
die
Abdeckschicht
abgeschieden,
die
nach
Entfernen
des
Opfermaterials
strukturiert
werden
kann.
EuroPat v2
This
means
that
the
lattice
structure
is
at
least
partially
filled
with
the
sacrificial
material
of
the
first
layer.
Das
bedeutet,
dass
die
Gitterstruktur
zumindest
teilweise
mit
dem
Opfermaterial
der
ersten
Schicht
aufgefüllt
wird.
EuroPat v2
In
this
way,
contact
between
the
first
layer
of
the
sacrificial
material
and
the
lattice
structure
is
as
complete
as
possible.
Damit
wird
ein
möglichst
vollständiger
Kontakt
der
ersten
Schicht
aus
dem
Opfermaterial
und
der
Gitterstruktur
erreicht.
EuroPat v2
SiGe,
for
example,
is
used
as
a
sacrificial
material,
which
may
be
removed
using
a
gas
phase
process.
Als
Opfermaterial
wird
beispielsweise
SiGe
verwendet,
welches
mittels
eines
Gasphasenprozesses
entfernt
werden
kann.
EuroPat v2
According
to
one
exemplary
embodiment
of
the
present
invention,
the
sacrificial
material
is
removed
in
a
gas
phase
process
using
an
etching
gas.
Gemäß
einer
bevorzugten
Ausgestaltung
der
Erfindung
wird
das
Opfermaterial
mittels
eines
Ätzgases
in
einem
Gasphasenprozess
entfernt.
EuroPat v2
The
third
layer
22
of
the
sacrificial
material
is
removed
prior
to
the
final
production
of
the
device.
Die
dritte
Schicht
22
aus
dem
Opfermaterial
wird
vor
der
endgültigen
Herstellung
der
Vorrichtung
entfernt.
EuroPat v2
Therefore,
only
the
first
material
of
the
device
to
be
produced
remains
after
removal
of
the
sacrificial
material.
Nach
dem
Abtragen
des
Opfermaterials
bleibt
daher
nur
das
erste
Material
der
herzustellenden
Vorrichtung
bestehen.
EuroPat v2
In
the
following
step,
a
photoresist
layer
is
applied
to
the
substrate
or
to
the
optional
sacrificial
material
layer,
respectively.
Im
folgenden
Schritt
wird
eine
Fotolackschicht
auf
das
Substrat
bzw.
auf
die
optionale
Opfermaterialschicht
aufgetragen.
EuroPat v2
According
to
a
further
embodiment
(not
illustrated),
in
the
first
and
preferably
in
the
second
embodiment,
the
sacrificial
filling
material
could
be,
for
example,
photoresist
instead
of
polysilicon,
or
another
suitable
filling
material.
Gemäß
einer
weiteren
(nicht
illustrierten)
Ausführungsform
könnte
bei
der
ersten
und
vorzugsweise
bei
der
zweiten
Ausführungsform
das
Opfer-Füllmaterial
z.B.
Fotolack
anstelle
von
Polysilizium
oder
ein
anderes
geeignetes
Füllmaterial
sein.
EuroPat v2