Translation of "Photosensitively" in German
The
information
thus
obtained
about
angle
error
a
of
measuring
table
1
or
of
upper
plate
11
may
be
used
in
order
to
align
an
object
to
be
situated
on
upper
plate
11
and
machined,
such
as
for
example
a
photosensitively
coated
plate
to
be
exposed
using
a
photomask
or
measuring
table
1
itself
such
that
the
angle
errors
are
compensated.
Die
so
gewonnenen
Informationen
über
den
Winkelfehler
a
des
Messtisches
1
bzw.
der
Oberplatte
11
können
verwendet
werden,
um
ein
auf
der
Oberplatte
11
anzuordnendes,
zu
bearbeitendes
Objekt,
wie
zum
Beispiel
eine
fotoempfindlich
beschichtete
und
mit
einer
Fotomaske
zu
belichtende
Platte
bzw.
den
Messtisch
1
selbst,
so
auszurichten,
dass
die
Winkelfehler
kompensiert
werden.
EuroPat v2
The
device
for
determining
the
position
of
an
object
movable
along
one
or
more
displacement
directions
may
be
provided
not
only
for
measurements
in
the
narrower
sense,
for
example
for
calibrating
a
cross
grating
provided
on
the
object,
but
it
may
also
be
used
(by
interacting
with
a
control
device
which
utilizes
the
ascertained
position
values
for
control
purposes)
for
positioning
the
object
to
be
measured
when
machining
the
object,
for
example
for
exposing
structures
of
a
photosensitively
coated
plate
(photolithography)
or
for
engraving
using
a
laser
or
milling
tool.
Die
erfindungsgemäße
Vorrichtung
zur
Bestimmung
der
Position
eines
entlang
einer
oder
mehrerer
Verschieberichtungen
bewegbaren
Objektes
kann
dabei
nicht
nur
für
Messungen
im
engeren
Sinne,
etwa
zum
Kalibrieren
eines
auf
dem
Objekt
vorgesehenen
Kreuzgitters,
vorgesehen
sein,
sondern
sie
kann
auch
(durch
Zusammenwirken
mit
einer
Steuereinrichtung,
welche
die
ermittelten
Positionswerte
zur
Steuerung
nutzt)
zum
Positionieren
des
zu
messenden
Objektes
beim
Bearbeiten
des
Objektes
verwendet
werden,
zum
Beispiel
zum
Belichten
von
Strukturen
einer
fotoempfindlich
beschichteten
Platte
(Fotolithographie)
oder
zum
Gravieren
mit
Laser
oder
Fräser.
EuroPat v2