Übersetzung für "Etch pit" in Deutsch
It
may
be
represented
for
example
by
the
etch
pit
density
(epd).
Sie
kann
beispielsweise
durch
die
Ätzgrubendichte
(epd,
etch
pit
density)
repräsentiert
sein.
EuroPat v2
However,
this
type
of
mechanical
limitation
is
not
suitable
for
uses
in
which
the
deflection
or
amplitude
must
be
limited
to
very
small
values,
because
a
minimum
etch
pit
depth
is
required
for
the
complete
undercutting
of
the
rotary
pendulum.
Allerdings
eignet
sich
diese
Art
der
mechanischen
Begrenzung
nicht
für
Anwendungsfälle,
in
denen
der
Ausschlag
auf
sehr
kleine
Werte
begrenzt
werden
muß,
da
zur
vollständigen
Unterätzung
der
Drehpendel
eine
Mindesttiefe
der
Ätzgrube
erforderlich
ist.
EuroPat v2
Process
according
to
claim
1,
characterized
by
EPDs
(etch
pit
densities)
of
less
than
10
11
cm
?2,
less
than
10
9
cm
?2,
less
than
10
8
cm
?2
being
achievable.
Verfahren
nach
einem
der
vorhergehenden
Ansprüche,
gekennzeichnet
durch
erzielbare
EPD
(etch
pit
density)
von
weniger
als
10
11
cm
-2,
weniger
als
10
9
cm
-2,
weniger
als
10
8
cm
-2
.
EuroPat v2
These
flat
crystal
dislocations
are
referred
to
as
"saucer
etch
pits".
Diese
flachen
Kristallersetzungen
werden
"Saucer
Etch
Pits"
genannt.
EuroPat v2
Alternatively,
it
is
also
possible
for
a
conductive
epoxy
to
be
pressed
into
the
etching
pits.
Alternativ
kann
auch
ein
leitendes
Epoxid
in
die
Ätzgruben
gedrückt
werden.
EuroPat v2
Then,
contact
is
made
between
the
etching
pits
and
the
bonding
pads.
Anschließend
werden
die
Ätzgruben
mit
den
Bondpads
kontaktiert.
EuroPat v2
In
this
case,
the
holes
are
preferably
produced
by
means
of
etching
and
therefore
form
etching
pits
in
the
substrate.
Die
Löcher
werden
dabei
vorzugsweise
mittels
Ätzen
hergestellt
und
stellen
somit
Ätzgruben
im
Substrat
dar.
EuroPat v2
The
passages
may
be
filled
with
a
conductor
29
in
a
similar
manner
to
the
etching
pits
17
.
Die
Kanäle
können
ähnlich
wie
die
Ätzgruben
17
mit
einem
Leiter
29
aufgefüllt
werden.
EuroPat v2
On
account
of
the
anisotropic
etching,
the
etching
pits
30
have
a
shape
which
tapers
conically
toward
the
first
surface
14
.
Die
Ätzgruben
30
zeigen
aufgrund
des
anisotropen
Ätzens
eine
zur
ersten
Oberfläche
14
konisch
zulaufende
Form.
EuroPat v2
The
surfaces
obtained
thus
show
numerous
etching
pits
and
channels,
which
are
of
a
very
inhomogeneous
shape
and
contain
as
many
undercuts
as
possible,
so
that
penetrating
bonding
material
encounters
ideal
scope
for
anchorage,
in
order
to
ensure
improved
adhesion
of
the
diamond
grains
in
the
bond.
Die
Oberflächen
sollen
also
zahlreiche
Ätzgruben
und
-Kanäle
aufweisen,
die
sehr
uneinheitlich
geformt
sind
und
möglichst
Unterschneidungen
aufweisen
damit
eindringendes
Bindungsmaterial
eine
ideale
Verankerungsmöglichkeit
findet
zum
Zwecke
einer
verbesserten
Haftung
der
Diamantkörner
in
der
Bindung.
EuroPat v2
This
is
thus
a
slowed-down
combustion
of
the
diamond
carbon
to
carbon
monoxide
CO,
the
diamond
material
being
removed
from
the
diamond
surface,
and
small
etching
pits
also
being
formed.
Es
handelt
sich
somit
um
eine
verlangsamte
Verbrennung
des
Diamantkohlenstoffs
zu
Kohlenmonoxid
CO,
bei
der
von
der
Diamantoberfläche
Diamantmaterial
abgetragen
wird,
wobei
auch
kleine
Ätzgruben
entstehen.
EuroPat v2
One
suitable
reprocess
for
producing
the
etching
pits
is
anisotropic
etching
of
an
Si(100)
substrate
using
KOH,
during
which
process
etching
pits
with
an
aperture
angle
of
approximately
70°
are
formed,
the
diameter
or
cross
section
of
the
pits
on
the
active
surface
being
dependent
on
the
etching
depth
and/or
the
aperture
angle.
Für
die
Herstellung
der
Ätzgruben
ist
unter
anderem
anisotropes
Ätzen
eines
Si(100)-Substrats
mit
KOH
geeignet,
wobei
sich
Ätzgruben
mit
einem
Öffnungswinkel
von
etwa
70°
bilden,
deren
Durchmesser
oder
Querschnitts
auf
der
aktiven
Oberfläche
einen
von
der
Ätztiefe
und/oder
dem
Öffnungswinkel
abhängt.
EuroPat v2
In
this
way,
it
is
easily
possible,
via
an
etching
pit
17,
to
make
contact
with
two
or
more
bonding
pads
12
a
and
12
b
of
adjacent
chips
1
a
and
1
b
by
suitable
redistribution
of
the
contact
locations
with
respect
to
the
through-contact
location
19
.
Auf
diese
Weise
ist
es
einfach
möglich
über
eine
Ätzgrube
17
gleich
zwei
oder
mehrere
Bondpads
12a
und
12b
von
benachbarten
Chips
1a
und
1b
durch
geeignete
Redistribution
der
Kontaktstellen
zur
Durchkonktierungstelle
19
zu
kontaktieren.
EuroPat v2
Here,
however,
a
metal
layer
18
which
connects
contact
surfaces
25
A,
25
B
to
the
etching
pit
17
is
applied,
the
contact
surfaces
25
A
and
25
B
being
connected
to
the
active
layers
11
A,
11
b
of
two
different
modules
which
are
still
joined
to
the
wafer.
Hier
wird
jedoch
eine
Metallschicht
18
aufgebracht,
welche
Kontaktflächen
25A,
25B
mit
der
Ätzgrube
17
verbindet,
wobei
die
Kontaktflächen
25A
und
25B
an
die
aktiven
Schichten
11A,
11b
zweier
verschiedener
Bausteine
im
Waferverband
angeschlossen
sind.
EuroPat v2
The
insulation
regions
212
of
the
second
kind
are
provided
with
etching
pits
212
a
in
the
lateral
environment
of
the
monocrystalline
Si
layer
230
a.
Die
lsolationsgebiete
zweiter
Art
212
sind
in
der
seitlichen
Umgebung
der
einkristallinen
Si-Schicht
230a
mit
Ätzgruben
212a
versehen.
EuroPat v2
The
provision
of
an
etching
pit
212
a
affords
the
advantage
that
dopant
can
also
penetrate
out
of
the
highly
doped,
polycrystalline
part
of
the
base
connection
region
233,
from
the
substrate
side
in
the
direction
of
the
inner
base
region
232
.
Die
Ausbildung
einer
Ätzgrube
212a
bietet
den
Vorteil,
dass
aus
dem
hochdotierten,
polykristallinen
Teils
des
Basisanschlussgebietes
233
Dotierstoff
auch
von
der
Substratseite
aus
in
Richtung
inneres
Basisgebiet
232
vordringen
kann.
EuroPat v2
With
the
directly
into
the
tempered
glass
discs
etched
pits,
it
is
possible
to
produce
grown
in
the
pits
for
the
optimal
sampling
rectangular
shape.
Mit
den
direkt
in
die
temperierten
Glas-Discs
geätzten
Pits
ist
es
möglich
geworden
die
Pits
in
für
die
Abtastung
optimaler
rechteckigen
Form
herzustellen.
ParaCrawl v7.1
In
a
first
variant
of
the
process,
the
top
side
of
the
optical
chip
is
photo
lithographically
patterned
and
the
etching
pits
are
introduced.
In
einer
ersten
Variante
des
Verfahrens
wird
die
Oberseite
des
optischen
Chips
photolithographisch
strukturiert
und
die
Ätzgruben
eingebracht.
EuroPat v2
The
etching
pits
are
then
filled
with
a
conductor
and
a
conductor
track
is
applied
from
the
etching
pit
to
the
bonding
pad.
Die
Ätzgruben
werden
danach
mit
einem
Leiter
aufgefüllt
und
eine
Leiterbahn
von
der
Ätzgrube
zum
Bondpad
aufgebracht.
EuroPat v2
The
transparent
covering
can
then
be
applied,
and
after
this
the
wafer
is
thinned
on
the
back
surface
until
the
conductive
fillings
of
the
etching
pits
emerge
on
the
back
surface.
Danach
kann
die
transparente
Abdeckung
aufgebracht
werden
und
der
Wafer
wird
daraufhin
auf
der
Rückseite
solange
ausgedünnt,
bis
die
leitenden
Auffüllungen
der
Ätzgruben
auf
der
Oberfläche
der
Rückseite
hervortreten.
EuroPat v2
The
photolithographic
patterning
and
the
etching
in
this
case
take
place
from
the
underside
of
the
chip,
the
etching
pits
being
located
beneath
the
bonding
pads
situated
on
the
top
side
and
being
etching
until
the
bonding
pads
are
uncovered.
Die
photolithographische
Strukturierung
und
das
Ätzen
erfolgt
in
diesem
Fall
von
der
Unterseite
des
Chips,
wobei
sich
die
Ätzgruben
unterhalb
der
auf
der
Oberseite
befindlichen
Bondpads
befinden
und
so
lange
geätzt
wird,
bis
die
Bondpads
freigelegt
werden.
EuroPat v2
The
passages
through
the
wafer
which
are
formed
by
the
etching
pits
are
then
metallized
or
filled
with
a
conductor.
Die
durch
die
Ätzgruben
gebildeten
Kanäle
durch
den
Wafer
werden
danach
metallisiert
oder
mit
einem
Leiter
aufgefüllt.
EuroPat v2
In
general,
the
etching
of
the
etching
pits
and
of
the
isolation
trenches
35
can
also
be
carried
out
by
a
combination
of
various
etching
processes.
Allgemein
kann
das
Ätzen
der
Ätzgruben,
sowie
der
Trenngräben
35
auch
durch
eine
Kombination
verschiedener
Ätzverfahren
durchgeführt
werden.
EuroPat v2
For
example,
an
etching
pit
or
an
isolation
trench
may,
for
example,
be
produced
in
a
first
step
by
means
of
wet-etching
and
then
further
by
means
of
anisotropic
dry-etching.
So
kann
eine
Ätzgrube
oder
ein
Trenngraben
beispielsweise
in
einem
ersten
Schritt
mittels
Nassätzen
und
dann
weiter
mittels
anisotropem
Trockenätzen
hergestellt
werden.
EuroPat v2
In
a
subsequent
etching
procedure,
etching
pits
or
blind
openings
17
are
etched
into
the
substrate,
the
passivation
layer
13
protecting
the
substrate
from
being
etched
outside
the
openings
16
.
In
einer
nachfolgenden
Ätzprozedur
werden
Ätzgruben
bzw.
Sacklochöffnungen
17
in
das
Substrat
geätzt,
wobei
die
Passivierungsschicht
13
das
Substrat
außerhalb
der
Öffnungen
16
vor
einem
Anätzen
schützt.
EuroPat v2
To
produce
the
contacts,
the
etching
bits
17
and
regions
of
the
top
side
14
between
the
etching
pits
are
coated
with
a
metal.
Zur
Herstellung
der
Kontaktierungen
werden
die
Ätzgruben
17,
sowie
Bereiche
der
Oberseite
14
zwischen
den
Ätzgruben
mit
einem
Metall
beschichtet.
EuroPat v2