Übersetzung für "Amorphization" in Deutsch
At
such
laser
powers,
the
amorphization
of
the
substrate
material
may
be
limited
to
the
separation
trenches.
Bei
solchen
Laserleistungen
kann
die
Amorphisierung
des
Substratmaterials
auf
die
Vereinzelungsgräben
begrenzt
werden.
EuroPat v2
Purification
and
amorphization
preferably
occur
simultaneously,
even
more
preferably
by
the
same
treatment.
Vorzugsweise
erfolgt
Reinigung
und
Amorphisierung
gleichzeitig,
noch
bevorzugter
durch
dieselbe
Behandlung.
EuroPat v2
The
amorphization
can
be
controlled
by
the
impact
energy.
Durch
die
Einschlagenergie
ist
die
Amorphisierung
steuerbar.
EuroPat v2
The
amorphization
is
preferably
carried
out
by
particle
collision
with
the
substrate
surface.
Die
Amorphisierung
erfolgt
vorzugsweise
durch
Teilchenkollision
mit
der
Substratoberfläche.
EuroPat v2
For
the
amorphization
11,
the
phase
change
material
is
firstly
melted.
Für
die
Amorphisierung
11
wird
das
Phasenwechselmaterial
zunächst
aufgeschmolzen.
EuroPat v2
The
damage
is
usually
associated
with
an
amorphization
of
the
near-surface
areas.
Die
Schädigung
geht
daher
meistens
auch
mit
einer
Amorphisierung
der
oberflächennahen
Bereiche
einher.
EuroPat v2
The
amorphization
of
the
surface
takes
place
preferably
through
the
adjustment
of
the
ion
energy.
Die
Amorphisierung
der
Oberfläche
erfolgt
vorzugsweise
über
die
Einstellung
der
Ionenenergie.
EuroPat v2
A
cleaning
of
the
surface
for
oxide
removal
and
an
amorphization
are
preferably
carried
out
simultaneously.
Bevorzugt
erfolgen
eine
Reinigung
der
Oberfläche
zur
Oxidentfernung
und
eine
Amorphisierung
gleichzeitig.
EuroPat v2
Preferably,
cleaning
and
amorphization
are
carried
out
simultaneously,
even
more
preferably
by
the
same
treatment.
Vorzugsweise
erfolgt
Reinigung
und
Amorphisierung
gleichzeitig,
noch
bevorzugter
durch
dieselbe
Behandlung.
EuroPat v2
In
addition,
the
amorphization
ensures
a
higher
movability
of
the
material
on
the
interfaces.
Die
Amorphisierung
gewährleistet
außerdem
eine
höhere
Beweglichkeit
des
Materials
an
den
Grenzflächen.
EuroPat v2
In
this
process
a
destruction
of
the
crystal
structure
(amorphization)
and
dehydration
of
the
hydroxides
could
be
observed.
Dabei
ließen
sich
eine
Zerstörung
der
Kristallstruktur
(Amorphisierung)
und
eine
Dehydration
der
Hydroxide
beobachten.
EuroPat v2
The
amorphization
of
the
silicon
substrate
with
subsequent
separation
by
mechanical
stresses
does
not
require
the
removal
of
excess
material.
Die
Amorphisierung
des
Siliziumsubstrats
mit
nachfolgender
Trennung
durch
mechanische
Spannungen
kommt
ebenfalls
ohne
Materialabtrag
aus.
EuroPat v2
In
the
third
place,
a
thermodynamically
metastable
state
at
the
substrate
surface
(bonding
boundary
surface)
is
produced
by
the
amorphization.
Drittens
wird
durch
die
Amorphisierung
ein
thermodynamisch
metastabiler
Zustand
an
der
Substratoberfläche
(Bondgrenzfläche)
erzeugt.
EuroPat v2
Reference
is
to
be
made
to
the
volume
ratio
between
the
amorphous
phase
and
the
total
volume
as
the
degree
of
amorphization.
Das
Volumenverhältnis
zwischen
der
amorphen
Phase
und
dem
Gesamtvolumen
soll
als
Amorphisierungsgrad
bezeichnet
werden.
EuroPat v2
The
purification
and/or
the
amorphization
preferably
take
place
in
a
vacuum
chamber
as
a
process
chamber.
Die
Reinigung
und/oder
die
Amorphisierung
finden
bevorzugt
in
einer
Vakuumkammer
als
Prozesskammer
statt.
EuroPat v2
The
partial
amorphization
in
micronization
is
associated
with
chemical
and
physical
destabilization
of
the
active
substance.
Die
teilweise
Amorphisierung
bei
Mikronisierungen
ist
mit
einer
chemischen
und
physikalischen
Destabilisierung
des
Wirkstoffes
verbunden.
EuroPat v2
The
cooling
rate
from
the
glass
temperature
to
room
temperature
does
not
play
any
role
in
the
amorphization
11
.
Die
Abkühlrate
von
der
Glastemperatur
bis
zur
Raumtemperatur
spielt
für
die
Amorphisierung
11
keine
Rolle.
EuroPat v2
Preferably
and
according
to
the
invention,
an
amorphization
of
the
oxide
or
at
least
the
near-surface
oxide
area
comes
about
through
this
controlled
damaging.
Mit
dieser
kontrollieren
Schädigung
wird
erfindungsgemäß
vorzugsweise
eine
Amorphisierung
des
Oxids
oder
zumindest
der
oberflächennahen
Oxidbereiche.
EuroPat v2
The
amorphization
reduces
the
necessary
energy
(force)
in
order
to
close
microcavities.
Die
Amorphisierung
reduziert
die
erforderliche
Energie
(Kraft),
um
Mikrokavitäten
zu
schließen.
EuroPat v2
The
amorphization
of
the
substrate
surface
results
in
a
better
bonding
result,
in
particular
in
the
case
of
comparatively
low
temperatures.
Die
Amorphisierung
der
Substratoberfläche
führt
zu
einem
besseren
Bondergebnis,
insbesondere
bei
vergleichsweise
geringen
Temperaturen.
EuroPat v2
In
particular,
a
thermodynamically
metastable
state
at
the
substrate
surface
(bonding
boundary
surface)
is
created
by
the
amorphization.
Durch
die
Amorphisierung
wird
insbesondere
ein
thermodynamisch
metastabiler
Zustand
an
der
Substratoberfläche
(Bondgrenzfläche)
erzeugt.
EuroPat v2
The
volume
ratio
between
the
amorphous
phase
and
the
total
volume
is
to
be
referred
to
as
the
degree
of
amorphization.
Das
Volumenverhältnis
zwischen
der
amorphen
Phase
und
dem
Gesamtvolumen
soll
als
Amorphisierungsgrad
bezeichnet
werden.
EuroPat v2
After
a
silicon
ion
implantation,
for
further
amorphization,
a
lateral
solid-phase
epitaxy
is
performed
at
approximately
550°
to
about
660°
C.
proceeding
from
the
n+
contact
(11)
to
the
substrate
(1).
Nach
einer
Silizium-Ionenimplantation
zur
weiteren
Amorphisierung
wird
bei
550
bis
600°C
die
laterale
Festphasenspitaxie,
ausgehend
vom
n?-Kontakt
(11)
zum
Substrat
(1)
durchgeführt.
EuroPat v2
Field
of
Invention
The
invention
relates
to
a
method
for
manufacturing
shallow
junctions
in
silicon
by
implantation
of
silicon
or
germanium
ions
for
amorphization
of
a
surface
zone,
subsequent
doping
of
this
surface
zone,
and
finally
recrystallization
of
this
surface
zone
by
heat
treatment.
Die
Erfindung
betrifft
ein
Verfahren
zur
Herstellung
von
flachen
Übergängen
in
Silizium
durch
Implantation
von
Silizium-
oder
Germanium-Ionen
zur
Amorphisierung
einer
Oberflächenzone,
anschließende
Dotierung
dieser
Oberflächenzone
und
abschließende
Rückkristallisation
der
Oberflächenzone
durch
eine
Wärmebehandlung.
EuroPat v2