Übersetzung für "Susceptor" in Deutsch
In
this
case,
the
distance
between
the
susceptor
and
the
substrate
wafer
is
very
small.
In
diesem
Fall
ist
der
Abstand
zwischen
Suszeptor
und
Substratscheibe
sehr
gering.
EuroPat v2
The
susceptor
22
is
made,
for
example,
of
SiC-coated
graphite.
Der
Suszeptor
22
ist
zum
Beispiel
aus
SiC
beschichtetem
Graphit
gebildet.
EuroPat v2
A
susceptor
is
a
body
which
is
arranged
next
to
the
substrate
wafer.
Ein
Suszeptor
ist
ein
Körper,
der
der
Substratscheibe
benachbart
angeordnet
wird.
EuroPat v2
The
mass
of
the
susceptor
depends
on
the
thermal
requirements
of
the
application.
Die
Masse
des
Suszeptors
richtet
sich
nach
den
thermischen
Erfordernissen
der
Anwendung.
EuroPat v2
The
substrate
lies
on
the
temperature-controllable
susceptor.
Auf
dem
temperierbaren
Suszeptor
liegt
das
Substrat.
EuroPat v2
The
susceptor
2
rests
on
a
support
plate
13
of
quartz.
Der
Suszeptor
2
ruht
auf
einer
Stützplatte
13
aus
Quarz.
EuroPat v2
The
susceptor
mentioned
therein
serves
for
absorbing
microwave
radiation.
Der
dortige
Suszeptor
dient
zur
Absorption
der
Mikrowellenstrahlung.
EuroPat v2
The
temperature
difference
between
the
substrate
7
and
the
susceptor
4
has
to
be
minimized.
Der
Temperaturunterschied
zwischen
Substrat
7
und
Suszeptor
4
soll
minimiert
sein.
EuroPat v2
The
substrate
has
therefore
surface
engagement
against
the
susceptor
only
here
and
there.
Das
Substrat
hat
somit
nur
eine
vereinzelte
Flächenanlage
zum
Suszeptor.
EuroPat v2
The
substrate
is
supported
on
a
cooled
susceptor
4
.
Letzteres
liegt
auf
einem
gekühlten
Suszeptor
4
auf.
EuroPat v2
Condensation
takes
place
on
substrates,
which
lie
on
a
cooled
susceptor.
Die
Kondensation
findet
auf
Substraten
statt,
die
auf
einem
gekühlten
Suszeptor
liegen.
EuroPat v2
All
the
components
of
the
susceptor
1
are
composed
of
graphite
or
CFC.
Sämtliche
Bauteile
des
Suszeptors
1
bestehen
aus
Graphit
oder
CFC.
EuroPat v2
The
susceptor
is
electrically
conductive
and
is
heated
by
induction.
Der
Suszeptor
ist
elektrisch
leitfähig
und
wird
durch
Induktion
geheizt.
EuroPat v2
The
susceptor
consists
of
high-temperature-resistant,
thermally
conductive
material,
preferably
of
graphite.
Der
Suszeptor
besteht
aus
hochtemperaturbeständigem,
wärmeleitendem
Material,
bevorzugt
aus
Graphit.
EuroPat v2
However,
this
susceptor
acts
as
a
radiation
shield
and
makes
the
process
uneconomical.
Dieser
Suszeptor
wirkt
jedoch
wie
ein
Strahlungsschild
und
macht
das
Verfahren
unwirtschaftlich.
EuroPat v2
The
susceptor
2
is
heated
via
radiation
or
eddy
currents.
Über
Strahlung
oder
Wirbelströme
wird
der
Suszeptor
2
beheizt.
EuroPat v2
A
specimen
to
be
heated
is
then
heated
by
the
radiation
of
the
susceptor.
Eine
zu
erwärmende
Probe
wird
dann
durch
die
Strahlung
des
Suszeptors
erwärmt.
EuroPat v2
It
has
also
been
proposed
to
provide
a
susceptor
in
the
reactor.
Desweiteren
ist
vorgeschlagen
worden,
in
dem
Reaktor
einen
Suszeptor
vorzusehen.
EuroPat v2
The
temperature
of
the
substrate
wafer
will
then
be
equal
to
the
temperature
of
the
susceptor.
Dadurch
ist
die
Temperatur
der
Substratscheibe
gleich
der
Temperatur
des
Suszeptors.
EuroPat v2
Indentations
221
are
arranged
in
a
base
surface
of
the
susceptor
22.
In
einer
Grundfläche
des
Suszeptors
22
sind
Vertiefungen
221
angeordnet.
EuroPat v2