Übersetzung für "Pecvd" in Deutsch
The
invention
additionally
permits
a
higher
deposition
rate
than
in
the
PECVD
method.
Durch
die
Erfindung
kann
zusätzlich
eine
höhere
Abscheiderate
als
beim
PECVD-Verfahren
erreicht
werden.
EuroPat v2
Alternatively
silazane
can
be
used
as
the
reaction
gas
for
the
PECVD
process.
Alternativ
können
als
Reaktionsgas
für
das
PECVD-Verfahren
Silazane
verwendet
werden.
EuroPat v2
Films
of
this
kind
are
applied
in
a
so-called
film
deposition
method,
in
particular
a
PECVD
method.
Derartige
Schichten
werden
in
einem
sogenannten
Schichtabscheidungsverfahren,
insbesondere
einem
PECVD-Verfahren,
aufgebracht.
EuroPat v2
The
coating
process
selected
for
this
example
is
the
PECVD
(Plasma
Enhanced
Chemical
Vapor
Deposition)
method.
Als
Beschichtungsprozeß
wurde
das
PECVD
(Plasma
Enhanced
Chemical
Vapor
Deposition)-Verfahren
gewählt.
EuroPat v2
The
application
can
be
effected
by
means
of
a
PECVD
method,
for
example.
Das
Aufbringen
kann
beispielsweise
mittels
eines
PECVD-Verfahrens
erfolgen.
EuroPat v2
The
use
of
an
LPCVD
method
or
else
of
a
PECVD
method
is
particularly
suitable
for
this
purpose.
Besonders
geeignet
ist
hierfür
der
Einsatz
eines
LPCVD-
oder
auch
eines
PECVD-Verfahrens.
EuroPat v2
For
cost
reasons,
deposition
by
means
of
PECVD
is
then
even
preferable.
Aus
Kostengründen
ist
dann
die
Abscheidung
mittels
PECVD
sogar
vorzuziehen.
EuroPat v2
After
that
a
photoactive
layer
sequence
can
be
applied
in
the
different
PECVD
coating
stations
57
.
Darauf
folgend
kann
in
den
unterschiedlichen
PECVD-Beschichtungsstationen
57
eine
photoaktive
Schichtenfolge
aufgebracht
werden.
EuroPat v2
Preferably,
the
layer
applied
to
the
silicon
oxide
layer
is
deposited
by
means
of
a
PECVD
process.
Vorzugsweise
wird
die
auf
der
Siliziumoxidschicht
aufgebrachte
Schicht
mittels
eines
PECVD-Verfahrens
abgeschieden.
EuroPat v2
Particularly
suitable
methods
for
applying
the
isolation
material
are,
for
example,
sputtering
or
a
PECVD
process.
Zum
Aufbringen
des
Isolationsmaterials
eignet
sich
beispielsweise
besonders
Sputtern
oder
ein
PECVD-Verfahren.
EuroPat v2
Preferably,
these
PECVD
coating
stations
57
are
designed
as
stationary
coating
stations.
Bevorzugt
sind
diese
PECVD-Beschichtungsstationen
57
als
stationäre
Beschichtungsstationen
ausgeführt.
EuroPat v2
But
here,
the
option
of
plasma
enhanced
CVD
coating
(PECVD)
lends
itself.
Hier
bietet
sich
jedoch
die
Möglichkeit
der
Plasmaunterstützten
CVD-Beschichtung
(PECVD)
an.
EuroPat v2
Sputtering
methods
or
PECVD
methods,
for
example,
may
be
used
as
layer
deposition
methods.
Als
Schichtabscheideverfahren
können
beispielsweise
Sputterverfahren
oder
PECVD-Verfahren
verwendet
werden.
EuroPat v2
By
way
of
example,
silicon
nitride
is
applied
with
the
aid
of
a
PECVD
method
or
with
the
aid
of
an
HDP
method.
Beispielsweise
wird
Siliziumnitrid
mit
Hilfe
eines
PECVD-Verfahrens
oder
mit
Hilfe
eines
HDP-Verfahrens
aufgebracht.
EuroPat v2
On
top
of
the
ITO
layer,
the
transistors
are
created
by
a
serious
of
PECVD
and
sputter
steps.
Diese
werden
auf
der
ITO-Schicht
durch
eine
Reihe
von
PECVD
und
Sputter-Schritten
generiert.
ParaCrawl v7.1
New
developments
in
the
plasma-enhanced
chemical
vapor
deposition
(PECVD)
process
enable
high
speed
top
coating.
Neue
Entwicklungen
in
der
plasmaunterstützten
chemischen
Gasphasenabscheidung
(PECVD)
ermöglichen
eine
Highspeed-Schutzschicht-Beschichtung.
ParaCrawl v7.1