Übersetzung für "Ellipsometer" in Deutsch
Therefore,
an
ellipsometer
of
such
a
design
is
only
capable
of
limited
use.
Ein
derart
aufgebautes
Ellipsometer
hat
daher
nur
eine
begrenzte
Verwendungsmöglichkeit.
EuroPat v2
Furthermore,
the
ellipsometer
does
not
require
any
electro-optically
modulated
elements.
Außerdem
benötigt
das
Ellipsometer
keine
elektrooptisch
modulierten
Bauteile.
EuroPat v2
That
further
enhances
the
flexibility
of
use
of
the
ellipsometer.
Hierdurch
wird
die
vielfältige
Verwendbarkeit
des
Ellipsometers
noch
erhöht.
EuroPat v2
Normally,
repeated
calibration
measurements
are
necessary
for
the
adjustment
of
the
sample
and
ellipsometer.
Für
die
Justierung
von
Probe
und
Ellipsometer
sind
normalerweise
wiederholte
Eichmessungen
erforderlich.
EuroPat v2
Details
of
the
structural
design
of
this
ellipsometer
cannot
be
inferred
from
this
publication.
Einzelheiten
der
Ausführung
dieses
Ellipsometers
sind
dieser
Schrift
nicht
zu
entnehmen.
EuroPat v2
In
these
cases,
the
geometry
of
the
oxidation
oven
is
normally
adapted
to
the
structure
of
the
ellipsometer.
Üblicherweise
wird
hier
die
Geometrie
des
Oxidationsofens
der
Struktur
des
Ellipsometers
angepasst.
EuroPat v2
Determination
of
the
layer
thickness
using
an
ellipsometer
gave
a
layer
thickness
of
6.3
nm
per
AB
layer
sequence.
Die
Schichtdickenbestimmung
mit
dem
Ellipsometer
ergab
eine
Schichtdicke
von
6.3
nm
pro
AB-Schichtzyklus.
EuroPat v2
The
layer
structure
and
the
ellipsometer
40
are
identical.
Der
Schichtaufbau
und
das
Ellipsometer
40
sind
identisch.
EuroPat v2
The
ellipsometer
was
installed
in
a
re-rolling
mill
and
linked
with
the
on-site
computer
system.
Das
Ellipsometer
wurde
im
Nachwalzwerk
installiert
und
in
das
betriebsinterne
Rechnersystem
eingebunden.
ParaCrawl v7.1
The
layer
thicknesses
reported
were
measured
with
a
SENpro
ellipsometer,
from
Sentech,
Berlin.
Die
angegebenen
Schichtdicken
wurden
mit
einem
Ellipsometer
SENpro,
Firma
Sentech,
Berlin
gemessen.
EuroPat v2
This
ellipsometer
can
be
operated
with
different
laser
light
sources
in
order
to
permit
wavelength-dependent
analysis.
Dieses
Ellipsometer
kann
mit
unterschiedlichen
Laser-Lichtquellen
betrieben
werden,
um
eine
Wellenlängen
abhängige
Analyse
zu
ermöglichen.
EuroPat v2
In
this
respect,
besides
the
data
determined
with
the
ellipsometer,
it
is
also
necessary
to
have
additional
information
which
makes
it
possible
to
decide
which
is
the
correct
thickness
value
within
a
multiplet
of
a
plurality
of
measurement
values.
Insofern
benötigt
man
neben
den
mit
dem
Ellipsometer
ermittelten
Daten
noch
zusätzliche
Angaben,
mit
deren
Hilfe
man
entscheiden
kann,
welches
der
richtige
Dickenwert
innerhalb
eines
Multipletts
mehrerer
Messwerte
ist.
EuroPat v2
Although
the
ellipsometer
is
relatively
simple
in
design,
the
measuring
operation
turns
out
to
be
relatively
complicated,
particularly
because
the
measurement
values
must
be
determined
in
dependence
on
polarizer
and
analyzer
settings,
and
because,
after
the
measuring
operation,
extensive
calculations
are
still
required
in
order
to
arrive
at
the
actual
measurement
values.
Obgleich
das
Ellipsometer
relativ
einfach
aufgebaut
ist,
erweist
sich
der
Messvorgang
als
relativ
kompliziert,
insbesondere
deshalb,
weil
die
Messwerte
in
Abhängigkeit
von
Polarisator-
und
Analysatoreinstellungen
ermittelt
werden
müssen
und
danach
noch
umfassende
Berechnungen
notwendig
sind,
bis
man
die
tatsächlichen
Messwerte
erhält.
EuroPat v2
The
upper
curve
was
obtained
by
means
of
a
conventional
ellipsometer,
a
measuring
time
of
about
5
minutes
being
required
for
each
point
on
the
curve.
Die
obere
Kurvendarstellung
wurde
mit
Hilfe
eines
herkömmlichen
Ellipsometers
gewonnen,
wobei
für
jeden
Punkt
dieser
Darstellung
etwa
5
Minuten
Meßzeit
erforderlich
waren.
EuroPat v2
If
measuring
results
are
required
which
without
interpretation
and
marginal
conditions
being
considered
permit
clear
statements
on
polarization
direction
and
ellipticity
it
is
possible
to
select
a
device
which
is
obtained
by
adding
a
further
detector
additionally
measuring
the
intensity
in
one
of
the
polarization
directions,
instead
of
the
above
described
device
comprising
only
one
Wollaston
prism
and
one
analyzer
and
not
permitting
a
clear
correlation
of
the
measured
amplitudes
to
the
x-direction
or
y-direction
as
also
known
from
the
ellipsometer.
Werden
Meßergebnisse
gefordert,
die
ohne
Interpretation
und
ohne
Berücksichtigung
von
Randbedingungen
eindeutige
Aussagen
über
Polarisationsrichtung
und
Ellipsität
zulassen,
so
kann
anstelle
der
oben
beschriebenen
Vorrichtung
mit
nur
einem
Wollaston-Prisma
und
einem
Analysator,
bei
der
die
Zuordnung
der
gemessenen
Amplituden
zur
x-Richtung
bzw.
y-Richtung,
wie
auch
vom
Ellipsometer
bekannt,
nicht
eindeutig
ist,
eine
Vorrichtung
gewählt
werden,
die
durch-Hinzufügen
eines
weiteren
Detektors
erhalten
wird,
der
die
Intensität
in
einer
der
Polarisationsrichtungen
zusätzlich
mißt.
EuroPat v2
In
regard
to
ellipsometric
methods,
a
distinction
is
made
in
particular
in
regard
to
the
instrument
used
(also
referred
to
as
the
ellipsometer)
and
the
procedures
used
for
extracting
and
interpreting
the
measurement
data.
In
der
Ellipsometrie
wird
insbesondere
unterschieden
im
Hinblick
auf
das
verwendete
Instrument
(das
Ellipsometer)
und
die
Verfahren
zur
Gewinnung
und
Auswertung
der
Meßdaten.
EuroPat v2
An
ellipsometer
essentially
comprises
a
light
source
for
emitting
polarised
light,
a
testpiece
and
an
analyser
which
analyses
polarisation
of
the
light
after
it
has
been
reflected
at
the
testpiece
or
after
it
has
been
transmitted
through
the
testpiece.
Ein
Ellipsometer
besteht
im
wesentlichen
aus
einer
Lichtquelle,
welche
polarisiertes
Licht
ausstrahlt,
aus
der
Probe
und
einem
Analysator,
welcher
die
Polarisation
des
Lichts
nach
seiner
Reflexion
an
der
Probe
bzw.
nach
dem
Durchtritt
durch
die
Probe
analysiert.
EuroPat v2
It
will
be
seen
therefore
that
the
invention
provides
a
novel
photometric
ellipsometric
method
and
a
novel
photometric
ellipsometer,
wherein
a
polarisation
modulating
device
is
altered
in
discrete
predetermined
steps
in
regard
to
its
properties
which
influence
the
polarisation
of
the
light
beam,
in
the
form
of
reflecting
surfaces
which
have
different
optical
properties
and
on
to
which
the
radiation
impinges
at
an
acute
angle,
in
particular
at
an
angle
of
incidence
of
from
45°
to
80°,
with
measurements
being
made
in
respect
of
the
respective
intensities
which
correspond
to
the
discrete
step
values
and
which
are
received
by
a
detector.
Durch
die
Erfindung
wird
ein
neues
photometrisches
Ellipsometrieverfahren
und
ein
neues
photometrisches
Ellipsometer
geschaffen,
bei
denen
ein
Polarisationsmodulator
hinsichtlich
seiner
die
Polarisation
des
Lichtstrahls
beeinflussenden
Eigenschaften
in
Form
von
unterschiedliche
optische
Eigenschaften
aufweisenden
reflektierenden
Flächen,
auf
die
die
Strahlung
mit
spitzem
Einfallswinkel,
insbesondere
mit
einem
Ein-
fallswinkel
von
45
bis
80,
auftrifft,
in
diskreten
vorbestimnten
Stufen
geändert
wird
und
jeweils
die
den
diskreten
Stufenwerten
entsprechenden
Intensitäten,
welche
von
einem
Detektor
empfangen
werden,
gemessen
werden.
EuroPat v2
The
ellipsometer
according
to
the
present
invention
employs
two
or
more
polarisation
modulating
elements,
for
use
with
different
predetermined
properties,
which
are
discrete
relative
to
each
other,
for
influencing
the
polarisation
of
the
elliptical
light.
Beim
erfindungsgemäßen
Ellipsometer
kommen
zwei
oder
mehrere
Polarisationsmodulatorelemente
zum
Einsatz
mit
voneinander
abgestuften
unterschiedlichen
vorbestirrmten,
die
Polarisation
des
elliptischen
Lichts
beeinflussenden
Eigenschaften
zur
Anwendung.
EuroPat v2
Furthermore
the
measurement
accuracy
of
an
ellipsometer
is
limited
since
the
cell
containing
the
liquid
can
influence
the
state
of
polarisation
of
the
light.
Zudem
ist
im
Falle
des
Ellipsometers
die
Messgenauigkeit
beschraenkt,
da
die
Messkuevette
den
Polarisationszustand
des
Lichtes
beeinflusst.
EuroPat v2