Übersetzung für "Demagnified" in Deutsch
A
practical
apparatus
for
recording
the
hologram
on
the
card
includes
imaging
optics
for
forming
a
demagnified
real
image
of
the
overall
view
of
the
identification
card
and
mirrors
for
reflecting
the
imaging
beam
path
onto
the
portion
of
the
card
as
an
object
wave
for
recording
the
hologram.
Eine
zweckmässige
Vorrichtung
zum
Aufzeichnen
des
Hologramms
weist
eine
abbildende
Optik
zum
verkleinerten
reellen
Abbilden
der
Gesamtansicht
des
Ausweises
und
Spiegel
zum
Umlenken
des
Abbildungsstrahlenganges
in
Richtung
auf
das
Aufzeichnungsfeld
für
das
Hologramm
auf.
EuroPat v2
The
picture
which
is
visible
on
the
underside
of
the
film
is
reflected
by
mirrors
56
and
57
through
imaging
optics
58
so
that
a
demagnified
purely
real
picture
is
used
as
the
object
wave
for
the
hologram
exposure.
Das
auf
der
Unterseite
des
Films
sichtbare
Bild
wird
mittels
einer
abbildenden
Optik
58
verkleinert
reell
abgebildet
und
das
verkleinerte
reelle
Bild
wird
als
Objekt
zur
Hologrammaufnahme
verwendet.
EuroPat v2
For
STEM-operation,
the
electron
source
is
imaged
by
the
last
condenser
lens
into
the
imaging
plane
of
the
SFCO
prefield
lens
which
images
the
electron
source
demagnified
into
the
object.
Beim
STEM-Betrieb
wird
die
Elektronenquelle
durch
die
letzte
Kondensorlinse
in
die
Abbildungsebene
der
KOE-Vorfeldlinse
abgebildet,
welche
die
Elektronenquelle
verkleinert
in
das
Objekt
abbildet.
EuroPat v2
Because
of
the
required
edge
definition
of
less
than
0.1
?m,
the
beam
cross
section
for
lithographic
devices
is
formed
just
under
the
electron
gun
and
is
then
imaged
on
the
substrate
greatly
demagnified.
Aufgrund
der
erforderlichen
Kantenschärfe
von
<
0,1
µm
wird
bei
den
Lithographieeinrichtungen
der
Strahlquerschnitt
dicht
unterhalb
des
Strahlerzeugers
geformt
und
dann
stark
verkleinert
auf
das
Substrat
abgebildet.
EuroPat v2
Of
course,
it
is
also
possible
to
illuminate
a
slotted
diaphragm
with
a
round
or
ribbon-shaped
electron
beam
and
the
image
the
diaphragm
opening
onto
the
specimen
IC
in
a
demagnified
manner.
Es
ist
selbstverständlich
auch
möglich,
eine
Schlitzblende
mit
einem
runden
oder
bandförmigen
Elektronenstrahl
auszuleuchten
und
die
Blendenöffnung
verkleinert
auf
die
Probe
IC
abzubilden.
EuroPat v2
As
illustrated,
the
probe
cross-sections
in
the
plane
of
the
aperture
diaphragm
4
which
are
established
by
the
dimensions
of
the
recesses,
for
example,
the
recess
14
are
imaged
demagnified
in
a
plane
32
by
the
means
of
the
lenses
6
and
7
and
this
corresponds
to
reduction
of
the
line
20
shown
on
diaphragm
4
to
a
line
20'
shown
on
plane
32.
Wie
sich
aus
dem
eingezeichneten
Strahlengang
ergibt,
werden
die
Sondenquerschnitte
in
der
Ebene
der
Aperturblende
4,
die
durch
die
Abmessungen
der
Ausnehmungen,
z.B.
14,
gegeben
sind,
mittels
der
Linsen
6
und
7
in
eine
Ebene
a2
verkleinert
abgebildet
was
einer
Reduzie
rung
der
Linie
20
auf
eine
Linie
20'
entspricht.
EuroPat v2
When
one
applies
one's
eye
to
a
real
slit
image,
then
one
can
observe
the
real
demagnified
image
of
the
identification
card
in
a
specific
color.
Bringt
man
das
Auge
an
ein
reelles
Spaltbild,
so
kann
man
durch
den
Spalt
das
reelle
verkleinerte
Bild
des
Ausweises
in
einer
bestimmten
Farbe
beobachten.
EuroPat v2
The
working
distance
(L)
has
a
decisive
influence
on
the
chromatic
and
spherical
image
defect
of
the
objective
lens
(OL)
which
can
be
reduced
with
the
arrangement
of
the
invention
and,
thus,
the
diameter
of
the
electron
probe
on
the
specimen
(PR)
can
be
substantially
demagnified.
Mit
dieser
Anordnung
kann
der
den
chromatischen
und
sphärischen
Bildfehler
der
Objektivlinse
(OL)
entscheidend
beeinflussende
Arbeitsabstand
(L)
reduziert
und
damit
der
Durchmesser
der
Elektronensonde
auf
der
Probe
(PR)
erheblich
verkleinert
werden.
EuroPat v2
Only
as
a
result
of
the
development
of
objective
lens
with
integrated
secondary
electron
spectrometer
objective
has
the
abberation
of
the
objective
lens
been
reduced
with
the
working
distance
and,
thus,
the
probe
diameter
on
the
specimen
can
now
be
demagnified.
Erst
durch
die
Entwicklung
von
Objektivlinsen
mit
integriertem
Sekundärelektronen-Spektrometer
(Spektrometer-Objektiv)
konnte
mit
dem
Arbeitsabstand
die
Aberration
der
Objektivlinse
reduziert
und
damit
der
Sondendurchmesser
auf
der
Probe
verkleinert
werden.
EuroPat v2
These
parts
together
function
to
optimize
the
illumination
of
the
reticle
58
which
is
imaged
demagnified
by
the
reduction
objective
59
with
the
highest
resolution
(below
100
nm
to
70
nm
or
50
nm)
on
the
resist
film
60
of
the
wafer
61
.
Diese
Teile
zusammen
dienen
der
optimierten
Beleuchtung
des
Retikels
58,
das
durch
das
Reduktionsobjektiv
59
verkleinert
mit
höchster
Auflösung
-
unterhalb
100
nm
bis
70
nm
oder
50
nm
-auf
den
Resist-Film
60
des
Wafers
61
abgebildet
wird.
EuroPat v2
In
the
STEM
mode,
the
condenser
system
is
so
driven
that
it
images
the
electron
source
demagnified
on
the
specimen.
Im
STEM-Modus
wird
das
Kondensorsystem
dann
so
angesteuert,
dass
es
die
Elektronenquelle
verkleinert
auf
die
Probe
abbildet.
EuroPat v2
The
focus
diameter
of
the
electron
beam
on
the
object
is
generally
defined
by
the
demagnified
image
of
the
crossover
of
the
electron
source
with
the
aid
of
several
condenser
lenses
and
one
objective
lens.
Der
Fokusdurchmesser
des
Elektronenstrahls
auf
dem
Objekt
wird
im
allgemeinen
durch
die
verkleinerte
Abbildung
des
Cross-overs
der
Elektronenquelle
mit
Hilfe
von
mehreren
Kondensorlinsen
und
einer
Objektivlinse
definiert.
EuroPat v2
In
the
illuminating
method
of
the
invention,
the
crossover
of
the
electron
source
is
imaged
on
the
object
greatly
demagnified
via
at
least
four
imaging
stages.
Bei
dem
erfindungsgemäßen
Beleuchtungsverfahren
wird
der
Crossover
der
Elektronenquelle
über
mindestens
vier
Abbildungsstufen
stark
verkleinert
auf
das
Objekt
abgebildet.
EuroPat v2
Demagnified
are
mainly
documents,
written
matter
and
drawings,
in
order
to
reduce
the
space
requirement
of
the
document
storage
and
the
drawing
register.
Verkleinert
werden
im
wesentlichen
Schriftstücke,
Dokumente
und
Zeichnungen,
um
den
Raumbedarf
de
Schriftgutablage
und
der
Zeichnungsregistratur
zu
verringern.
EuroPat v2
When
using
a
quadratic-shape
for
the
recesses
17
having
a
side
length
of
10
?m
and
with
the
beam
dimension
demagnified
by
a
factor
of
100
using
imaging
optics,
then
individual
exposable
image
points
having
side
lengths
of
0.1
?m
occur.
Geht
man
von
einer
quadratischen
Form
der
Ausnehmungen
17
usw.
mit
einer
Seitenlänge
von
10
um
aus
und
verkleinert
die
Sondenabmessung
mit
Hilfe
der
Abbildungsoptik
um
den
Faktor
100,
so
ergeben
sich
einzelne
belichtbare
Bildpunkte
mit
einer
Seitenlänge
von
0,1
µm.
EuroPat v2
To
generate
a
finely
focused
electron
probe,
the
beam
from
the
cathode
K
is
demagnified
by
condenser
lenses
K1
and
K2
and
by
an
objective
lens
OB
which
electro-optically
focuses
the
beam
on
a
specimen.
Zur
Erzeugung
einer
feingebündelten
Elektronensonde
wird
dieses
Quellenbild
CR1
der
Kathode
K
anschließend
elektronenoptisch
mit
Hilfe
der
Kondensorlinsen
K1,
K2
und
der
Objektivlinse
OB
verkleinert
auf
eine
Probe
abgebildet,
wobei
sich
die
Bahnen
der
Elektronen
nach
Durchlaufen
der
Magnetfelder
der
einzelnen
Linsensysteme
in
den
Strahlüberkreuzungspunkten
CR2
zw.
EuroPat v2
The
projection
objective
120
follows
in
the
light
path
downstream
of
the
plane
111
also
designated
as
mask
plane,
said
projection
objective,
as
a
reducing
objective,
being
set
up
for
imaging
a
demagnified
image
of
the
structure
borne
by
the
mask
on
a
reduced
scale,
for
example
on
a
scale
of
4:1
or
5:1
or
10:1,
onto
a
wafer
130
coated
with
a
photoresist
layer.
Im
Lichtweg
hinter
der
auch
als
Maskenebene
bezeichneten
Ebene
111
folgt
das
Projektionsobjektiv
120,
das
als
Reduktionsobjektiv
dazu
eingerichtet
ist,
ein
verkleinertes
Bild
der
von
der
Maske
getragenen
Struktur
in
reduziertem
Maßstab,
beispielsweise
im
Maßstab
4:1
oder
5:1
oder
10:1,
auf
einen
mit
einer
Photoresistschicht
belegten
Wafer
130
abzubilden.
EuroPat v2
The
first
and
the
second
images
are
demagnified
in
this
refinement
by
reducing
their
resolution.
In
dieser
Ausgestaltung
werden
das
erste
und
das
zweite
Abbild
verkleinert,
indem
ihre
Auflösung
reduziert
wird.
EuroPat v2
This
apparatus
has
the
disadvantage
that
the
marking,
depending
on
the
type
of
lens,
is
displaced
by
the
local
prismatic
effect
thereof
or
is
demagnified
or
magnified
by
the
converging
or
diverging
effect
of
the
lens.
Bei
dieser
Vorrichtung
ist
von
Nachteil,
dass
die
Markierung
je
nach
Art
der
Linse
durch
deren
lokale
prismatische
Wirkung
verschoben
oder
durch
die
sammelnde
bzw.
zerstreuende
Wirkung
der
Linse
verkleinert
bzw.
vergrößert
wird.
EuroPat v2
The
first
imaging
lens
120
focuses
the
incoming
light
so
that
a
demagnified
intermediate
image
of
the
object
area
to
be
imaged
will
result
within
an
intermediate-image
plane
190,
which
is
located
in
parallel
to
the
object
plane
150
and
to
the
image
plane
160
in
a
yz
plane
and
extends
through
the
center
of
the
field
lens
140,
i.e.
the
center
of
the
optical
channel
110
and
of
the
device
100
.
Die
erste
abbildende
Linse
120
fokussiert
das
einfallende
Licht,
so
dass
in
einer
Zwischenbildebene
190,
welche
parallel
zur
Objektebene
150
und
zur
Bildebene
160
in
einer
yz-Ebene
liegt
und
durch
den
Mittelpunkt
der
Feldlinse
140,
also
den
Mittelpunkt
des
optischen
Kanals
110
und
der
Vorrichtung
100
verläuft,
ein
verkleinertes
Zwischenbild
des
abzubildenden
Objektbereichs
entsteht.
EuroPat v2
Consequently,
in
these
applications
the
retroreflector
has
to
he
situated
very
far
behind
the
plane
of
the
spectacle
lens
to
be
measured
and,
in
addition,
it
would
have
to
be
very
large
because
strongly
negative
spectacle
lenses
image
the
retroreflector
in
a
greatly
demagnified
fashion,
such
that
the
whole
lens
can
no
longer
be
seen
over
the
retroreflector.
Folglich
muss
der
Retroreflektor
bei
diesen
Anwendungen
sehr
weit
hinter
der
Ebene
des
zu
vermessenden
Brillenglases
liegen
und
er
müsste
außerdem
sehr
groß
sein,
weil
stark
negative
Brillengläser
den
Retroreflektor
stark
verkleinert
abbilden,
so
dass
nicht
mehr
das
ganze
Glas
über
dem
Retroreflektor
gesehen
werden
kann.
EuroPat v2
The
diffractive
optical
decoupling
element
lies
between
the
intermediate
image
and
objective
or
zoom,
as
a
result
of
which
the
target
point
is
magnified
or
demagnified
by
the
zoom.
Das
diffraktive
optische
Auskoppelelement
liegt
zwischen
Zwischenbild
und
Objektiv
oder
Zoom,
womit
sich
der
Zielpunkt
mit
dem
Zoom
vergrößert
oder
verkleinert.
EuroPat v2
In
a
stepper,
a
wafer,
or
the
applied
photoresist,
is
exposed
stepwise
via
a
mask
projected
onto
the
wafer
in
demagnified
fashion.
In
einem
Stepper
wird
ein
Wafer,
beziehungsweise
der
aufgetragene
Photolack
schrittweise
über
eine
verkleinert
auf
den
Wafer
projizierte
Maske
belichtet.
EuroPat v2