Übersetzung für "Vorpumpe" in Englisch
Eine
typische
Vorgehensweise
ohne
Hilfe
der
Vorpumpe
18
ist
die
folgende:
A
typical
procedure
without
the
aid
of
the
forepump
18
is
the
following:
EuroPat v2
Die
korrosiven
Gase
gelangen
nicht
in
die
Vorpumpe.
Corrosive
gases
do
not
reach
the
forepump.
EuroPat v2
Die
Aufgaben
der
Vorpumpe
übernimmt
die
zweistufige
ölfreie
DIVAC
0,8
VT
Diaphragma-Vakuumpumpe.
Backing
pump
duties
are
handled
by
the
dual-stage
oil-free
DIVAC
0.8
VT
diaphragm
vacuum
pump.
ParaCrawl v7.1
Die
gasumlaufgekühlte
Wälzkolbenpumpe
kann
auch
ohne
Vorpumpe
betrieben
werden.
The
gas-circulation-cooled
Roots
pump
can
also
be
operated
without
a
backing
pump.
ParaCrawl v7.1
Die
beiden
Bilder
zeigen
den
Lärm
einer
Vorpumpe
aufgeschlüsselt
in
die
einzelnen
Frequenzen.
The
two
images
show
the
noise
of
a
backing
pump
broken
down
into
single
frequencies.
ParaCrawl v7.1
In
diesem
Beispiel
beginnt
die
Vorpumpe
zunächst
alleine.
In
this
example,
first
of
all,
the
backing
pump
starts
alone.
ParaCrawl v7.1
Die
Vakuumkammer
4
wird
über
die
Leitungen
38,
39
und
die
Vorpumpe
29
evakuiert.
The
vacuum
chamber
4
is
evacuated
via
the
lines
38,
39
and
the
prepump
29.
EuroPat v2
Als
Vorpumpe
kann
je
nach
Gaslast
eine
preiswerte,
kleine
trockene
Membranpumpe
eingesetzt
werden.
Depending
on
the
gas
load,
small
and
economical
dry
diaphragm
pumps
can
be
used
as
backing
pumps.
ParaCrawl v7.1
Während
des
gesamten
Prozesses
pumpte
die
Turbomolekularpumpe
mit
der
Drehschieberpumpe
als
Vorpumpe
die
Prozesskammer.
During
the
entire
process,
the
turbomolecular
pump
pumped
the
process
chamber
with
the
rotary
vane
pump
as
a
prepump.
EuroPat v2
Durch
die
Erfindung
wird
es
folglich
möglich,
als
Vorpumpe
eine
Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe
zu
verwenden.
As
a
consequence,
it
becomes
possible
by
way
of
the
invention
to
use
a
liquid
ring
vacuum
pump
as
forepump.
EuroPat v2
Die
Vorpumpe
33
komprimiert
diesen
Volumenstrom
auf
Atmosphärendruck
und
gibt
ihn
an
die
Umgebung
ab.
The
forepump
33
compresses
said
volumetric
flow
to
atmospheric
pressure
and
discharges
it
to
the
surroundings.
EuroPat v2
Die
"Vorpumpe"
bezieht
sich
hier
auf
unseren
2.
Stufe
Vakuumpumpe
in
den
Anmerkungen
oben.
The
"backing
pump"
here
refers
to
our
2nd
stage
vacuum
pump
in
the
notes
above.
ParaCrawl v7.1
Als
Vorpumpe
für
die
Turbopumpen
von
Pfeiffer
Vacuum
ist
diese
Vakuumpumpe
die
optimale
Ergänzung.
This
vacuum
pump
is
the
optimal
addition
as
a
backing
pump
for
Pfeiffer
Vacuum
turbopumps.
ParaCrawl v7.1
Der
Energieverbrauch
eines
solchen
Pumpsystems
ist
we-
sentlich
geringer
als
bei
einer
einzelnen
Vorpumpe
gleichen
Saugvermögens.
Energy
consumption
of
such
a
pump
system
is
much
less
compared
to
a
single
backing
pump
offering
the
same
pumping
speed.
ParaCrawl v7.1
Ein
Puffer-Volumen
ermöglicht
es
dann,
die
Vorpumpe
wieder
zuzuschalten,
wann
immer
dies
erforderlich
ist.
A
buffer
switch
then
allows
toggling
so
that
the
fore
pump
is
automatically
restarted
as
needed.
ParaCrawl v7.1
Die
Vorpumpe
und
die
Rootspumpe
haben
die
gleiche
Leistung
wie
die
des
anderen
Ofens
(4.2.2),
Als
öldiffusionspumpe
wurde
dagegen
nur
eine
solche
2000
1/
sec.
gewählt,
da
in
diesem
Ofen
immer
nur
schon
vorentgastes
Material
geschmolzen
wird.
The
backing
and
Roots
pumps
had
the
same
pumping
capacity
as
those
in
the
other
furnace
(Section
4.2.2).
On
the
other
hand
an
oil
diffusion
pump
of
2000
l/sec
was
selected
since
only
decontaminated
material
was
melted
in
this
furnace.
EUbookshop v2
Durch
einen
Pumpstand
5,
bestehend
aus
Vorpumpe
6,
Wälzkolbenpumpe
7
und
Regelventil
8
wird
über
eine
Stickstoff-Kühlfalle
9
das
Reaktionsrohr
3
evakuiert
(siehe
Pfeil
28)
und
dann
die
Prozeßgase,
die
zum
Aufbau
der
auf
den
Substratscheiben
2
aufzubringenden
BPSG-Schicht
erforderlich
sind,
eingeleitet.
The
reaction
tube
3
is
evacuated
as
illustrated
by
the
arrow
27
from
a
pump
stand
5
composed
of
a
backing
pump
6,
a
vacuum
booster
7,
and
a
control
valve
8
and
also
including
a
nitrogen
condensation
trap
9.
The
process
gases
which
are
required
for
building
up
the
boron-phosphorus-silicate
glass
layer
to
be
applied
to
the
substrate
wafers
2
are
then
introduced.
EuroPat v2
Mechanische
Vakuumpumpen
werden
oft
zur
Erzielung
eines
höheren
Vakuums
mit
Pumpen
anderer
Bauart,
insbesondere
Diffusionspumpen
und
Molekularpumpen,
kombiniert,
wobei
dann
die
mechanische
Pumpe
als
Vorpumpe
wirkt
und
gegen
Atmosphärendruck
arbeitet.
Mechanical
primary
pumps
are
often
combined
with
pumps
of
other
types,
such
as
diffusion
or
molecular
pumps,
in
order
to
reach
a
higher
vacuum,
the
mechanical
pump
then
acting
as
primary
pump
and
operating
against
ambient
pressure.
EuroPat v2
Von
ihr
werden
je
nach
Bedarf
über
die
Steuerleitung
51
der
Refrigerator
4,
über
die
Steuerleitung
52
das
Ventil
16,
über
die
Steuerleitung
53
das
Ventil
34
sowie
die
gegebenenfalls
vorhandene
Heizeinrichtung
33,
über
die
Steuerleitung
54
die
Ventile
39
und
40,
über
die
Steuerleitung
55
das
Ventil
31,
über
die
Steuerleitung
56
die
Vorpumpe
und
über
die
Steuerleitung
57
das
Ventil
38
zum
Auffangbehälter
37
betätigt.
According
to
needs,
it
actuates
the
refrigerator
4
through
control
line
51,
the
valve
16
through
control
line
52,
the
valves
34
as
well
as
the
heating
means
33,
if
present,
through
control
line
53,
the
valves
39
and
40
through
control
line
54,
the
valve
31
through
control
line
55,
the
forepump
through
control
line
56,
and
valve
38
to
the
receiver
37.
EuroPat v2
Das
Gasgemisch
wird
entweder
mit
leichtem
Überdruck
über
das
Ventil
38
in
den
Auffangbehälter
37
gedrückt
oder
mit
Hilfe
der
Vorpumpe
18
über
das
Ventil
16
in
den
Behälter
37?
befördert.
The
gas
mixture
is
either
forced
by
light
pressure
through
the
valve
38
into
the
receiver
37,
or
it
is
pumped
by
means
of
the
forepump
18
through
valve
16
into
the
receiver
37'.
EuroPat v2
Würde
man
statt
der
Kühlfalle
eine
Vorpumpe
an
den
Prüfbehälter
anschließen,
um
nach
dem
Schließen
des
Behälters
diesen
auf
einen
dem
Massenspektrometer
angepaßten
Druck
zu
bringen,
ehe
die
Verbindung
zu
diesem
hergestellt
wird,
dann
bestünde
die
Gefahr,
daß
bereits
bei
diesem
Vorevakuieren
auch
das
Innere
eines
Prüflings
bei
Vorliegen
eines
entsprechend
großen
Lecks
so
weit
mitevakuiert
würde,
daß
später
bei
der
eigentlichen
Messung
keine
Heliumatome
mehr
nachgewiesen
würden.
If
a
primary
pump
were
connected
to
the
test
container
instead
of
the
low
temperature
trap,
so
as
to
bring
the
container,
after
its
closing,
to
a
pressure
convenient
for
the
mass
spectrometer
prior
to
establishing
the
connection
therewith,
this
would
create
the
risk
that
already
during
this
primary
pumping
phase,
if
the
leak
is
large
enough,
also
the
inside
of
a
test
object
would
be
evacuated
to
such
an
extent
that
lateron,
i.e.
during
the
actual
measuring
phase,
no
more
helium
atoms
would
be
detected.
EuroPat v2
Die
Kalibrierung
der
Empfindlichkeit
kann
auch
dadurch
erfolgen,
daß
das
effektive
Saugvermögen
der
Vorpumpe
am
Anschlußstutzen
19
einstellbar
ausgebildet
ist.
The
calibration
of
the
sensitivity
can
also
be
accomplished
by
making
the
effective
aspirating
capacity
of
the
forepump
adjustable
at
the
connection
19.
EuroPat v2
Ist
diese
Vorsichtsmaßnahme
nicht
erforderlich,
kann
die
Vorpumpe
während
der
Regeneration
miteingesetzt
werden
und
zum
Beispiel
folgendermaßen
ablaufen:
If
this
precaution
is
not
necessary,
the
forepump
can
be
used
during
the
regeneration
and
the
following
procedure,
for
example,
can
be
used:
EuroPat v2
Zusätzlich
ist
noch
eine
Verbindung
18
zwischen
der
Vorpumpe
13
und
der
Akkumulationskammer
8
vorgesehen,
die
das
Sperrventil
12
enthält.
In
addition,
a
connection
18
between
the
primary
vacuum
pump
13
and
the
accumulation
chamber
8
is
provided,
which
contains
the
closure
valve
12.
EuroPat v2
Das
kann
z.
B.
durch
Maßnahmen
an
der
Vorpumpe
selbst
oder
mit
Hilfe
eines
einstellbaren
Drosselventils
geschehen.
This
can
be
done,
for
example,
by
measures
taken
at
the
forepump
itself
or
by
means
of
an
adjustable
throttle
valve.
EuroPat v2
Dies
bedeutet,
dass
z.
B.
aus
einem
unter
Unterdruck
stehenden
Vorratsbehälter
nur
durch
Erhöhung
des
hydrostatischen
Druckes
oder
durch
Druckerhöhung
im
Fördermedium
mittels
einer
Vorpumpe
zuverlässig
gefördert
werden
kann.
This
means,
for
example,
that
conveying
from
a
supply
reservoir
containing
a
partial
or
full
vacuum
can
only
be
reliably
carried
by
means
of
elevating
the
hydrostatic
pressure
or
by
increasing
the
pressure
elevation
in
the
pumping
medium
by
means
of
a
preliminary
pump.
EuroPat v2