Übersetzung für "Schichtgrenze" in Englisch
In
einer
bevorzugten
Ausführungsform
wird
das
Erreichen
einer
Schichtgrenze
durch
das
Auswerten
eines
Analysesignals
bestimmt.
In
a
preferred
embodiment,
it
is
determined
by
evaluation
of
an
analysis
signal
whether
a
layer
boundary
is
reached.
EuroPat v2
In
einer
weiteren
bevorzugten
Ausführungsform
wird
das
Erreichen
einer
Schichtgrenze
durch
die
Messung
der
Ätzzeit
bestimmt.
In
a
further
preferred
embodiment,
it
is
determined
by
measuring
of
the
etching
time
whether
a
layer
boundary
is
reached.
EuroPat v2
Das
durch
diese
positive
Spannung
im
Dielektrikum
4
erzeugte
elektrische
Feld
lässt
die
positiven
Ladungsträger
5
im
Dielektrikum
4
in
Feldrichtung
zur
Schichtgrenze
4-3
wandern
(Fig.
The
electric
field
generated
by
this
positive
voltage
across
the
dielectric
material
4
causes
the
positive
charge
carriers
5
to
migrate
in
the
dielectric
material
4
in
a
direction
to
the
border
of
the
layer
4-3
(FIG.
EuroPat v2
Die
Karte
gilt
für
das
Fischen
innerhalb
von
Gebiet
2
von
den
markierten
Grenzen
in
Aven
bis
zur
Schichtgrenze
in
Richtung
Boda
im
Seckansee
(siehe
Karte).
The
card
is
valid
for
fishing
within
area
2
from
marked
boundaries
in
Aven
down
to
the
shift
border
towards
Boda
in
the
lake
Seckan
(see
map).
ParaCrawl v7.1
Insbesondere
die
Schicht
4
kann
in
ihrer
oben
liegenden,
d.
h.
vom
Substrat
weg
weisenden
Schichtgrenze
eine
Stoppschicht
als
Ätzstopp
für
Ätzverfahren
im
Verlauf
der
Herstellung
des
Bauelements
aufweisen.
Layer
4,
in
particular,
can
have
a
stop
layer
as
an
etch
stop
for
etching
processes
during
the
course
of
production
of
the
component,
in
its
layer
border
that
lies
on
top,
i.e.
facing
away
from
the
substrate.
EuroPat v2
Die
Detektion
der
Änderung
in
der
Materialzusammensetzung
der
zweiten
Schicht
220
beim
Erreichen
der
Schichtgrenze
zwischen
der
ersten
210
und
der
zweiten
Schicht
220
mit
Hilfe
beispielsweise
des
in
Fig.
3
dargestellten
Detektors
60
erlaubt
es,
das
Verhältnis
der
Gasmengenströme
der
beiden
Gase
NH
3
und
XeF
2
für
die
nun
zu
ätzende
zweite
Schicht
220
neu
einzustellen
und
somit
an
die
spezifischen
Erfordernisse
des
Unterbindens
der
spontanen
Ätzrate
der
zweiten
Schicht
220
anzupassen.
The
detection
of
the
change
in
the
material
composition
of
the
second
layer
220
when
reaching
the
layer
boundary
between
the
first
210
and
the
second
layer
220,
for
example
with
the
aid
of
the
detector
represented
in
FIG.
3,
allows
to
adjust
the
ratio
of
the
gas
flow
rates
of
the
two
gases
NH
3
and
XeF
2
for
the
second
layer
220
which
is
now
to
be
etched.
Thus,
the
specific
requirement
is
realized
for
the
inhibition
of
the
spontaneous
etching
rate
in
the
second
layer
220
.
EuroPat v2
Durch
einen
geringen
Abstand
der
oberen
Schichtgrenze
der
ersten
Schicht
zu
der
Öffnung
MF
in
der
Schutzschicht
6
kann
Eindringen
von
mit
größerer
Divergenz
aufdampfenden
Ti
in
den
Recessgraben
vermieden
oder
gering
gehalten
werden.
Penetration
of
Ti,
vapor-deposited
with
great
divergence,
into
the
recess
channel
is
avoided
or
can
be
kept
low
by
means
of
a
slight
distance
between
the
upper
layer
border
of
the
first
layer
and
the
opening
MF
in
the
protective
layer
6
.
EuroPat v2
Wenn
die
Ätzrate
in
Abhängigkeit
von
dem
Ätzgas
und
dem
Passivierungsgas
für
verschiedene
Materialien
in
separaten
Messungen
bestimmt
worden
ist,
kann
für
ein
Schichtsystem
mit
bekannter
Zusammensetzung
der
einzelnen
Schichten
und
deren
Dicken
aus
der
Messung
der
Ätzzeit
bestimmt
werden,
wann
eine
Schichtgrenze
erreicht
wird.
In
a
separate
measurement
the
etching
rate
for
different
materials
depending
of
the
etching
gas
and
the
passivation
gas
can
be
determined
for
a
layered
system
having
a
known
thickness
and
a
known
composition
of
the
individual
layers.
This
information
can
then
be
used
to
determine
from
the
etching
time
when
a
layer
boundary
will
be
reached.
EuroPat v2
Mit
anderen
Worten
ermöglicht
das
Signal
des
Detektors
60
zu
ermitteln,
dass
beim
Ätzen
eine
Schichtgrenze
erreicht
ist.
In
other
words,
the
signal
of
the
detector
60
enables
to
determine
that
the
etching
process
has
reached
a
layer
boundary.
EuroPat v2
Hat
der
Ätzprozess
nun
die
Schicht
210
abgetragen,
d.h.
die
Ätzfront
erreicht
die
Schichtgrenze
zwischen
den
Schichten
210
und
220,
so
wird
dies
unmittelbar
in
dem
Signal
des
Detektors
60
festgestellt.
When
the
etching
process
has
removed
layer
210,
i.e.
the
etching
front
reaches
the
layer
boundary
between
the
layers
210
and
220,
this
is
directly
determined
in
the
signal
of
the
detector
60
.
EuroPat v2
Kanten
im
Mantel
lassen
sich
dadurch
erzielen,
indem
die
Kontur
eines
Strukturbereichs
signifikant
von
der
darunterliegenden
Kontur
abweicht,
sodass
der
über
die
darunterliegende
Kontur
hinausreichende
Strukturbereich
die
Unterseite
eines
herausragenden
Strukturbereichs
bildet,
die
eine
Kante
an
der
Schichtgrenze
aufweist.
Edges
in
the
lateral
surface
can
be
obtained
by
virtue
of
the
contour
of
a
structure
region
deviating
significantly
from
the
underlying
contour,
such
that
the
structure
region
projecting
beyond
the
underlying
contour
forms
the
underside
of
a
protruding
structure
region
having
an
edge
at
the
layer
boundary.
EuroPat v2
Die
Stäbe
sind
dicker
als
die
Sollstärke,
was
zum
einen
auf
die
z-Kompensation
(der
Laserstrahl
erreicht
mehr
als
eine
Schichtdicke,
da
er
ja
auch
die
Schichtgrenze
noch
erreichen
muss,
was
bei
der
ersten
Schicht
aber
etwas
zuviel
ist)
und
zum
anderen
auf
die
leicht
intumeszierenden
(aufschäumenden)
Wirkung
einiger
Flammschutzmittel
zurückzuführen
ist.)
The
bars
are
thicker
than
the
specified
thickness,
this
being
attributable
firstly
to
the
z
compensation
(the
laser
beam
reaches
more
than
one
layer
thickness
since,
of
course,
it
also
has
to
reach
the
layer
boundary,
but
this
is
more
than
required
for
the
first
layer),
and
secondly
to
the
slightly
intumescent
(foaming)
action
of
some
flame
retardants.
EuroPat v2
Dabei
lässt
sich
gleichzeitig
der
positive
lonenstrom
auf
die
Kathode
5
durch
das
Produkt
der
Schichtfläche
(Ebene
7)
um
die
Kathode
5
herum
und
der
Dichte
des
Diffusionsstroms
dieser
Ionen
an
der
Schichtgrenze
bestimmen.
At
the
same
time
the
positive
ion
current
across
the
cathode
5
is
defined
by
the
product
of
the
layer
area
(plane
7)
around
the
cathode
5
and
the
density
of
the
ion
diffusion
flux
at
the
layer
boundary.
EuroPat v2
Die
Karte
gilt
auch
für
das
Fischen
mit
einem
anderen
Handwerkzeug
im
Gebiet
2
von
der
Grenze
in
Aven
bis
zur
Schichtgrenze
im
Seckansee.
The
card
also
applies
to
fishing
with
another
hand
tool
in
area
2
from
the
borders
in
Aven
down
to
the
shift
boundary
in
the
lake
Seckan.
ParaCrawl v7.1
Ein
weiteres
Ergebnis
der
Messungen
ist
die
Grenzflächenspannung
an
der
Schichtgrenze,
welche
die
inhärente
Instabilität
der
Beschichtung
beschreibt.
A
further
result
of
the
measurements
is
the
interfacial
tension
at
the
layer
boundary,
which
describes
the
inherent
instability
of
the
coating.
ParaCrawl v7.1
Ab
dieser
Schichtgrenze
zur
Stratosphäre
nimmt
die
Temperatur
(hier
bei
-50°C)
wieder
zu,
was
zu
einer
stabilen
Schichtung
führt,
in
welcher
vertikale
Luftmassenbewegungen
rasch
wieder
abgebremst
werden.
Between
this
boundary
and
the
stratosphere,
the
temperature
increases
again
(at
-50°C
here);
this
gives
rise
to
a
stable
stratification
in
which
vertical
movements
of
air
masses
are
quickly
halted.
ParaCrawl v7.1
Die
Karte
gilt
von
den
markierten
Grenzen
in
Aven
bis
zur
Schichtgrenze
in
Richtung
Boda
im
Seckansee
(siehe
Karte).
The
card
applies
from
marked
borders
in
Aven
down
to
the
shift
border
towards
Boda
in
the
lake
Seckan
(see
map).
ParaCrawl v7.1
Das
Gebiet
2
erstreckt
sich
von
den
markierten
Grenzen
in
Aven
bis
zur
Schichtgrenze
in
Richtung
Boda
im
Seckansee
(siehe
Karte).
Area
2
extends
from
marked
boundaries
in
Aven
down
to
the
shift
border
towards
Boda
in
Lake
Seckan
(see
map).
ParaCrawl v7.1