Übersetzung für "Scheibenhalter" in Englisch

Über den Scheibenhalter wird die Ionenenergie und damit der Ätzprozeß gesteuert.
The ion energy and, thus, the etching process is controlled via the wafer holder.
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In der Ätzkammer 1 ist ein Scheibenhalter 4 angeordnet.
A wafer holder 4 is arranged in the etching chamber 1.
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Auf dem Scheibenhalter 4 ist ein Substrat 7 angeordnet.
A substrate 7 is arranged on the wafer holder 4.
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Übliche Scheibenhalter haben eine Auflage aus porösem, keramischen Material.
Standard wafer holders have a support made of porous ceramic material.
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Die Halbleiterscheibe ist durch Vakuumansaugung auf dem Scheibenhalter fixiert.
The semiconductor wafer is fixed to the wafer holder by vacuum suction.
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Die Auflage kann auf den Scheibenhalter beispielsweise gespannt oder geklebt sein.
The support may, for example, be stretched over or glued to the wafer holder.
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Der Scheibenhalter weist dabei zu den Auflaufschrägen der beiden Führungsstege komplementäre Einführschrägen auf.
The pane holder has lead-in inclines complementary to the abutting inclines of the two guide webs.
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Der Scheibenhalter 4 ist über eine Durchführung 5 mit einem 100 kHz-Generator 6 verbunden.
The wafer holder 4 is connected to a 100 kHz generator 6 via a lead-through 5.
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Die Ringelektrode 10 umgibt den zwischen der Elektrode 9 und dem Scheibenhalter 4 aufgespannten Raum ringförmig.
The ring electrode 10 annularly surrounds the space between the electrode 9 and the wafer holder 4.
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Es liegt im Rahmen der Erfindung, den Suszeptor mit dem Scheibenhalter zu verbinden.
The present invention provides for the susceptor to be connected to the wafer holder.
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Die weiche Auflage ist beispielsweise auf einen herkömmlichen Scheibenhalter geklebt oder über diesen gespannt.
The soft support is, for example, glued to a conventional wafer holder or stretched over it.
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Im folgenden wird die bevorzugte Ausführungsform beschrieben, wonach die Spreizfinger als Scheibenhalter ausgebildet sind.
In the following, an embodiment is described wherein the spreading fingers are designed as disc holders.
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Der Scheibenhalter 13 besteht zum Beispiel aus Quarzglas und ist mit dem Suszeptor 12 mechanisch verbunden.
The wafer holder 13 consists of quartz glass, for example, and is mechanically connected to the susceptor 12.
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Geschliffen wird die Seite der Halbleiterscheibe, die der auf dem Scheibenhalter liegenden Seite gegenüberliegt.
That side of the semiconductor wafer is ground which is opposite to the side lying on the wafer holder.
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Gegenstand der Erfindung ist auch ein Verfahren, bei dem der Scheibenhalter eingesetzt wird.
The present invention also relates to a method in which the wafer holder is used.
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Zur Herstellung der Schottky-Diode wird das Substrat 5, bei dem es sich um eine ebene Gallium-Arsenid-Scheibe handelt, in einer Molekularstrahl-Epitaxieanlage (MBE-Anlage) auf einen beheizten Scheibenhalter montiert.
In manufacturing the Schottky diode, the substrate 5, which is a flat gallium arsenide disk, is mounted in a molecular beam epitaxy system (MBE system) on a heated disk holder.
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Das erfindungsgemäße Verfahren wird in einem Ätzreaktor durchgeführt, in dem über den Scheibenhalter eine RF-Leistung einer ersten Frequenz und unabhängig davon über eine Ringelektrode eine RF-Leistung einer zweiten Hochfrequenz angelegt wird.
The method of the present invention is implemented in an etching reactor wherein a RF power having a first frequency is applied via the wafer holder and, independently thereof, a RF power of a second high frequency is applied via a ring electrode.
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An die Ringelektrode wird eine RF-Leistung mit einer Frequenz von 13,56 MHz und über den Scheibenhalter eine RF-Leistung mit einer Frequenz von 100 kHz angelegt.
A RF power having a frequency of 13.56 MHz is applied to the ring electrode and a RF power having a frequency of 100 kHz is applied via the wafer holder.
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Verfahren nach Anspruch 3, bei dem über die Ringelektrode (10) eine RF-Leistung mit einer Frequenz von 13,56 MHz und über den Scheibenhalter (4) eine RF-Leistung mit einer Frequenz von 100 kHz angelegt wird.
The method according to claim 3, wherein a RF power having a frequency of 13.56 MHz is applied via the ring electrode and RF power having a frequency of 100 kHz is applied via the wafer holder.
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Es liegt insbesondere im Rahmen der Erfindung, einen Ätzreaktor zu verwenden, in dem dem Scheibenhalter gegenüber eine geerdete Elektrode angeordnet ist und in dem die Ringelektrode und die geerdete Elektrode mit Permanentmagneten versehen sind.
It particularly lies within the framework of the present invention to use an etching reactor wherein a grounded electrode is arranged opposite the wafer holder and wherein the ring electrode and the grounded electrode are provided with permanent magnets.
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In dieser Ausführungsform weist der Suszeptor auf der dem Scheibenhalter zugewandten Seite eine Vertiefung auf, in der die Sensorelemente angeordnet sind.
In this embodiment, the susceptor has an indentation which is on the side facing the wafer holder and in which the sensor elements are arranged.
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Außerdem muß das Material weich genug sein, damit nicht die Halbleiterscheibe, sondern die Auflage elastisch verformt wird, wenn die Halbleiterscheibe mit einer unebenen Seite auf die Oberfläche der Auflage gelegt und auf dem Scheibenhalter fixiert wird.
In addition, the material must be soft enough for the semiconductor wafer not to be deformed but for the support to be elastically deformed. This is true even if an uneven side of the semiconductor wafer is laid on the surface of the support and is fixed on the wafer holder.
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Partikel, die sich auch nach der Scheibenreinigung zwischen der Halbleiterscheibe und der Auflage befinden, werden beim Fixieren der Halbleiterscheibe 1 auf den Scheibenhalter 3 in die weiche Auflage 6 gedrückt, ohne die Halbleiterscheibe zu verformen.
Particles which are situated between the semiconductor wafer and the support even after wafer cleaning are forced into the soft support 6 when the semiconductor wafer 1 is fixed on the wafer holder 3 without deforming the semiconductor wafer.
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Bevorzugt ist ferner eine Reinigung der geschliffenen Vorderseite, die in der Schleifmaschine bei auf dem Scheibenhalter liegender Halbleiterscheibe vorgenommen werden kann und der Entfernung von Partikeln dient.
Cleaning of the ground front is furthermore preferred. This cleaning can be carried out in the grinding machine with the semiconductor wafer lying on the wafer holder and serves to remove particles.
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Zum Vergleich wurden Scheiben mit gleicher Fertigungsabfolge, aber mit Schleifen der Vorderseite auf einem Scheibenhalter mit harter Auflage, gefertigt.
As a comparison, wafers were fabricated using the same fabrication sequence but with grinding of the front on a wafer holder having a hard support.
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Falls die Kante vor dem Schleifen der Seiten verrundet wird, und somit noch Verschmutzungen vom Sägen aufweist, muß die Halbleiterscheibe auf einem Scheibenhalter mit weicher Auflage fixiert werden, um das Entstehen von Krähenfüßen zu vermeiden.
If the edge is rounded before the sides are ground and consequently still has contamination from the sawing, the semiconductor wafer must be fixed on a wafer holder with a soft support in order to avoid the formation of crow's feet.
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