Übersetzung für "Rückseitenschutz" in Englisch
Schließlich
kann
der
Rückseitenschutz
als
definierter
Ätzstopp
dienen.
Finally,
the
back
protection
can
serve
as
a
defined
etching
barrier.
EuroPat v2
Der
Rückseitenschutz
muß
jedoch
zusätzlich
folgenden
Bedingungen
genügen:
However,
the
back
protection
must
also
satisfy
the
following
conditions:
EuroPat v2
Für
die
Messungen
des
Gelbwertes
wird
der
Rückseitenschutz
entfernt.
The
rear
side
protection
was
removed
for
the
yellowness
index
measurements.
EuroPat v2
Bisher
wurde
versucht,
den
Rückseitenschutz
dadurch
zu
erreichen,
daß
ein
Positivabdecklack
ganzflächig
auf
der
Rückseite
des
Wafers
aufgetragen
und
photolithographisch
so
strukturiert
wurde,
daß
er
nur
in
den
Kavernen,
nicht
jedoch
auf
der
übrigen
Waferrückseite
verblieb.
Up
to
now
attempts
have
been
made
to
protect
the
back
by
applying
a
positive
resist
all
over
the
back
of
the
wafer
and
to
pattern
it
through
photolithography
so
that
it
remains
only
in
the
caverns
and
not
on
the
remaining
back
of
the
wafer.
EuroPat v2
Das
Entsprechende
gilt,
wenn
der
Vorderseitenabdecklack
später
ganzflächig
entfernt
werden
soll,
möglichst
ohne
den
Rückseitenschutz
zu
schädigen.
The
same
is
true
when
removing
the
front
resist
from
the
entire
surface
later
on,
if
possible
without
damaging
the
back
protection.
EuroPat v2
Der
Positivabdecklack
kann
auch
keine
Heliumdichtigkeit
oder
einen
ausreichenden
Rückseitenschutz
nach
dem
Durchätzen
der
Membranen
liefern,
da
er
im
Plasma
aufgrund
der
damit
verbundenen
thermischen
und
chemischen
Belastung
aufblüht
und
undicht
wird.
The
positive
resist
also
cannot
provide
a
helium
seal
or
adequate
back
protection
after
membrane
etching
because
it
blisters
and
becomes
permeable
in
the
plasma
due
to
the
thermal
and
chemical
load
imposed
by
the
plasma
etching
process.
EuroPat v2
Dieser
Rückseitenschutz
erfüllt
während
der
Trockenätzung
folgende
wesentliche
Funktionen,
wobei
es
sich
beim
Trockenätzen
vorzugsweise
um
ein
anisotropes
Plasmaätzverfahren
handelt.
This
back
protection
performs
the
following
important
functions
during
dry
etching,
preferably
using
an
anisotropic
plasma
etching
process
as
the
dry
etching
process.
EuroPat v2
Der
Rückseitenschutz
verhindert
zum
einen,
daß
Ätzgase,
wie
z.B.
Fluor,
nach
dem
Durchätzen
der
Vorderseitenmembran
die
Membranunterseite
angreifen
können,
indem
die
Kavernen
durch
die
Schutzschicht
abgedichtet
sind
und
zusätzlich
die
Membranunterseiten
bedeckt
sind,
so
daß
kein
freies
Silizium
auf
der
Rückseite
offenliegt,
welches
von
den
Ätzgasen,
z.B.
Fluor
angegriffen
werden
kann.
The
back
protection
prevents
etching
gases,
such
as
fluorine,
from
attacking
the
membrane
underside
after
etching
through
the
front
of
the
membrane,
since
the
caverns
are
sealed
by
the
protective
layer
and
the
membrane
undersides
are
also
covered,
so
that
no
free
silicon
that
could
be
attacked
by
the
etching
gases,
such
as
fluorine,
is
exposed
on
the
back.
EuroPat v2
Der
Rückseitenschutz
erlaubt
auch
ein
Überätzen
bereits
durchgeätzer
Strukturen
im
Plasma,
d.h.
es
kommt
zu
einer
Verringerung
des
Ätzangriffs
auf
die
Siliziumseitenwände
von
aus
der
Membran
bereits
fertig
geätzten
Strukturen
dadurch,
daß
deren
Unterseiten
geschützt
werden.
The
back
protection
also
makes
it
possible
to
overetch
patterns
in
the
plasma
that
are
already
etched
through,
i.e.,
the
etchant
attack
on
the
silicon
side
walls
of
patterns
already
etched
from
the
membrane
is
reduced
because
the
undersides
of
the
membrane
are
protected.
EuroPat v2
Damit
kann
der
Positivabdecklack
photostrukturiert,
entwickelt
oder
auch
zum
Schluß
ganz
entfernt
werden,
ohne
den
Rückseitenschutz
zu
schädigen.
The
positive
resist
can
thus
be
photopatterned,
developed
or
even
completed
removed
at
the
end
of
the
process
without
damaging
the
back
protection.
EuroPat v2
Grund
dafür
sind
Resonanzen,
welche
durch
das
kombinierte
System
bestehend
aus
Verpackung,
Gemälde
und
Rückseitenschutz
verursacht
werden.
The
reasons
for
this
are
resonances
that
are
caused
by
the
combined
system
of
packaging,
painting
and
rear
protection.
ParaCrawl v7.1
Dafür
wurde
ein
Vlies
zwischen
Leinwandrückseite
und
Rückseitenschutz
eingebracht,
wodurch
ein
mögliches
Schwingen
der
Leinwand
reduziert
werden
kann.
This
involved
inserting
a
fleece
between
the
back
of
the
canvas
and
the
rear
side
protection
to
reduce
movement
of
the
canvas.
ParaCrawl v7.1
Auch
wurde
das
Werk
mit
einer
stabileren
Neurahmung
und
einem
am
Rückseitenschutz
befestigten
Vibrationsschutz
versehen,
um
allfällige
Schäden
bei
Transporten
zu
vermeiden.
The
work
was
also
fitted
with
a
more
stable
new
frame
and
vibration
protection
affixed
to
the
reverse
of
the
sides,
in
order
to
prevent
potential
damage
during
transport.
ParaCrawl v7.1
Zum
Anbringen
derartiger
schützender
Kunststoffgehäusemassen
auf
der
Oberseite
der
Umverdrahtungsplatte
und
zum
Einhüllen
des
Halbleiterchips
können
entweder
Hochdruckspritzgußverfahren
eingesetzt
werden,
die
bei
Arbeitsdrücken
von
über
100
bar
arbeiten,
um
Luftblaseneinschlüsse
in
der
Kunststoffgehäusemasse
zu
vermeiden,
oder
es
können
Vakuumprintanlagen
eingesetzt
werden,
um
den
Rückseitenschutz
der
Halbleiterchips
luftblasenfrei
zu
gewährleisten.
For
applying
such
protective
plastic
package
molding
compounds
to
the
upper
side
of
the
wiring
board
and
for
encapsulating
the
semiconductor
chip,
either
high-pressure
injection-molding
processes
may
be
used,
operating
at
working
pressures
of
over
100
bar
in
order
to
avoid
inclusions
of
air
bubbles
in
the
plastic
package
molding
compound,
or
vacuum
printing
installations
may
be
used,
to
ensure
back-side
protection
of
the
semiconductor
chips
without
air
bubbles.
EuroPat v2
An
der
Rückseite
des
Moduls
1
mit
den
Kontakten
11,
12
ist
noch
ein
nicht
dargestellter
Rückseitenschutz
aus
Kunststoff
oder
einem
anderen
elektrisch
isolierendem
Material
vorgesehen.
On
the
back
of
the
module
1
with
the
contacts
11,
12
there
is
provided
a
back
protection
(not
shown)
made
of
plastic
or
another
electrically
insulating
material.
EuroPat v2
Bei
der
Verwendung
von
Hartschalen
als
Rückseitenschutz
für
das
iPad
kann
es
sein,
dass
sich
der
Stecker
des
Connection
Kits
nicht
komplett
einstecken
lässt
-
Wackelkontakt
oder
nur
teilweise
Funktionalität
sind
dann
die
Folge.
When
using
hard
covers
as
back
panel
protection
for
the
iPad,
the
Connection
Kit's
plug
may
not
fit
completely,
causing
a
loose
connection
or
partial
functionality.
ParaCrawl v7.1