Übersetzung für "Pendelmasse" in Englisch
In
einer
Ausführungsform
der
Erfindung
begrenzt
mindestens
ein
Anschlagmittel
die
Pendelbewegung
der
Pendelmasse.
In
one
embodiment
of
the
invention,
at
least
one
stop
means
limits
the
pendulum
movement
of
the
pendulum
mass.
EuroPat v2
Bevorzugt
ist
die
Feder
distal
direkt
oder
indirekt
an
der
Pendelmasse
angeschlossen.
Preferably,
the
spring
is
distally
connected
directly
or
indirectly
to
the
pendulum
mass.
EuroPat v2
Je
weiter
sich
die
Pendelmasse
dem
oberen
toten
Punkt
nähert,
desto
stärker
wird
sie
abgebremst.
The
closer
the
inertia
mass
comes
to
the
upper
dead
center,
the
stronger
it
is
decelerated.
EuroPat v2
Das
aktive
Stellglied
ist
insbesondere
ausgebildet,
eine
freie
Pendelbewegung
der
Pendelmasse
zu
regeln.
The
active
control
element
is
realized,
in
particular,
to
regulate
a
free
pendulum
motion
of
the
pendulum
mass.
EuroPat v2
Eine
Druckfederung
hat
sich
als
besonders
bevorzugt
erwiesen,
um
die
Pendelmasse
zu
stabilisieren.
A
compressive
spring
suspension
has
proved
to
be
particularly
preferable
for
stabilizing
the
pendulum
mass.
EuroPat v2
Damit
reduziert
sich
die
Pendelmasse.
This
reduces
the
pendulum
mass.
ParaCrawl v7.1
Die
aus
der
Beschleunigung
der
Pendelmasse
resultierende
Trägheitskraft
erzeugt
im
Fluid
eine
Druckänderung,
die
sich
als
dynamische
Kraft
an
dem
schwingenden
Teil
bzw.
an
der
Halterung
bemerkbar
macht.
The
inertia
force
resulting
from
the
acceleration
of
the
inertia
mass
causes
a
pressure
change
in
the
fluid
which
acts
as
a
dynamic
force
on
the
vibrating
part
or
on
the
support.
EuroPat v2
Dabei
bewegt
sich
die
Pendelmasse
9,
die
über
das
Verbindungsglied
6
mit
dem
unteren
(Fig.
1)
bzw.
oberen
(Fig.
2)
Ende
des
sekundären
Balges
5
verbunden
ist,
nach
unten.
As
a
result,
the
inertia
mass
9
which
is
connected
through
the
connecting
member
6
to
the
lower
(FIG.
1)
or
the
upper
(FIG.
2)
end
of
the
secondary
bellows
5
is
moved
downwardly.
EuroPat v2
Bei
diesen
Ausführungsformen
sind
die
primären
Balge
3
durch
ein
Verbindungsglied
10
steif
miteinander
verbunden,
während
die
steife
Verbindung
der
sekundären
Balge
5
aus
einer
sie
durchsetzenden
Verbindungsstange
6
besteht,
an
der
die
Pendelmasse
9
sitzt.
In
these
embodiments,
the
primary
bellows
3
are
rigidly
connected
to
each
other
through
a
connecting
member
10,
while
the
rigid
connection
of
the
secondary
bellows
5
consists
of
a
connecting
rod
6
extending
therethrough
on
which
the
inertia
mass
9
is
mounted.
EuroPat v2
Dabei
bewegt
sich
die
Pendelmasse
9,
die
über
die
Stange
6
mit
dem
oberen
Ende
des
sekundären
Balges
5
verbunden
ist,
nach
unten.
As
a
result,
the
inertia
mass
9,
which
is
connected
through
the
rod
6
to
the
upper
end
of
the
secondary
bellows
5,
moves
downwardly.
EuroPat v2
Anker
20,
Pendel
30
und
Pendelmasse
31
sind
hierbei
so
bemessen
und
gelagert,
daß
der
Anker
20
gegenüber
der
Horizontallage
leicht
im
Gegenuhrzeigersinn
verschwenkt
ist,
so
daß
bei
der
Anordnung
des
Ausführungsbeispieles
sichergestellt
ist,
daß
die
Zähne
des
Ankerrades
13
nicht
mit
den
Armen
21
und
24
des
Ankers
20
in
Berührung
kommen.
Pallet
20,
pendulum
30,
and
pendulum
weight
31
are
dimensioned
and
mounted
in
such
fashion
that
pallet
20
is
pivoted
slightly
counterclockwise
relative
to
the
horizontal
position
so
that
the
arrangement
shown
in
this
embodiment
ensures
that
the
teeth
of
escape
wheel
13
do
not
touch
arms
21
and
24
of
pallet
20.
EuroPat v2
An
der
Pendelmasse
2
befindet
sich
ein
verschiebbarer
Lichtempfänger
3,
um
aufgrund
der
Verschiebung
die
Veränderung
zahlenmässig
erfassen
zu
können.
A
displaceable
light
receiver
3
is
located
on
the
pendulum
mass
2,
so
that
the
change
can
be
numerically
determined,
based
on
the
displacement.
EuroPat v2
Der
Reflektor
21
ist
ebenfalls
in
einer
kardanischen
Aufhängung
22
an
der
Wand
W2
gehaltert
und
bildet
die
Lagerpartie
eines
zweiten
Pendels
20,
das
lediglich
mit
einem
Gewicht
als
Pendelmasse
23
ausgerüstet
ist.
The
reflector
21
is
likewise
mounted
in
a
gimbal
suspension
22
on
the
wall
W2
and
forms
the
bearing
part
of
a
second
pendulum
20
to
which
only
a
weight
is
fitted
as
the
pendulum
mass
23.
EuroPat v2
Erfindungsgemäss
wird
dies
durch
ein
kardanisch
aufgehängtes
Pendel
erreicht,
bei
dem
eine
Lichtquelle
in
der
Aufhängung
und
ein
Lichtempfänger
bei
der
Pendelmasse
angeordnet
ist.
According
to
the
invention,
this
is
achieved
by
a
pendulum
suspended
on
gimbals,
a
light
source
being
arranged
at
the
suspension
and
a
light
receiver
being
arranged
at
the
pendulum
mass.
EuroPat v2
Die
Verbindungsstange
6,
die
mit
den
beiden
sekundären
Balgen
5
verbunden
ist,
bewegt
sich
mit
der
Pendelmasse
9
nach
oben.
The
connecting
rod
6
which
is
connected
to
the
two
secondary
bellows
5
moves
upwardly
together
with
the
inertia
mass
9.
EuroPat v2
Je
weiter
sich
die
Pendelmasse
9
dem
unteren
toten
Punkt
nähert,
desto
stärker
wird
sie
abgebremst.
The
closer
the
inertia
mass
9
comes
to
the
lower
dead
center,
the
more
it
is
decelerated.
EuroPat v2
Um
zu
vermeiden,
daß
in
dem
gewöhnlich
aus
einer
Flüssigkeit
geringer
Viskosität,
wie
einem
Wasser-Alkohol-Gemisch,
bestehenden
Fluid
ein
Unterdruck
entsteht,
der
zu
einer
Vergrößerung
des
Gesamtvolumens
der
Fluidraumanordnung
und
damit
zu
einer
Beeinträchtigung
der
Funktionsweise
führen
kann,
wird
eine
an
der
Pendelmasse
und
an
der
Halterung
bzw.
am.
schwingenden
Teil
angreifende,
zur
Fluiddruckerhöhung
vorgespannte
Feder
vorgesehen,
deren
Vorspannung
so
bemessen
ist,
daß
sich
in
Betrieb
keine
Vergrößerung
des
gesamten
Fluidvolumens
ergibt.
To
avoid
a
negative
pressure
in
the
fluid--which
conventionally
consists
of
a
liquid
of
low
viscosity,
such
as
a
water/alcohol
mixture--which
negative
pressure
may
result
in
an
increase
of
the
entire
volume
of
the
fluid
chamber
arrangement
and
thus
possibly
impair
its
effectiveness,
a
spring
is
provided
which
acts
on
the
pendulum
weight
and
on
the
support
or
the
vibrating
part
and
is
prestressed
to
increase
the
fluid
pressure.
The
initial
stress
of
the
spring
is
dimensioned
in
such
a
way
that
the
overall
fluid
volume
is
not
increased
during
operation.
EuroPat v2
Eine
Alternative
zur
Vermeidung
eines
Unterdrucks
besteht
darin,
daß
ein
zweites,
einen
primären
Fluidraum
und
einen
sekundären
Raum
aufweisendes
System
vorgesehen
wird,
wobei
die
primären
Fluidräume
und
sekundären
Räume
des
ersten
und
zweiten
Systems
durch
Verbindungsglieder
steif
miteinander
gekoppelt
sind,
und
gemeinsam
die
Pendelmasse
beschleunigen,
und
das
Volumen
des
einen
sekundären
Raums
verkleinert
und
das
des
anderen
sekundären
Raums
entsprechend
vergrößert
wird,
während
sich
die
Volumina
der
primären
Fluidräume
umgekehrt
verhalten.
In
accordance
with
an
alternative
measure
for
avoiding
negative
pressure,
a
second
system
having
a
primary
fluid
chamber
and
a
secondary
chamber
is
provided,
wherein
the
primary
fluid
chambers
and
the
secondary
chambers
of
the
first
and
second
systems
are
rigidly
coupled
to
each
other
by
means
of
connecting
members
and
jointly
accelerate
the
inertia
mass,
with
the
volume
of
the
secondary
chamber
being
reduced
while
that
of
the
other
secondary
chamber
is
increased
accordingly,
and
while
the
volumes
of
the
primary
fluid
chambers
behave
inversely.
EuroPat v2
Damit
wird
der
für
beide
Systeme
gemeinsame
sekundäre
Balg
5
auseinandergeschoben,
und
die
hier
mit
dem
unteren
Ende
des
sekundären
Balges
5
direkt
verbundene
Pendelmasse
9
bewegt
sich
nach
unten.
Thus,
the
secondary
bellows
5
which
is
the
same
for
both
systems
is
extended,
and
the
inertia
mass
9,
which
in
this
case
is
directly
connected
to
the
lower
end
of
the
secondary
bellows
5,
moves
downwardly.
EuroPat v2
Solche
Drehbeschleunigungssensoren
sind
insbesondere
in
mikromechanischer
Ausführung
bekannt
und
auf
dem
Markt
erhältlich,
insbesondere
auch
in
der
Form
als
Differential-Kondensator,
bei
dem
die
Kondensator-Mittelelektrode
durch
die
träge
Pendelmasse
des
B-Messers
gebildet
ist,
so
daß
der
B-Messer
unmittelbar
in
eine
Meßschaltung
eingebunden
werden
kann.
The
use
of
such
angular
acceleration
sensors
are
known
for
example,
in
micromechanical
devices,
and
the
sensors
are
usually
available
on
the
market.
They
are
usually
available
in
a
form
of
a
differential
condensator,
in
which
the
middle
electrode
of
the
condensator
is
formed
as
a
pendulum
mass
of
a
B-meter
that
can
be
directly
built
into
the
measuring
circuit.
EuroPat v2
Die
Glasplatten
2
und
3
decken
einen
aus
der
ehemals
geschlossenen
Silizium-Schicht
herausstrukturierten
Pendelraum
5
sowie
einen
beschleunigungssensitiven
Biegeschwinger
6
ab,
dessen
Pendelmasse
7
mittels
federungsfähig
ausgebildeter
Arme
8
und
9
mit
dem
Rahmen
4
in
Verbindung
steht.
The
glass
plates
2
and
3
cover
an
oscillation
space
5
structured
out
previously
from
the
then
closed
silicon
layer
as
well
as
covering
an
acceleration
sensitive
flexural
resonator
6,
whose
oscillating
mass
is
connected
to
the
frame
4
through
flexurally
designed
arms
8
and
9.
EuroPat v2
In
der
Pendelmasse
7
angebrachte
Schlitze,
von
denen
einer
mit
10
bezeichnet
ist,
dienen
der
Optimierung
des
Frequenzverhaltens
des
Biegeschwingers
6
mit
dem
Ziel
einer
annähernd
aperiodischen
Dämpfung
und
somit
einer
Verkürzung
der
Ansprechzeit.
Slots,
which
are
placed
in
the
oscillating
mass
7
of
which
one
is
designated
by
the
numeral
10,
serve
for
optimizing
the
frequency
behavior
of
the
flexural
resonator
with
the
aim
of
an
approximately
aperiodic
or
untuned
damping
and,
thus,
a
shortening
of
the
response
time.
EuroPat v2
Die
Erfindung
betrifft
ein
Verfahren
zum
Abdichten
herstellprozeßbedingter
Öffnungen
an
mikromechanischen
Beschleunigungssensoren,
welche
als
Differentialkondensatoren
in
Form
eines
Glas-Silizium-Glas-Schichtpaketes
hergestellt
sind,
wobei
der
Pendelmasse
eines
aus
der
elektrisch
leitend
dotierten
Siliziumschicht
herausstrukturierten
Biegeschwingers
auf
den
innenliegenden
Flächen
der
Glasschichten
Gegenelektroden
zugeordnet
sind,
welche
mittels
gleichflächig
angebrachten
Leiterbahnen
mit
außerhalb
des
Pendelraumes
ausgebildeten
Anschlußkontakten
elektrisch
leitend
verbunden
sind,
wobei
in
der
den
Pendelraum
umgebenden
Siliziumschicht
Öffnungen
bzw.
relativ
flache
Freisparungen
ausgebildet
sind,
welche
einem
kurzschlußsicheren
Herausführen
der
Leiterbahnen
aus
dem
Pendelraum
dienen.
FIELD
OF
THE
INVENTION
The
invention
deals
with
a
method
for
sealing
apertures
caused
by
fabrication
in
micromechanical
acceleration
sensors,
which
are
fabricated
as
differential
capacitances
in
the
form
of
a
glass-silicon-glass
layered
package
or
wafer,
wherein
counter
electrodes
on
the
inner
faces
of
the
glass
layers
are
allocated
to
the
oscillating
mass
of
a
flexural
resonator
structured
out
of
the
silicon
layer
doped
so
as
to
be
electrically
conductive.
EuroPat v2