Übersetzung für "Laserstrukturierung" in Englisch
Nach
dieser
Laserstrukturierung
wird
gemäß
Figur
4g
das
Photoresist
PR
entfernt.
After
this
laser
patterning,
the
photoresist
PR
is
removed
in
accordance
with
FIG.
4
g.
EuroPat v2
Bei
der
Laserstrukturierung
der
Polymerschichten
müssen
große
Mengen
an
Material
abgetragen
werden.
In
the
laser
structuring
of
the
polymer
layers,
large
amounts
of
material
must
be
removed.
EuroPat v2
Der
Bor-dotierte
Emitter
wird
mittels
Laserstrukturierung
definiert
und
mit
einer
Siliziumnitrid-Aluminiumoxid-Doppelschicht
optimal
passiviert.
The
boron-doped
emitter
is
defined
with
laser
structuring
and
is
passivated
optimally
with
an
aluminumoxide-siliconnitride
double
layer.
ParaCrawl v7.1
Der
Rohling
10
wird
nun
durch
Laserstrukturierung
bearbeitet,
siehe
Fig.
2
.
The
blank
10
is
now
processed
by
laser
structuring,
see
FIG.
2
.
EuroPat v2
Gleichzeitig
wird
die
infrarotreflektierende
Wirkung
erniedrigt
und
der
Bearbeitungsaufwand
der
Laserstrukturierung
deutlich
erhöht.
At
the
same
time,
the
infrared
reflecting
action
is
reduced
and
the
processing
cost
of
the
laser
patterning
is
significantly
increased.
EuroPat v2
Bei
den
meisten
Verfahren
zur
Laserstrukturierung
ist
die
Größe
des
möglichen
Bearbeitungsfensters
begrenzt.
With
most
methods
of
laser
patterning,
the
size
of
the
possible
processing
window
is
limited.
EuroPat v2
Die
Sinteroperation
kann
vor
oder
nach
der
Laserstrukturierung
durchgeführt
werden.
The
sintering
operation
may
be
carried
out
before
or
after
the
laser
structuring.
EuroPat v2
Derartige
Linienbreiten
sind
technisch
einfach
herzustellen,
beispielsweise
durch
Laserstrukturierung.
Such
line
widths
are
technically
simple
to
produce,
for
example,
by
laser
patterning.
EuroPat v2
Aktuell
werden
besonders
Prozesse
der
Laserstrukturierung
für
die
Solarzellenherstellung
und
–modifikation
untersucht.
Currently
laser
structuring
processes
are
especially
investigated
for
their
potential
in
solar
cell
fabrication
and
–modification.
ParaCrawl v7.1
Eine
maskenlose
Herstellung
von
Werkstücken
ist
in
Verbindung
mit
der
Laserstrukturierung
möglich.
Production
of
work
pieces
without
a
mask
is
possible
in
connection
with
laser
structuring.
ParaCrawl v7.1
Dabei
wird,
wie
oben
beschrieben,
vorzugsweise
ein
MID-Verfahren
eingesetzt,
beispielsweise
eine
Laserstrukturierung.
An
MID
method
may
be
used
in
this
instance,
as
described
above,
for
example,
laser
patterning.
EuroPat v2
Zur
Laserstrukturierung
können
beispielsweise
CO
2
-Laser
mit
einer
Wellenlänge
von
10640
nm
eingesetzt
werden.
For
example,
CO
2
lasers
having
a
wavelength
of
10
640
nm
can
be
used
for
the
laser
structuring.
EuroPat v2
Es
werden
(z.B.
durch
Laserstrukturierung)
Löcher
oder
Schlitze
im
Wafer
erzeugt.
Holes
or
slits
are
created
in
the
wafer
(e.g.
by
laser
structuring).
EuroPat v2
Im
Unterschied
zum
Maskenverfahren
wird
bei
der
direkten
Laserstrukturierung
der
Ätzresist
direkt
mit
dem
Laser
strukturiert.
In
contrast
to
the
masking
method,
in
direct
laser
structuring
the
etching
resist
is
directly
structured
with
the
laser.
EuroPat v2
Zu
diesem
Zweck
wurden
YAG-Laser
für
die
präzise
Laserstrukturierung
der
Module
in
Anspruch
genommen.
To
this
end,
YAG
lasers
have
been
called
upon
to
provide
the
precise
laser
scribing
of
the
panels.
ParaCrawl v7.1
Seit
einigen
Jahren
werden
die
Coatema
Anlagen
auch
mit
Laserstrukturierung
ausgestattet
oder
der
Technologie
des
Nanoimprinten.
Coatema
systems
can
also
be
equipped
with
laser
structuring
or
the
technology
of
nanoimprinting.
ParaCrawl v7.1
All
diese
Maßnahmen
können
durch
die
Anwendung
der
Laserstrukturierung
für
die
feinen
Leiterstrukturen
entfallen,
wobei
gleichzeitig
auch
eine
sehr
hohe
Ausbeute
erzielt
wird.
All
these
measures
can
be
obviated
by
the
application
of
laser
patterning
for
the
fine
conductor
structures,
while
at
the
same
time
giving
a
very
high
yield.
EuroPat v2
Für
diese
Laserstrukturierung
wird
beispielsweise
ein
Nd:YAG
Laser
mit
einer
Wellenlänge
von
1,06
µm
oder
von
355
nm
verwendet.
By
way
of
example,
an
Nd:YAG
laser
having
a
wavelength
of
1.06
um
or
355
nm
is
used
for
this
laser
patterning.
EuroPat v2
Für
diese
Laserstrukturierung
des
Ätzresists
AR
wird
ein
Nd:YAG
Laser
mit
einer
Wellenlänge
von
1,06
µm
verwendet.
An
Nd:YAG
laser
having
a
wavelength
of
1.06
um
is
used
for
this
laser
patterning
of
the
etching
resist
AR.
EuroPat v2
Durch
die
dargestellte
Form
der
Elektroden
ist
insbesondere
auch
sichergestellt,
daß
zum
Zeitpunkt
der
Vornahme
einer
Laserstrukturierung
innerhalb
des
Flächenbereichs,
in
dem
der
Sicherungssteg
realisiert
werden
soll,
eine
möglichst
homogene
elektrische
Feldstärke
erzeugt
werden
kann.
Through
the
illustrated
shape
of
the
electrodes
it
is
in
particular
also
ensured
that,
at
the
time
of
effecting
a
laser
structuring
within
the
surface
zone
in
which
the
fuse
web
is
to
be
realised,
an
electrical
field
strength
can
be
generated
which
is
as
homogenous
as
possible.
EuroPat v2
Um
während
der
Laserstrukturierung
ein
tropfenartiges
Aufschmelzen
der
Pasten
im
Stegbereich
zu
vermeiden,
werden
die
Laserschnitte
zweckmäßigerweise
in
Teilschnitte
aufgeteilt,
zwischen
denen
jeweils
eine
bestimmte
Zeit
lang
abgewartet
und
der
Laser
abgeschaltet
wird.
In
order
to
avoid
droplet-like
melting
of
the
paste
in
the
web
region
during
laser
structuring,
the
laser
cuts
are
expediently
split-up
into
partial
cuts
between
which
there
is
in
each
case
a
waiting
period
and
the
laser
is
switched
off.
EuroPat v2
Da
dünne
Aluminiumoxid-
und
Siliziumdioxid-Schichten
im
sichtbaren
Bereich
transparent
sind,
kann
bei
der
Verwendung
von
optisch
transparenten
Substraten
eine
Laserstrukturierung
von
der
Rückseite
durch
das
Substrat
hindurch
erfolgen.
Since
thin
aluminum
oxide
and
silicon
dioxide
layers
are
transparent
in
the
visible
range,
a
laser
structuring
proceeding
from
the
backside
through
the
substrate
may
be
performed
given
the
employment
of
optically
transparent
substrates.
EuroPat v2
Beim
in
den
Figuren
7
und
8
gezeigten
Ausführungsbeispiel
erfolgt
ein
Abgleich
auf
einen
konstanten
Auslösestrom
I
O,
wobei
auf
die
Beziehung
EPMATHMARKEREP
zugegriffen
wird
und
im
Verlauf
der
durchgeführten
Laserstrukturierung
auf
die
zuvor
beschriebene
Weise
der
Flächenwiderstand
R
F
bestimmt
wird,
um
aus
diesem
wiederum
einen
Zielwiderstand
R
z
für
den
endgültigen
Abgleich
zu
berechnen.
In
the
embodiment
shown
in
FIGS.
7
and
8,
a
setting
to
a
constant
trigger
current
IO
takes
place
with
use
being
made
of
the
relationship
##EQU8##
and
with
the
surface
resistance
RF
being
determined
in
the
course
of
the
laser
structuring
which
is
carried
out
in
the
manner
previously
described,
with
the
target
resistance
RZ
for
the
final
setting
being
then
in
turn
computed
from
the
surface
resistance
RF.
EuroPat v2
Die
Strukturierung
der
Tastensensoren
kann
mit
den
selben
Methoden,
wie
sie
bei
der
Herstellung
von
a-Silicium-Dünnfilmschaltungen
angewendet
werden,
also
z.B.
durch
Laserstrukturierung,
oder
photolithographisch
erfolgen.
The
key
sensors
can
be
structured
by
the
same
methods
as
are
used
in
the
fabrication
of
alpha-silicon
thin-film
circuits,
i.e.,
for
instance,
by
laser
structuring
or
by
photolithography.
EuroPat v2
Die
Matrize
weist
vorzugsweise
zusätzlich
eine
raue
Oberfläche
als
Oberflächen-Feinstruktur
auf,
wobei
die
Dimensionen
der
Rauhigkeit
der
Oberflächen-Feinstruktur
kleiner
sind
als
die
mittels
Laserstrukturierung
erzeugten
Strukturelemente.
The
die
preferably
additionally
has
a
rough
surface
as
fine
surface
structure,
the
dimensions
of
the
roughness
of
the
fine
surface
structure
being
smaller
than
the
structure
elements
produced
by
means
of
laser
structuring.
EuroPat v2
Weiterhin
kann
die
Rauhigkeit
im
Zuge
der
Laserstrukturierung
direkt
auf
der
Matrize
erzeugt
werden,
indem
einem
Muster
(Raster)
aus
groben
Strukturelementen
zusätzlich
ein
feineres
Muster
aus
feineren
Strukturelementen
überlagert
wird,
z.B.
ein
Störmuster
in
Form
eines
amplituden-
/höhenmodulierten
Rauschens,
ein
feines,
unregelmäßiges
Muster
oder
ein
autotypisches
oder
frequenzmoduliertes
Raster,
welches
feiner
ist
als
die
Grobstruktur.
Furthermore,
the
roughness
can
be
produced
in
the
course
of
laser
structuring
directly
on
the
die
by
additionally
superposing
a
finer
pattern
of
finer
structure
elements
on
a
pattern
(screen)
of
coarse
structure
elements,
for
example
an
interference
pattern
in
the
form
of
amplitude-/height-modulated
noise,
a
fine,
irregular
pattern
or
an
autotypical
or
frequency-modulated
screen
which
is
finer
than
the
coarse
structure.
EuroPat v2
Alternativ
hierzu
kann
auch
eine
flächig
angebrachte
Isolationsschicht
17
mittels
Laserstrukturierung
schrittweise
bis
auf
die
Rückseite
der
Absorberschicht
06
freigelegt
werden
(schrittweise
Laserbohrung
von
Strukturierungen
75
durch
die
Isolationsschicht
17,
die
Kontaktschicht
16
des
zweiten
Kontaktsystems
13
und
die
Emitterschicht
07).
As
an
alternative
to
this,
an
insulating
layer
17
that
has
been
applied
over
the
entire
surface
area
can
also
be
exposed
by
means
of
stepwise
laser
structuring
all
the
way
to
the
back
of
the
absorber
layer
06
(stepwise
laser
drilling
of
structures
75
through
the
insulating
layer
17,
the
contact
layer
16
of
the
second
contact
system
13
and
the
emitter
layer
07).
EuroPat v2