Übersetzung für "Laserinterferometer" in Englisch
Laserinterferometer
werden
in
der
Regel
mit
annähernd
monochromatischem
Dauerstrich-Laserlicht
betrieben.
Laser
interferometers
are
usually
operated
with
monochromatic
continuous-wave
light.
WikiMatrix v1
Die
elektromechanische
Dehnung
S
3
wird
mittels
Laserinterferometer
bei
2kV/mm
bestimmt.
The
electromechanical
elongation
S
3
is
determined
by
means
of
laser
interferometer
at
2
kV/mm.
EuroPat v2
Laserinterferometer
messen
winzige
Abstandsänderungen
mit
hoher
Präzision.
Laser
interferometers
detect
tiny
distance
changes
with
high
precision.
ParaCrawl v7.1
Es
können
aber
auch
andere
dynamisch
arbeitende
Wegmesser,
wie
Ultraschallsensoren
oder
Laserinterferometer,
eingesetzt
werdsn.
However,
other
dynamically
operating
displacement
measuring
devices,
such
as
ultrasonic
sensors
or
laser
interferometers,
can
also
be
used.
EuroPat v2
Laserinterferometer
der
gattungsgemäßen
Art
sind
zur
hochauflösenden
Weg-
bzw.
Distanzmessung
und
Schwingungsmessung
besonders
geeignet.
Laser
interferometers
o
the
preamble-basing
type
are
particularly
suitable
for
high-resolution
distance
of
displacement
measurement
and
a
so
vibration
or
oscillation
measurement.
EuroPat v2
Wird
die
Laserfrequenz
selbst
zur
Überlagerung
genutzt,
arbeitet
das
Gerät
wie
ein
Laserinterferometer.
If
the
laser
frequency
itself
is
used
for
a
superposition
the
device
is
working
like
a
laser
interferometer.
EuroPat v2
Bei
den
dann
resultierenden
hohen
Genauigkeitsforderungen
können
keine
Laserinterferometer
als
Positionsmesseinrichtungen
mehr
verwendet
werden.
Given
the
stringent
accuracy
requirements
then
resulting,
laser
interferometers
can
no
longer
be
used
as
position-measuring
devices.
EuroPat v2
Zunächst
werden
die
Teilstücke
in
sich
gegenüber
einer
Referenz,
beispielsweise
einem
Laserinterferometer
abgeglichen.
Initially
the
partial
sections
are
compared
to
one
another
using
a
reference,
for
example
using
a
laser
interferometer.
EuroPat v2
Ein
Hammer
versetzt
das
Brett
in
Schwingungen,
die
von
einem
Laserinterferometer
gemessen
werden.
A
hammer
causes
the
board
to
vibrate,
which
is
measured
by
a
laser
interferometer.
ParaCrawl v7.1
Es
soll
das
weltweit
empfindlichste
Laserinterferometer
werden
und
somit
die
Empfindlichkeit
der
Experimente
GEO600
und
LIGO
übertreffen.
The
Fermilab
Holometer
in
Illinois
is
intended
to
be
the
world's
most
sensitive
laser
interferometer,
surpassing
the
sensitivity
of
the
GEO600
and
LIGO
systems,
and
theoretically
able
to
detect
holographic
fluctuations
in
spacetime.
WikiMatrix v1
Laserinterferometer
teilen
einen
Lichtstrahl
zunächst
in
zwei
Wege
auf,
um
sie
nach
Durchlaufen
der
Wege
wieder
zu
überlagern.
Laser
interferometers
split
a
laser
beam
in
two
paths
and
overlap
them
again
afterwards.
WikiMatrix v1
Das
auf
dem
Wafertisch
T
angeordnete
Target
wird
zusammen
mit
diesem
Wafertisch
WT
mit
einer
Geschwindigkeit
v
bewegt,
wobei
diese
Bewegung
über
ein
Laserinterferometer
LI
gesteuert
wird.
The
wafer
table
WT
on
which
the
resist
wafer
is
mounted
may
be
movable
in
the
direction
v
by
a
laser
interferometer
LI.
EuroPat v2
Beispielsweise
kann
als
Längenmeßsystem
der
höheren
Genauigkeitsklasse
auf
der
einen
Seite
des
Schlittens
ein
temperaturinvarianter
Zerodurmaßstab
oder
ein
Laserinterferometer
mit
hochgenau
stabilisierter
Wellenlänge
und
einer
Einrichtung
zur
Kompensation
der
Umweltparameter
wie
Luftdruck
und
Temperatur
auf
die
Wellenlänge
im
Bereich
der
Meßstrecke
eingesetzt
werden.
Thus,
for
example,
a
temperature-invariant
Zerodur
scale
or
a
laser
interferometer
of
precisely
stabilized
wavelength
can
be
used
as
the
length-measurement
system
of
the
higher-precision
class
on
the
one
side
of
the
movable
structure,
along
with
associated
means
to
compensate
for
environmental
parameters
such
as
air
pressure
and
temperature,
at
the
wavelength
used
over
the
region
of
the
measurement
path.
EuroPat v2
Bisher
wurden
Führungen
in
Meßmaschinen
mit
Hilfe
zweier
verschiedener
Geräte,
nämlich
mit
einem
Laserinterferometer
auf
Linearität
und
mit
einem
Autokollimationsfernrohr
auf
Verkippungen
geprüft.
This
is
in
contrast
to
prior
practice,
wherein
guides
of
measurement
machines
were
tested
by
means
of
two
different
instruments,
namely,
a
laser
interferometer
for
linearity
and
an
autocollimator
for
tilting.
EuroPat v2
Die
Position
des
Kollimators
(8)
längs
der
Achse
wird
von
einem
separten
Laserinterferometer
(11)
bestimmt,
das
ein
Tripelprisma
auf
dem
Halter
des
Kollimators
(8)
anmißt.
The
position
of
the
collimator
8
along
the
optical
axis
is
determined
by
a
separate
laser
interferometer
11
which
makes
measurements
to
a
triple
prism
mounted
on
the
holder
of
the
collimator
8.
EuroPat v2
Diese
mit
dem
Laserinterferometer
gemessene
Verfahrstrecke,
um
die
der
Objekttisch
dabei
verschoben
worden
ist,
entspricht
der
Länge
der
zu
vermessenden
Strecke.
This
displacement
path
measured
with
a
laser
interferometer,
by
which
the
microscope
stage
is
thereby
displaced,
corresponds
to
the
length
of
the
path
to
be
measured.
EuroPat v2
Das
auf
dem
Wafertisch
WT
angeordnete
Target
wird
zusammen
mit
diesem
Wafertisch
WT
mit
einer
Geschwindigkeit
v
bewegt,
wobei
diese
Bewegung
über
ein
Laserinterferometer
LI
gesteuert
wird.
The
wafer
table
WT
on
which
the
resist
wafer
is
mounted
may
be
movable
in
the
direction
v
by
a
laser
interferometer
LI.
EuroPat v2
Auf
dem
Gestell
1
ist
ferner
ein
in
etwa
in
Längsrichtung
der
Schiene
3
ausgerichtetes
Laserinterferometer
12
als
Bestandteil
einer
Messeinrichtung
angeordnet,
dessen
Laserstrahl
13
auf
einen
Spiegel
als
Reflexionsfläche
an
einer
Stirnfläche
14
des
Magnetisierwagens
8
gerichtet
ist.
Also
arranged
on
the
frame
1,
as
a
component
of
a
measuring
device,
is
a
laser
interferometer
12
which
is
aligned
approximately
in
the
longitudinal
direction
of
the
rail
3
and
whose
laser
beam
13
is
directed
on
to
a
mirror
as
reflecting
surface
on
an
end
face
14
of
the
magnetizing
carriage
8
.
EuroPat v2
In
der
Zeichnung
ist
rechts
oben
ein
Laserinterferometer
1
schematisch
dargestellt,
das
normalerweise
neben
das
Mikroskop
gestellt
wird.
At
the
upper
right
in
FIG.
1,
a
laser
interferometer
1
is
depicted
schematically
and
is
normally
placed
next
to
the
microscope.
EuroPat v2
Vom
Laserinterferometer
1
wird
ein
Lichtstrahl
mittels
eines
Lichtleiters
2
in
Form
einer
faseroptischen
Verbindung
zum
Mikroskop
geführt.
From
the
laser
interferometer
1
a
light
beam
is
conducted
to
the
microscope
using
a
lightguide
2
in
the
form
of
a
fiber
optic
connection.
EuroPat v2
Werden
nunmehr
Positionsmeßeinrichtungen
mit
einer
hohen
Auflösung
und
entsprechend
kleiner
Signalperiode
eingesetzt,
beispielsweise
LaserInterferometer
oder
aber
interferentiell
arbeitende
optische
Positionsmeßeinrichtungen,
so
können
bei
der
Übertragung
analoger
Inkrementalsignale
eine
Reihe
von
Problemen
resultieren.
If,
however,
position
measuring
systems
of
high
resolution
and
correspondingly
short
signal
periods
are
employed,
for
example,
laser
interferometers
or
interferentially
operating
optical
position
measuring
systems,
a
number
of
problems
can
result
in
connection
with
the
transmission
of
analog
incremental
signals.
EuroPat v2
Etwaige
Abweichungen
der
realen
Position
des
Tisches
2
bzw.
des
Substrates
4
von
der
theoretischen
Sollposition
werden
gemessen,
beispielsweise
mit
einem
Laserinterferometer,
und
einem
Beam-Tracking-System
zugeführt,
mit
Hilfe
dessen
auftretende
Abweichungen
durch
eine
zusätzliche
Ablenkung
des
Elektronenstrahls
6
ausgeglichen
werden.
Any
deviations
in
the
real
position
of
stage
2
or
substrate
4
from
the
theoretical
reference
position
are
measured,
for
example
with
a
laser
interferometer,
and
conveyed
to
a
beam
tracking
system
with
which
any
deviations
that
occur
are
compensated
for
by
an
additional
deflection
of
electron
beam
6
.
EuroPat v2
Etwaige
Abweichungen
der
realen
Position
des
Tisches
2
von
einer
vorgegebenen
Position
werden
gemessen,
beispielsweise
mit
einem
Laserinterferometer,
und
über
eine
entsprechende
Ablenkung
des
Elektronenstrahls
6
dynamisch
ausgeglichen.
Any
deviations
in
the
real
position
of
stage
2
from
a
predefined
position
are
measured,
for
example
with
a
laser
interferometer,
and
dynamically
compensated
for
by
a
corresponding
deflection
of
electron
beam
6
.
EuroPat v2