Übersetzung für "Kristallkeim" in Englisch
Man
kann
den
Rest
der
Kristallkeim
auch
unmittelbar
nach
der
Entwässerung
zusetzen.
The
remainder
of
the
crystal
seeds
can
also
be
added
immediately
after
the
dehydration.
EuroPat v2
Damit
wird
die
Abscheiderate
von
GaN
auf
dem
Kristallkeim
aus
der
Metallschmelze
erhöht.
The
precipitation
rate
of
GaN
on
the
crystal
seed
from
the
fused
metal
is
raised
in
this
manner.
EuroPat v2
Während
des
Kristall-Züchtungsvorgangs
wird
ein
Kristallkeim
(nicht
abgebildet)
am
unteren
Ende
des
Drahtzugs
festgehalten.
During
the
crystal
growing
process,
a
seed
crystal
(not
shown)
is
held
at
the
lower
end
of
the
pulling
wire.
EuroPat v2
Daraus
wird
nach
Verdünnen
durch
Ausrühren
mit
frisch
gefälltem
ATH
als
Kristallkeim
das
ATH
ausgefällt.
After
dilution
the
ATH
is
precipitated
out
by
stirring
with
freshly
precipitated
ATH
as
seed
crystal.
EuroPat v2
Der
Behälter
36
wird
nun
aus
der
Ziehkammer
12
herausgenommen
und
der
Keimhalter
mit
einem
neuen
Kristallkeim
am
Drahtzug
18
befestigt.
The
receptacle
36
is
removed
from
the
pulling
chamber
12
and
the
seed
holder
carrying
a
new
seed
crystal
is
attached
to
the
pulling
wire
18.
EuroPat v2
Der
Schmelztiegel
wird
in
eine
Drehbewegung
versetzt
und
der
Kristallkeim
heruntergelassen,
bis
er
das
geschmolzene
Silicium
im
Tiegel
berührt.
The
crucible
is
rotated
and
the
seed
crystal
is
lowered
into
contact
with
the
molten
silicon
in
the
crucible.
EuroPat v2
Liegt
der
Segregationskoeffizient
unter
Eins,
so
bleibt
die
Verunreinigung
im
allgemeinen
in
der
Flüssigkeit
zurück,
während
ihr
der
Kristallkeim
das
Silicium
entzieht.
If
the
segregation
coefficient
is
less
than
one,
the
impurity
tends
to
remain
in
the
liquid
as
silicon
is
drawn
off
by
the
seed
crystal.
EuroPat v2
Anschließend
läßt
man
den
Schmelztiegel
24
rotieren
und
senkt
den
Kristallkeim
soweit,
bis
er
mit
der
Siliciumschmelze
25
in
dem
Schmelztiegel
in
Berührung
kommt.
The
crucible
24
is
rotated
and
the
seed
crystal
is
lowered
into
contact
with
the
silicon
melt
25
in
the
crucible.
EuroPat v2
Verfahren
nach
Anspruch
9,
dadurch
gekennzeichnet,
daß
ein
thermoschockresistenter
Kristallkeim
mit
einer
Versetzungsdichte
von
etwa
10.000
-
100.000
Versetzungen/cm
2
verwendet
wird.
The
method
of
claim
9,
comprising
using
a
crystal
nucleus
having
a
dislocation
density
of
about
10,000-100,000
dislocations/cm
2
.
EuroPat v2
Einkristall-Silizium,
das
Ausgangsmaterial
für
die
meisten
Halbleiterherstellungsverfahren,
wird
meistens
nach
der
CZOCHRALSKI-Methode
hergestellt,
wo
ein
einzelner
Kristallkeim
in
geschmolzenes
Silizium
getaucht
und
langsam
wieder
herausgezogen
wird.
Single-crystal
silicon,
the
starting
material
for
most
semiconductor
fabrication
processes,
is
most
commonly
prepared
by
the
Czochralski
method
wherein
a
single
seed
crystal
is
dipped
into
molten
silicon
and
slowly
withdrawn.
EuroPat v2
Mit
dem
erfindungsgemäßen
Verfahren
wurde
nun
gefunden,
dass
sich
hochhomogene,
laserstabile
und
streuungsfreie
bzw.
streuungsarme
großvolumige
Kristalle
dadurch
herstellen
lassen,
dass
Kristallmaterial
nicht
direkt
aus
der
Dampfphase
auf
einen
gekühlten
Kristallkeim
abgeschieden
wird,
sondern
dass
sich
großvolumige
Kristalle
auch
mit
den
klassischen
GSM-Verfahren
(Gradient
Solidification
Method)
in
bislang
nicht
erreichbarer
Qualität
und
Ausbeute
herstellen
lassen,
wenn
das
CaF
2
-Material
zuvor
bei
einer
Temperatur
von
mindestens
1200°C
im
Vakuum
bei
einem
Druck
von
höchsten
5*10
-4
ppm
verdampft
und
bei
einer
Temperatur
von
mindestens
500°C
kondensiert
wird.
With
the
method
according
to
the
invention
it
was
found
that
highly
uniform,
laser-stable
and
scattering-free
or
low
scattering
large-volume
crystals
may
be
made,
that
the
crystalline
material
is
not
directly
deposited
from
the
vapor
phase
on
the
cooled
crystal
seed,
but
that
the
large-volume
crystals
may
be
made
in
a
yield
with
quality
that
has
not
been
possible
to
attain
up
to
the
present
invention,
even
with
the
classical
GSM
method
(gradient
solidification
method),
when
the
CaF
2
material
is
evaporated
at
a
temperature
of
at
least
1200°
C.
in
vacuum
at
a
pressure
of
at
most
5*10
?4
mbar
and
condensed
at
a
temperature
of
at
least
500°
C.
EuroPat v2
Werden
nun
an
den
übereinander
angeordneten
Heizmänteln
Temperaturen
angelegt,
die
für
den
oberen
Mantel
oberhalb
der
Schmelztemperatur
und
für
den
unten
liegenden
Mantel
unterhalb
der
Schmelztemperatur
liegen
und
der
Tiegel
langsam
aus
dem
oberen
Heizmantel
in
den
unteren
abgesenkt
wird,
so
kühlt
sich
die
Schmelze
im
Tiegel
allmählich
ab
und
ausgehend
vom
Kristallkeim
wächst
erstarrt
die
Schmelze
unter
Ausbildung
eines
Einkristalls.
If
the
temperatures
in
the
heating
jackets
arranged
above
each
other
are
set
so
that
the
temperature
in
the
upper
jacket
is
above
the
melting
temperature
and
the
temperature
in
the
lower
jacket
is
below
the
melting
temperature
and
the
melt
vessel
is
slowly
lowered
from
the
upper
heating
jacket
into
the
lower
heating
jacket,
the
melt
in
the
melt
vessel
solidifies
starting
to
grow
from
a
crystal
seed,
thus
forming
a
single
crystal.
EuroPat v2
Das
erfindungsgemäße
Verfahren
zur
Herstellung
von
Kristallschichten
oder
Volumenkristallen
aus
Gruppe-III-Nitrid
oder
aus
Mischungen
verschiedener
Gruppe-III-Nitride
durch
Abscheidung
aus
einer
Gruppe-III-haltigen
Metallschmelze
bei
einer
ersten
Temperatur
in
einem
ersten
Temperaturbereich,
auf
einem
in
die
Metallschmelze
eingebrachten
Gruppe-III-Nitrid
Kristallkeim
oder
auf
einem
Fremdsubstrat,
mit
einem
Stickstoffeintrag
in
die
Metallschmelze
bei
einem
Druck
P,
zeichnet
sich
dadurch
aus,
dass
der
Metallschmelze
ein
Lösungsmittelzusatz,
der
den
Umsatz
von
Gruppe
III
Metall
zu
Gruppe
III
Nitrid
in
der
Metallschmelze
erhöht,
zugegeben
wird.
The
invented
method
of
producing
crystal
layers
or
bulk
crystals
of
the
group
III
nitride
or
of
mixtures
of
different
group
III
nitrides
by
means
of
precipitation
from
group-III-containing
fused
metals
at
a
first
temperature
in
a
first
temperature
range
on
a
group
III
nitride
crystal
seed
placed
into
the
fused
metal
or
on
a
foreign
substrate,
with
an
admixture
of
nitrogen
in
the
fused
metal
at
a
pressure
P,
is
distinguished
in
that
added
to
the
fused
metal
is
a
solvent
additive
that
increases
the
conversion
rate
of
group
III
metal
to
group
III
nitride
in
the
fused
metal.
EuroPat v2