Übersetzung für "Amorphisierung" in Englisch

Bei solchen Laserleistungen kann die Amorphisierung des Substratmaterials auf die Vereinzelungsgräben begrenzt werden.
At such laser powers, the amorphization of the substrate material may be limited to the separation trenches.
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Vorzugsweise erfolgt Reinigung und Amorphisierung gleichzeitig, noch bevorzugter durch dieselbe Behandlung.
Purification and amorphization preferably occur simultaneously, even more preferably by the same treatment.
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Die Amorphisierung löst dabei mehrere Probleme:
In this case, the amorphization solves several problems:
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Durch die Einschlagenergie ist die Amorphisierung steuerbar.
The amorphization can be controlled by the impact energy.
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Die Amorphisierung erfolgt vorzugsweise durch Teilchenkollision mit der Substratoberfläche.
The amorphization is preferably carried out by particle collision with the substrate surface.
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In der Graphik ist die Amorphisierung 11 durch eine gestrichelte Linie angedeutet.
In the graph, the amorphization 11 is illustrated by a dashed line.
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Für die Amorphisierung 11 wird das Phasenwechselmaterial zunächst aufgeschmolzen.
For the amorphization 11, the phase change material is firstly melted.
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Die Schädigung geht daher meistens auch mit einer Amorphisierung der oberflächennahen Bereiche einher.
The damage is usually associated with an amorphization of the near-surface areas.
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Die Amorphisierung der Oberfläche erfolgt vorzugsweise über die Einstellung der Ionenenergie.
The amorphization of the surface takes place preferably through the adjustment of the ion energy.
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Bevorzugt erfolgen eine Reinigung der Oberfläche zur Oxidentfernung und eine Amorphisierung gleichzeitig.
A cleaning of the surface for oxide removal and an amorphization are preferably carried out simultaneously.
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Vorzugsweise erfolgen Reinigung und Amorphisierung gleichzeitig, noch bevorzugter durch dieselbe Behandlung.
Preferably, cleaning and amorphization are carried out simultaneously, even more preferably by the same treatment.
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Die Amorphisierung gewährleistet außerdem eine höhere Beweglichkeit des Materials an den Grenzflächen.
In addition, the amorphization ensures a higher movability of the material on the interfaces.
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Der Effekt der Amorphisierung von PET-Folien wurde ferner zur Verminderung des Reibungskoeffizienten bzw. zur Autoadhäsion eingesetzt.
The effect of the conversion of PET films into amorphous form has also been used for reducing the coefficient of friction and for autoadhesion.
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Dabei ließen sich eine Zerstörung der Kristallstruktur (Amorphisierung) und eine Dehydration der Hydroxide beobachten.
In this process a destruction of the crystal structure (amorphization) and dehydration of the hydroxides could be observed.
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Die Amorphisierung des Siliziumsubstrats mit nachfolgender Trennung durch mechanische Spannungen kommt ebenfalls ohne Materialabtrag aus.
The amorphization of the silicon substrate with subsequent separation by mechanical stresses does not require the removal of excess material.
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Drittens wird durch die Amorphisierung ein thermodynamisch metastabiler Zustand an der Substratoberfläche (Bondgrenzfläche) erzeugt.
In the third place, a thermodynamically metastable state at the substrate surface (bonding boundary surface) is produced by the amorphization.
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Die Reinigung und/oder die Amorphisierung finden bevorzugt in einer Vakuumkammer als Prozesskammer statt.
The purification and/or the amorphization preferably take place in a vacuum chamber as a process chamber.
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Es werden erfindungsgemäß insbesondere folgende Gase und/oder Gasgemische für die Amorphisierung ionisiert:
According to the invention, in particular the following gases and/or gas mixtures are ionized for the amorphization:
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Die teilweise Amorphisierung bei Mikronisierungen ist mit einer chemischen und physikalischen Destabilisierung des Wirkstoffes verbunden.
The partial amorphization in micronization is associated with chemical and physical destabilization of the active substance.
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Die Abkühlrate von der Glastemperatur bis zur Raumtemperatur spielt für die Amorphisierung 11 keine Rolle.
The cooling rate from the glass temperature to room temperature does not play any role in the amorphization 11 .
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Mit dieser kontrollieren Schädigung wird erfindungsgemäß vorzugsweise eine Amorphisierung des Oxids oder zumindest der oberflächennahen Oxidbereiche.
Preferably and according to the invention, an amorphization of the oxide or at least the near-surface oxide area comes about through this controlled damaging.
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Die Amorphisierung reduziert die erforderliche Energie (Kraft), um Mikrokavitäten zu schließen.
The amorphization reduces the necessary energy (force) in order to close microcavities.
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Die Amorphisierung der Substratoberfläche führt zu einem besseren Bondergebnis, insbesondere bei vergleichsweise geringen Temperaturen.
The amorphization of the substrate surface results in a better bonding result, in particular in the case of comparatively low temperatures.
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Durch die Amorphisierung wird insbesondere ein thermodynamisch metastabiler Zustand an der Substratoberfläche (Bondgrenzfläche) erzeugt.
In particular, a thermodynamically metastable state at the substrate surface (bonding boundary surface) is created by the amorphization.
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Dies wird sogar sichtbar, wenn die Amorphisierung die Ober­fläche erreicht und das optische Re­flexionsvermögen des Materials verän­dert (Abb. 10).
Where the amorphous state extends to the surface and modifies the optical reflec­tivity of the material (Fig.
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Nach einer Silizium-Ionenimplantation zur weiteren Amorphisierung wird bei 550 bis 600°C die laterale Festphasenspitaxie, ausgehend vom n?-Kontakt (11) zum Substrat (1) durchgeführt.
After a silicon ion implantation, for further amorphization, a lateral solid-phase epitaxy is performed at approximately 550° to about 660° C. proceeding from the n+ contact (11) to the substrate (1).
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Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von flachen Übergängen in Silizium durch Implantation von Silizium- oder Germanium-Ionen zur Amorphisierung einer Oberflächenzone, anschließende Dotierung dieser Oberflächenzone und abschließende Rückkristallisation der Oberflächenzone durch eine Wärmebehandlung.
Field of Invention The invention relates to a method for manufacturing shallow junctions in silicon by implantation of silicon or germanium ions for amorphization of a surface zone, subsequent doping of this surface zone, and finally recrystallization of this surface zone by heat treatment.
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