Übersetzung für "Abtragsrate" in Englisch
Für
die
Bestimmung
der
mittlere
Abtragsrate
wurden
jeweils
25
Wafer
poliert
und
ausgewertet.
25
wafers
were
polished
and
assessed
in
order
to
determine
the
average
removal
rate.
EuroPat v2
Die
Abtragsrate
ist
beim
Fräsen
deutlich
höher
als
mit
herkömmlichen
Fächerschleifscheiben.
The
removal
rate
is
significantly
higher
than
with
conventional
milling
discs.
ParaCrawl v7.1
Dies
ermöglicht
eine
Optimierung
von
Verschleißverhalten
und
Abtragsrate
durch
angepasste
Werkzeuge
und
Prozessparameter.
This
allows
an
optimization
of
wear
behaviour
and
material
removal
rate
by
adapted
tools
and
process
parameters.
ParaCrawl v7.1
Pulsdauern
im
Femtosekundenbereich
ermöglichen
eine
deutlich
erhöhte
Abtragsrate
bei
Metallen.
Pulse
durations
in
the
femtosecond
range
enable
a
significantly
enhanced
ablation
rate
in
metals.
ParaCrawl v7.1
Die
Abtragsrate
wird
dabei
durch
die
Expositionszeit
und
die
Temperatur
des
Ätzmediums
sehr
präzise
gesteuert.
The
removal
rate
is
very
precisely
controlled
by
the
exposure
time
and
the
temperature
of
the
etching
medium.
EuroPat v2
Dementsprechend
können
diese
Materialien
nur
mit
einer
sehr
geringen
Abtragsrate
von
der
Substratoberfläche
entfernt
werden.
Consequently,
these
materials
can
be
removed
from
the
substrate
surface
only
at
a
very
low
rate
of
removal.
EuroPat v2
Schleifen
hat
dabei
eine
sehr
hohe
Abtragsrate,
die
z.B.
100
bis
200µm/min
beträgt.
The
grinding
process
has
a
very
high
removal
rate
that
may
be,
for
example,
approximately
100
to
200
?m/min.
EuroPat v2
Wie
bereits
geschildert
ist
die
Abtragsrate
bei
dieser
Vorgehensweise
gering
und
die
Bearbeitungszeiten
entsprechend
lang.
As
already
noted,
the
ablation
rate
in
this
procedure
is
low
and
machining
time
is
correspondingly
large.
EuroPat v2
Die
Ermittlung
der
Gleichförmigkeit
des
Wafers
erfolgt
über
die
Messung
der
Abtragsrate
in
definierten
Bereichen.
The
evenness
of
the
wafer
is
determined
by
measuring
the
removal
rate
in
defined
zones.
EuroPat v2
Folglich
ergibt
sich
eine
höhere
Abtragsrate
bzw.
Schnittgeschwindigkeit
und
unter
Umständen
auch
eine
verbesserte
Oberflächengüte.
Consequently,
a
higher
removal
rate
or
cutting
speed
results,
and,
under
some
circumstances,
an
improved
surface
quality
as
well.
EuroPat v2
Die
meisten
florfreien
Poliertücher
haben
auch
eine
geringere
Elastizität
und
damit
eine
höhere
Abtragsrate.
Also
most
of
the
napless
cloths
have
a
lower
resilience
providing
higher
removal
rates.
ParaCrawl v7.1
Die
Abtragsrate
ist
unter
den
hier
angegebenen
Eloxierbedingungen
so
hoch,
dass
bei
aluminierten
Teilen
an
dünner
aluminierten
Stellen
das
Aluminium
statt
anodisiert,
abgelöst
wird.
Under
the
anode
oxidizing
conditions
given
there,
the
removal
rate
is
so
high
that
for
more
thinly
aluminized
places
of
aluminized
parts,
the
aluminum
is
stripped
off
instead
of
anodized.
EuroPat v2
Die
Aufgabe
der
Erfindung
lag
also
darin,
ein
Verfahren
anzugeben,
nach
dem
sich
bei
der
Ein-
und
Zweiseitenpolitur
die
Poliertücher
so
aufbereiten
lassen,
daß
bei
langer
Poliertuchstandzeit
und
gleichbleibend
hoher
Abtragsrate
gleichzeitig
auch
eine
hohe
geometrische
Qualität
der
erhaltenen
polierten
Scheiben
gewährleistet
ist,
sowie
zu
seiner
Durchführung
geeignete
Vorrichtungen
bereitzustellen.
SUMMARY
OF
THE
INVENTION
It
is
therefore
an
object
of
the
invention
to
provide
a
process
by
which
the
polishing
cloths
can
be
prepared
in
the
case
of
single-sided
and
double-sided
polishing
so
that,
with
long
polishing
cloth
service
life
and
constant
high
abrasion
rate,
a
high
geometrical
quality
of
the
polished
wafers
obtained
is
also
simultaneously
guaranteed.
EuroPat v2
Wie
in
Beispiel
3
beschrieben,
wurden
Lösungen
von
C??TA-BONS
in
0,1
n
Salzsäure
von
65°C
auf
Abtragsrate
für
unlegierten
Stahl
(ST37)
untersucht.
As
described
in
Example
1,
the
erosion
rates
for
plain
steel
(ST37)
of
solutions
of
C16
TA-BHNA
in
0.1
N
hydrochloric
acid
at
65°
C.
were
investigated.
EuroPat v2
Die
biologische
Wirkung
von
intern
abgelagerten
Radionukliden
hängen
stark
von
der
Aktivität
und
der
Bioverteilung
und
Abtragsrate
des
Radionuklids
ab,
welche
wiederum
von
ihrer
chemischen
Form
abhängt.
The
biological
effects
of
ingested
radionuclides
depend
greatly
on
the
activity,
the
biodistribution,
and
the
removal
rates
of
the
radionuclide,
which
in
turn
depends
on
its
chemical
form,
the
particle
size,
and
route
of
entry.
WikiMatrix v1
Dies
führt
zu
einem
unzureichenden
Löslichkeitsunterschied
zwischen
den
belichteten
und
unbelichteten
Bereichen
im
Entwickler
und
damit
zu
einer
unerwünscht
hohen
Abtragsrate
der
unbelichteten
Bereiche.
This
leads
to
an
inadequate
solubility
difference
between
the
exposed
and
nonexposed
areas
in
the
developer
and
therefore
to
an
undesirably
high
removal
rate
of
the
non-exposed
areas.
EuroPat v2
Der
Abtrag
der
unbelichteten
Bereiche
(Dunkelabtrag)
war
mit
1.660
nm/min
vergleichbar
mit
der
Abtragsrate
für
die
belichteten
Bereiche
(2.360
nm/min).
The
removal
of
the
non-exposed
areas
(dark
area
removal)
at
1,660
nm/minute
was
comparable
to
the
removal
rate
of
the
exposed
areas
(2,360
nm/minute).
EuroPat v2
Im
allgemeinen
haben
sich
Aufbereitungszeiten
von
2
bis
60,
vorzugsweise
5
bis
20
Minuten
als
ausreichend
erwiesen,
um
ein
Poliertuch
so
weit
zu
regenerieren,
daß
es
im
Polierergebnis
hinsichtlich
Abtragsrate
und
Scheibengeometrie
wieder
einem
unverbrauchten
Poliertuch
entspricht.
In
general,
treatment
times
of
2
to
60,
preferably
5
to
20,
minutes
have
proved
adequate
to
regenerate
a
polishing
cloth
to
such
an
extent
that
it
is
again
equivalent
to
an
unused
polishing
cloth
in
polishing
results
as
regards
abrasion
rate
and
wafer
geometry.
EuroPat v2
Von
Polierfahrt
zu
Polierfahrt
konnte
eine
allmähliche
Abnahme
der
Abtragsrate
und
eine
Verschlechterung
der
Scheibengeometrie
beobachtet
werden.
It
was
possible
to
observe
a
gradual
decrease
in
the
abrasion
rate
and
a
deterioration
in
the
wafer
geometry
from
polishing
run
to
polishing
run.
EuroPat v2
War
die
Abtragsrate
niedriger
als
bei
einer
mitvermessenen
Grundrezeptur,
so
besaß
der
Zusatz
eine
lösungssteigernde
Eigenschaft
und
entsprach
dem
erfindungsgemäßen
Aufzeichnungsmaterial.
If
the
rate
of
removal
is
lower
than
in
the
case
of
a
simultaneously
measured
basic
formulation,
the
additive
had
a
dissolution-increasing
property
and
corresponded
to
the
recording
material
according
to
the
invention.
EuroPat v2
Wies
der
Zusatz
eine
inhibierende
Wirkung
auf
so
wurde
eine
Probe
bei
50
bis
160°C
für
5
bis
20
s
nacherwärmt
und
die
Abtragsrate,
wie
unter
Punkt
4.
beschrieben,
durchgeführt.
If
the
additive
had
an
inhibiting
effect,
a
sample
was
post-baked
at
from
50
to
160°
C.
for
from
5
to
20
seconds
and
the
rate
of
removal
was
determined
as
described
under
section
4.
EuroPat v2
War
die
Abtragsrate
niedriger
als
bei
einer
mitvermessenen
Grundrezeptur,
so
besaß
der
Zusatz
eine
lösevermittelnde
Eigenschaft
und
entsprach
dem
erfindungsgemäßen
Aufzeichnungsmaterial;
If
the
rate
of
removal
was
lower
than
in
the
case
of
simultaneously
measured
basic
formulation,
the
additive
had
a
dissolution-imparting
property
and
corresponded
to
the
recording
material
according
to
the
invention;
EuroPat v2
Wies
der
Zusatz
eine
inhibierende
Wirkung
auf,
so
wurde
eine
Probe
bei
50
bis
160°C
für
5
bis
20
s
nacherwärmt
und
die
Abtragsrate,
wie
unter
Punkt
4.
beschrieben,
durchgeführt.
If
the
additive
had
an
inhibiting
effect,
a
sample
was
post-baked
at
from
50
to
160°
C.
for
from
5
to
20
s
and
the
rate
of
removal
was
determined
as
described
under
section
4.
EuroPat v2
Ergebnis:
Der
Abtrag
lag
bei
±
0,0
mg,
was
einer
Abtragsrate
von
±
0,0
mg/cm
2
/24
h
entspricht.
Result:
The
erosion
was
.+-Ø0
mg,
which
corresponds
to
an
erosion
rate
of
.+-Ø0
mg/cm2
/24
h.
EuroPat v2
Ergebnis:
Der
Abtrag
lag
bei
-
0,8
mg,
was
einer
Abtragsrate
von
±
0,01
mg/cm
2
/24
h
entspricht.
Result:
The
erosion
was
-0.8
mg,
which
corresponds
to
an
erosion
rate
of
.+-Ø01
mg/cm2
/24
h.
EuroPat v2