Translation of "Ätzverfahren" in English
Ein
Ätzverfahren
ist
das
Plasmaätzen
oder
reaktive
Ionenätzen.
One
method
of
etching
is
by
process
of
plasma
etching
or
reactive
ion
etching.
EuroPat v2
Dieses
Verfahren
ist
ein
chemisches
Ätzverfahren
mit
freien
Radikalen
und
ist
isotrop.
This
process
involves
free
radical
chemical
etching
and
is
isotropic.
EuroPat v2
Insbesondere
das
Ätzverfahren
ist
für
einen
automatischen
Herstellungsvorgang
geeignet.
Particularly,
the
etching
process
is
suitable
for
an
automatic
production
process.
EuroPat v2
Ein
Ätzverfahren
ist
beispielsweise
das
Plasmaätzen
oder
das
reaktive
lonenätzen.
One
method
of
etching
is
by
a
process
of
plasma
etching
or
reactive
ion
etching.
EuroPat v2
Als
Ätzverfahren
eignet
sich
eine
Plasma-Ätzung
in
CF
4
mit
0
2
-Zusatz.
A
suitable
etching
method
is
plasma
etching
in
CF4
with
an
addition
of
O2.
EuroPat v2
Rein
chemische
Ätzverfahren
eignen
sich
deshalb
nicht
zur
Erzeugung
von
sehr
feinen
Strukturen.
Purely
chemical
etching
processes
are
therefore
unsuited
to
generating
very
fine
structures.
EuroPat v2
Die
segmentierte
Schicht
5
lässt
sich
beispielsweise
durch
ein
Ätzverfahren
herstellen.
The
layer
5
can
be
produced,
for
example,
by
etching.
EuroPat v2
Dies
kann
z.B.
ein
chemisches
oder
physikalisches
Ätzverfahren
sein.
For
this
purpose,
a
chemical
or
physical
etch
process
may
be
employed.
EuroPat v2
Das
Ätzverfahren
kann
nun
in
der
letzten
Phase
des
Kollabierprozesses
erfolgen.
The
etching
process
may
now
be
carried
out
in
the
last
stage
of
hte
collapsing
process.
EuroPat v2
Die
Herstellung
eines
solchen
Gebildes
im
Aufdampf-
und
Ätzverfahren
bereitet
keine
Schwierigkeiten.
The
production
of
such
a
formation
by
the
vacuum
metallizing
or
etching
method
does
not
involve
any
difficulties.
EuroPat v2
Bei
der
Verwendung
von
Plattenreaktoren
unterscheidet
man
zwei
Ätzverfahren:
With
the
use
of
plate
reactors,
two
etching
techniques
are
possible:
EuroPat v2
Das
erforderliche
Strukturieren
ist
z.B.
durch
an
das
Absorbermaterial
angepaßte
Ätzverfahren
möglich.
The
necessary
structuring
is
possible
by,
for
example,
etching
processes
adapted
to
the
absorber
material.
EuroPat v2
Die
für
Superschwarz
verwendete
Technik
basiert
auf
dem
chemischen
Ätzverfahren
einer
Nickel-Phosphor-Legierung.
The
technology
to
create
super
black
involves
chemically
etching
a
nickel–phosphorus
alloy.
WikiMatrix v1
Es
kann
auch
ein
nasschemisches
Ätzverfahren
angewandt
werden.
Wet
chemical
etching
could
also
be
used.
EuroPat v2
Die
Maskenöffnung
in
der
Siliciumdioxidschicht
42
ist
mittels
standardmäßiger
Photolithographie-
und
Ätzverfahren
hergestellt.
The
mask
opening
in
the
silicon
dioxide
layer
42
is
formed
by
standard
photolithography
and
etching
techniques.
EuroPat v2
Ein
Ätzverfahren
ist
beispielsweise
das
Plasmaätzen
oder
das
reaktive
Ionenätzen.
One
method
of
etching
is
by
a
process
of
plasma
etching
or
reactive
ion
etching.
EuroPat v2
Ein
Ätzverfahren
ist
das
Plasmaätzen
oder
reaktive
lonenätzen.
One
method
of
etching
is
by
process
of
plasma
etching
or
reactive
ion
etching.
EuroPat v2
Bei
dem
bekannten
Verfahren
sind
dazu
zwei
verschiedene
Ätzverfahren
notwendig.
Two
different
etching
methods
are
necessary
for
this
purpose
in
the
case
of
the
known
method.
EuroPat v2
Die
Strukturierung
der
isolierenden
Schicht
15
erfolgt
zum
Beispiel
mit
anisotropen
Ätzverfahren.
The
structuring
of
the
insulating
layer
15
is
carried
out,
for
example,
using
anisotropic
etching
methods.
EuroPat v2
Es
können
auch
andere
Ätzverfahren
wie
isotropes
Nassätzen
oder
Trockenätzen
verwendet
werden.
Other
etching
processes,
such
as
isotropic
wet
etching
or
dry
etching,
can
also
be
used.
EuroPat v2
Darüber
hinaus
ist
dieses
naßchemische
Ätzverfahren
durch
die
erforderlichen
zahlreichen
Spülprozesse
sehr
aufwendig.
In
addition,
this
wet-chemical
etching
process
is
very
complicated,
owing
to
the
numerous
rinsing
processes
required.
EuroPat v2
Danach
werden
das
Ätzverfahren
und
die
weitere
selektive
Oberflächenbehandlung
auf
chemischem
Wege
durchgeführt.
Then
the
etching
process
and
the
further
selective
surface
treatment
can
be
carried
out
in
a
chemical
manner.
EuroPat v2
Die
Strukturierung
der
Platinschicht
3
erfolgt
durch
ein
sogenanntes
plasmaunterstütztes
anisotropes
Ätzverfahren.
The
platinum
layer
3
is
structured
through
the
use
of
a
so-called
plasma-assisted
anisotropic
etching
process.
EuroPat v2
So
können
beispielsweise
plasmachemische
Ätzverfahren
mit
reinen
Argonplasmen
verwendet
werden.
Thus,
for
example,
plasma-chemical
etching
methods
with
pure
argon
plasmas
can
be
used.
EuroPat v2
Die
Entfernung
der
ersten
Isolierschicht
2
erfolgt
mittels
herkömmlichem
Ätzverfahren.
The
removal
of
the
first
insulating
layer
2
is
carried
out
by
a
conventional
etching
method.
EuroPat v2
Mit
einer
alkalischen
Ätzlösung
ist
ferner
ein
naßchemisches
Ätzverfahren
möglich.
With
an
alkali
etch
solution,
a
wet
chemical
etching
method
is
also
possible.
EuroPat v2
Zum
Einbringen
des
Hohlraums
4
kann
beispielsweise
ein
anisotropes
Ätzverfahren
eingesetzt
werden.
An
anisotropic
etching
method
may
be
used,
for
example,
for
incorporation
of
the
cavity
4
.
EuroPat v2
Daraufhin
wird
ein
Graben
25
über
ein
Ätzverfahren
eingebracht.
A
trench
25
is
then
incorporated,
using
an
etching
method.
EuroPat v2
Die
Maße
der
Ausnehmungen
sind
bei
diesem
Ätzverfahren
sehr
genau
herstellbar.
The
dimensions
of
the
recesses
can
be
produced
very
accurately
in
this
etching
process.
EuroPat v2
Somit
können
beim
Fünf-Masken-Prozeß
sämtliche
Strukturierungen
mit
Hilfe
von
Ätzverfahren
durchgeführt
werden.
Thus
in
the
five
mask
process
joint
structuring
can
be
performed
with
the
help
of
etching
processes.
EuroPat v2