Translation of "Weißlichtinterferometer" in English
Bestimmbar
sind
diese
Wirkungen
durch
ein
Perthometer
(Fokodyn
Laserabtaster)
oder
Weißlichtinterferometer.
These
effects
can
be
defined
via
a
perthometer
(Fokodyn
laser
scanner)
or
white
light
interferometer.
EuroPat v2
Dies
wird
mit
dem
Weißlichtinterferometer
19
gemessen.
This
is
measured
with
the
white
light
interferometer
19
.
EuroPat v2
Die
Rauheit
der
Oberflächen
wurde
mit
einem
Weißlichtinterferometer
oder
einem
Tastschnittgerät
bestimmt.
The
roughness
of
the
surfaces
was
determined
using
a
white-light
interferometer
or
a
stylus
instrument.
EuroPat v2
Dabei
kombiniert
das
3D-Messsystem
ein
konfokales
Mikroskop
mit
einem
Weißlichtinterferometer.
The
3D
measuring
system
combines
a
confocal
microscope
with
a
white
light
interferometer.
ParaCrawl v7.1
Mit
einem
Weißlichtinterferometer
wurde
die
Oberflächentopografie
des
jeweiligen
Probekörpers
nach
der
Wälzverschleiß-Untersuchungen
am
2disc-Prüfstand
untersucht.
With
a
white
light
interferometer,
the
surface
topography
of
the
sample
body
was
investigated
after
the
rolling
contact
wear
tests
on
the
2disc
test
stand.
EuroPat v2
Das
3D-Messsystem
vereint
ein
konfokales
Mikroskop
und
ein
Weißlichtinterferometer
mit
einem
vollautomatischen
Positioniersystem
für
Palettenmessungen.
The
3D
measurement
system
combines
a
confocal
microscope
and
a
white
light
interferometer
with
a
fully
automatic
positioning
system
for
palette
measurements.
ParaCrawl v7.1
Das
optische
3D-Messsystem
MarSurf
CWM
100
arbeitet
als
konfokales
Mikroskop
und
Weißlichtinterferometer
und
kann
sich
damit
jeder
Mikrostruktur
der
Oberfläche
anpassen.
The
MarSurf
CWM
100
optical
3D
measuring
system
operates
as
a
confocal
microscope
and
white
light
interferometer,
allowing
it
to
adapt
to
any
surface
microstructure.
ParaCrawl v7.1
Einfach
zu
bedienen,
universell
einsetzbar
und
extrem
zuverlässig
–
das
sind
die
Eigenschaften
des
neuen
MicroScope
WLI
von
FRT:
Ein
optisches
Mikroskop
mit
einem
4-fach
Objektivrevolver
und
einem
Weißlichtinterferometer.
Easy
to
use,
flexible
and
highly
reliable
-
these
are
the
characteristics
of
the
new
MicroScope
WLI
of
FRT:
An
optical
microscope
with
a
4-fold
turret
and
a
white
light
interferometer.
ParaCrawl v7.1
Verschiedene,
an
sich
bekannte
Alternativen
für
die
Ausführung
der
Messvorrichtung
bestehen
darin,
dass
der
Aufbau
des
Interferometers
einem
klassischen
Interferometer,
einem
Weißlichtinterferometer
oder
einem
Heterodyninterferometer
entspricht.
Various
alternatives
for
the
configuration
of
the
measuring
device
are
conventional
as
such
in
which
the
structure
of
the
interferometer
corresponds
to
that
of
a
classic
interferometer,
a
white
light
interferometer,
or
a
heterodyne
interferometer.
EuroPat v2
Insoweit
wird
jedoch
auf
hinlänglich
bekannte
Techniken
verwiesen,
genauso
wie
in
Bezug
auf
weitere
zum
Einsatz
gelangende
Sensoren
wie
Laserabstandssensor,
Weißlichtinterferometer,
Bildverarbeitungssensoren,
Röntgensensorik
oder
chromatischer
Fokussensor
oder
konfokal
Scanning-Messkopf,
ohne
dass
hierdurch
eine
Einschränkung
der
erfindungsgemäßen
Lehre
erfolgt.
However,
so
far
as
the
sufficiently
well-known
prior
art
is
concerned,
in
the
same
way
as
in
reference
to
further
sensors
being
realized
for
use
such
as
a
laser-distance
sensor,
a
white-light
interferometer,
image-processing
sensors,
an
X-ray
sensor
system,
or
a
chromatic
focus
sensor
or
confocal
scanning
measurement
head,
without
any
limitation
occurring
because
of
this
in
the
teaching
according
to
the
invention.
EuroPat v2
Sehr
kostenintensive
Weißlichtinterferometer
regeln
die
Stellmittel
mit
Hilfe
eines
externen
Laserinterferometers
und
halten
so
die
Abtastung
des
Messobjektes
pro
Schritt
konstant,
jedoch
bei
freilaufendem
Detektor.
Very
cost-intensive
white
light
interferometers
regulate
the
adjusting
arrangement
with
the
aid
of
an
external
laser
interferometer
and
thus
keep
the
scanning
of
the
measured
object
constant
at
each
step,
but
with
a
free-running
detector.
EuroPat v2
Mit
Vorteil
ist
weiterhin
vorgesehen,
dass
die
Messeinrichtung
mit
einem,
insbesondere
mit
dem
Sender
und
dem
Empfänger
mechanisch
gekoppelten,
vorzugsweise
fixierten,
Interferometer,
insbesondere
Weißlichtinterferometer,
zur
Messung
dessen
Abstands
zu
einer
Oberfläche
an
mindestens
einer
der
Messstellen
versehen
ist.
Advantageously,
it
is
furthermore
provided
that
the
measuring
device
as
claimed
in
the
invention
is
provided
with
a
preferably
fixed
interferometer
which
is
mechanically
coupled
especially
to
the
transmitter
and
the
receiver,
especially
white
light
interferometer,
for
measuring
its
distance
to
one
surface
on
at
least
one
of
the
measuring
points.
EuroPat v2
Nach
Vermessung
des
Abstandsprofils
durch
das
Weißlichtinterferometer
19
wird
der
Waferstapel
8
auf
die
Aufnahme
12
gelegt.
After
measuring
the
distance
profile
by
the
white
light
interferometer
19
the
wafer
stack
8
is
placed
on
the
mount
12
.
EuroPat v2
Anschließend
wird
durch
das
Weißlichtinterferometer
19
erneut
gemessen,
so
dass
ein
zweites
Abstandsprofil,
und
zwar
das
des
gesamten
Waferstapels
8,
erhalten
wird.
Then
the
measurement
is
repeated
by
the
white
light
interferometer
19
so
that
a
second
distance
profile,
specifically
that
of
the
entire
wafer
stack
8,
is
obtained.
EuroPat v2
Das
deutsche
Patentdokument
DE
10302055
betrifft
ein
Weißlichtinterferometer,
das
es
ermöglicht,
unter
dem
Einfluss
eines
optischen
oder
magnetisches
Feldes,
die
Tiefenabtastung
eines
Objekts
vorzunehmen,
so
dass
das
Vorhandensein
und
die
Anteile
an
gebogenem
Metall
an
der
inneren
Lauffläche
einer
Buchse/eines
Zylinders
festgestellt
werden
können.
German
patent
document
DE
10302055
relates
to
a
white
light
interferometer
which
makes
it
possible,
under
the
influence
of
an
optical
or
magnetic
field,
to
perform
the
in-depth
scanning
of
an
object,
with
the
result
that
the
presence
and
the
proportions
of
folded
metal
on
the
inner
running
face
of
a
liner/a
cylinder
can
be
determined.
EuroPat v2
Mit
Vorteil
ist
weiterhin
vorgesehen,
dass
die
erfindungsgemäße
Messeinrichtung
mit
einem,
insbesondere
mit
dem
Sender
und
dem
Empfänger
mechanisch
gekoppelten,
vorzugsweise
fixierten,
Interferometer,
insbesondere
Weißlichtinterferometer,
zur
Messung
dessen
Abstands
zu
einer
Oberfläche
an
mindestens
einer
der
Messstellen
versehen
ist.
Advantageously,
it
is
furthermore
provided
that
the
measuring
device
as
claimed
in
the
invention
is
provided
with
a
preferably
fixed
interferometer
which
is
mechanically
coupled
especially
to
the
transmitter
and
the
receiver,
especially
white
light
interferometer,
for
measuring
its
distance
to
one
surface
on
at
least
one
of
the
measuring
points.
EuroPat v2
Alternative
vorteilhafte
Möglichkeiten
für
den
Aufbau
bestehen
weiterhin
darin,
dass
die
3D-Messeinrichtung
als
eine
interferometrische
Messeinrichtung
beruhende
Messeinrichtung
ausgebildet
ist,
und
weiterhin
darin,
dass
die
interferometrische
Messeinrichtung
als
an
sich
bekanntes
normales
Interferometer,
Heterodyninterferometer
oder
Weißlichtinterferometer,
das
eine
kurzkohärente
Lichtquelle
aufweist,
ausgebildet
ist.
Alternative
exemplary
embodiments
may
provide
for
the
3-D
measuring
set-up
to
be
an
interferometric
measuring
set-up
or
a
measuring
set-up
that
is
based
on
the
triangulation
method
and,
additionally,
for
the
interferometric
measuring
set-up
to
be
fabricated
as
a
normal
interferometer,
heterodyne
interferometer
or
white-light
interferometer,
which
may
have
a
short-coherent
light
source.
EuroPat v2
Eine
für
die
Handhabung
günstige
Ausgestaltung
wird
dabei
durch
die
Maßnahmen
erreicht,
dass
die
interferometrische
Messvorrichtung
als
Weißlichtinterferometer
und/oder
ein
Heterodyn-Interferometer
ausgebildet
ist.
An
easy-to-handle
embodiment
is
achieved
by
designing
the
interferometric
measuring
device
as
a
white-light
interferometer
and/or
a
heterodyne
interferometer.
EuroPat v2
Das
Weißlichtinterferometer
findet
hauptsächlich
Anwendung
bei
Messungen
von
feinen,
polierten
und
glänzenden
Oberflächenstrukturen
einschließlich
Glas
und
optische
Oberflächen.
Main
application
field
for
the
white
light
interferometer
is
the
measurement
of
fine,
polished
and
shiny
surface
structures
including
glass
and
optical
surfaces
ParaCrawl v7.1
Die
kompakten
Weißlichtinterferometer
der
NetGAGEG3D-Produktlinie
messen
Oberflächen
präzise,
schnell
und
sicher
bis
in
den
Nanometerbereich
–
in-line,
at-line
oder
off-line.
The
compact
white-light
interferometers
of
the
NetGAGE3D
product
line
measure
surfaces
quickly,
precisely
and
reliably
down
to
the
nanometer
level
–
in-line,
at-line
and
off-line.
ParaCrawl v7.1
Das
Weisslichtinterferometer
wird
wieder
mit
einer
breitbandigen
(kurzkohärenten)
Lichtquelle
SLD
beleuchtet.
The
white-light
interferometer
may
be
again
illuminated
by
a
broadband
(short-coherent)
light
source
SLD.
EuroPat v2
Lösungen
dieses
Stands
der
Technik
finden
sich
beispielsweise
in
US
2004/061865,
US
2008/117436
oder
DE
198
19
762,
welche
Weisslichtinterferometer
beschrieben,
welche
keine
durchstimmbare
Laserquelle
zur
Erzeugung
frequenzmodulierter
Laserstrahlung
aufweisen.
Solutions
of
this
prior
art
are
found,
for
example,
in
US
2004/061865,
US
2008/117436,
or
DE
198
19
762,
which
describe
white-light
interferometers,
which
do
not
have
a
tunable
laser
source
for
generating
frequency-modulated
laser
radiation.
EuroPat v2