Translation of "Wälzkolbenpumpe" in English
Die
gasumlaufgekühlte
Wälzkolbenpumpe
kann
auch
ohne
Vorpumpe
betrieben
werden.
The
gas-circulation-cooled
Roots
pump
can
also
be
operated
without
a
backing
pump.
ParaCrawl v7.1
Das
zweistufige
Rootssystem
SIHIdry
basiert
auf
einer
trockenlaufenden
Schraubenspindelpumpe
und
einer
Wälzkolbenpumpe.
The
SIHIdry
two-stage
roots
system
is
based
on
a
dry-running
screw
pump
and
a
roots
pump.
ParaCrawl v7.1
Durch
eine
deutliche
Erhöhung
der
Spindelsteigung
kann
diese
trockenverdichtende
Schraubenspindelpumpe
als
Wälzkolbenpumpe
genutzt
werden.
Thanks
to
an
obvious
increase
in
pitch
of
the
spindle,
this
dry-compressing
screw
pump
may
be
employed
as
a
Roots
pump.
EuroPat v2
Der
Behälter
10
ist
an
eine
Vakuumpumpe
11,
beispielsweise
eine
Wälzkolbenpumpe,
angeschlossen.
Vessel
10
is
connected
to
a
vacuum
pump
11,
e.g.
a
Roots
pump.
EuroPat v2
Durch
einen
Pumpstand
5,
bestehend
aus
Vorpumpe
6,
Wälzkolbenpumpe
7
und
Regelventil
8
wird
über
eine
Stickstoff-Kühlfalle
9
das
Reaktionsrohr
3
evakuiert
(siehe
Pfeil
28)
und
dann
die
Prozeßgase,
die
zum
Aufbau
der
auf
den
Substratscheiben
2
aufzubringenden
BPSG-Schicht
erforderlich
sind,
eingeleitet.
The
reaction
tube
3
is
evacuated
as
illustrated
by
the
arrow
27
from
a
pump
stand
5
composed
of
a
backing
pump
6,
a
vacuum
booster
7,
and
a
control
valve
8
and
also
including
a
nitrogen
condensation
trap
9.
The
process
gases
which
are
required
for
building
up
the
boron-phosphorus-silicate
glass
layer
to
be
applied
to
the
substrate
wafers
2
are
then
introduced.
EuroPat v2
Bei
mehrstufiger
Ausführung
der
Gasringpumpe
läßt
sich
darüber
hinaus
eine
besonders
gute
und
intensive
Kühlung
infolge
der
im
Vergleich
zu
einer
Wälzkolbenpumpe
größeren
Oberfläche
erzielen,
was
zu
einer
Verbesserung
des
Wirkungsgrades
beiträgt.
In
a
multi-stage
installation
using
a
side
channel
compressor
pump,
an
especially
good
and
intensive
cooling
can
be
achieved
due
to
the
larger
surface
as
compared
with
an
installation
having
instead
a
Roots
pump.
The
intensive
cooling
contributes
to
an
improvement
in
efficiency
of
the
installation.
EuroPat v2
Obwohl
der
Wirkungsgrad
einer
Gasringpumpe
etwa
nur
halb
so
hoch
wie
der
Wirkungsgrad
einer
Wälzkolbenpumpe
ist,
wurde
durch
Versuche
nachgewiesen,
daß
durch
den
Einsatz
einer
Gasringpumpe
bei
einem
mehrstufigen
Vakuumpumpenaggregat
sowohl
der
Energiebedarf
als
auch
der
Kostenaufwand
wesentlich
vermindert
werden
können,
wobei
keine
Einbußen
im
Hinblick
auf
die
Betriebssicherheit
des
Aggregates
hingenommen
werden
müssen.
Although
a
side
channel
compressor
pump
is
only
about
half
as
efficient
as
a
Roots
pump,
it
has
been
demonstrated
by
tests
that
using
a
side
channel
compressor
pump
in
a
multi-stage
vacuum
pump
installation
reduces
energy
requirements
as
well
as
cost,
without
reducing
the
operating
safety
of
the
installation.
EuroPat v2
Die
Anordnung
der
Leitung
16
ist
bei
diesem
Ausführungsbeispiel
so
getroffen,
daß
die
Rückführung
des
Öls
in
den
Ölsumpf
der
Wälzkolbenpumpe
erfolgt.
The
conduit
16a
is
so
arranged
that
the
oil
is
returned
into
the
oil
sump
of
the
rotary
blower
pump
1.
EuroPat v2
Als
Vakuumpumpe
wurde
eine
Wälzkolbenpumpe
mit
einer
Kapazität
von
2
200
m
3
/h
(bei
1
bar)
gewählt.
A
Roots
blower
pump
having
a
capacity
of
2,200
m3
/h
(at
1
bar)
was
selected
as
vacuum
pump.
EuroPat v2
In
Bezug
auf
die
Optimierung
der
Eigenschaften
einer
Wälzkolbenpumpe
sind
möglichst
große
Werte
für
µ
und
erstrebenswert.
With
respect
to
optimized
characteristics
of
a
Roots
vacuum
pump
values
for
?
and
H
which
are
as
high
as
possible
are
very
desirable.
EuroPat v2
Ein
typischer
Vertreter
einer
Zweiwellenvakuumpumpe
ist
die
Wälzkolbenpumpe,
bei
der
sich
im
Pumpengehäuse
zwei
symmetrisch
gestaltete
Kolben
zueinander
und
zum
Gehäuse
hin
berührungsfrei
drehen.
A
typical
example
of
a
double-shaft
vacuum
pump
is
a
Root's
pump,
in
which
two
symmetrically
designed
pistons
rotate
in
a
pump
housing
without
contact
with
each
other
or
with
the
housing.
EuroPat v2
Das
Getriebe
ist
in
einem
Seitenraum
untergebracht,
der
durch
ein
Lagerschild
vom
Schöpfraum
der
Wälzkolbenpumpe
getrennt
ist.
The
gearing
is
housed
in
a
side
chamber
which
is
separated
from
the
pump
chamber
of
the
Root's
pump
by
an
end
shield.
EuroPat v2
Die
aus
der
Öffnung
47
im
Seitenraumdeckel
21
austretende
Luft
wird
über
die
Leitung
50
dem
Einlaß
51
der
Wälzkolbenpumpe
1
wieder
zugeführt.
The
air
exiting
through
the
opening
47
in
the
side
chamber
cover
21
is
returned
to
an
inlet
51
of
the
Root's
pump
1"'
via
a
conduit
50.
EuroPat v2
Die
Zuführungsleitung
43
und
das
zusätzliche
Gefäß
45
könnten
entfallen,
wenn
die
Vakuumpumpe
14
derart
neben
der
Wälzkolbenpumpe
1
angeordnet
ist,
daß
die
gewünschten
Ölspiegel
in
den
beiden
Pumpen
gleich
hoch
liegen.
The
oil
supply
conduit
43
and
the
additional
vessel
45
may
be
omitted
provided
that
the
vacuum
pump
14a
is
arranged
in
such
a
manner
adjacent
the
rotary
blower
pump
1
that
the
desired
oil
levels
are
maintained
at
the
same
height
in
both
pumps.
EuroPat v2
Da
im
Schöpfraum
keine
Reibung
auftritt,
kann
die
Wälzkolbenpumpe
mit
hoher
Drehzahl,
beispielsweise
1.500
bis
3.000
Umdrehungen
pro
Minute,
betrieben
werden.
As
there
is
not
friction
in
the
compression
chamber,
the
roots
pump
can
be
driven
with
a
high
speed,
e.g.,
1,500-3,000
revolutions/min.
EuroPat v2
Durch
das
erfindungsgemäße
Gehäuse
für
eine
Wälzkolbenpumpe
werden
die
Leistungsaufnahme,
die
Effizienz,
Vakuumumkennwerte,
Zuverlässigkeit
und
Servicefreundlichkeit
optimiert.
The
inventive
housing
for
a
rotary
vane
pump
permits
to
optimize
power
consumption,
efficiency,
vacuum
characteristics,
reliability
and
service-friendliness.
EuroPat v2
Das
erfindungsgemäße
Gehäuse
für
eine
Wälzkolbenpumpe
mit
einem
Ansaugflansch
und
einem
Ausstoßflansch
mit
einem
Einlass
im
Bereich
des
Ansaugflansches
und
einem
Auslass
im
Bereich
des
Ausstoßflansches
zeichnet
sich
dadurch
aus,
dass
ein
Querschnitt
des
Einlasses
größer
ist
als
ein
Querschnitt
des
Auslasses.
The
object
of
the
invention
is
also
achieved
by
providing
a
housing
for
a
rotary
vane
pump,
comprising
a
suction
flange,
a
discharge
flange,
an
inlet
provided
in
a
region
of
the
suction
flange,
and
an
outlet
provided
in
a
region
of
the
discharge
flange,
with
a
cross-section
of
the
inlet
being
greater
than
a
cross-section
of
the
outlet.
EuroPat v2
Gemäß
einer
weiteren
vorteilhaften
Ausführungsform
der
Erfindung
ist
die
Vakuumpumpe
als
Turbomolekularpumpe,
als
Wälzkolbenpumpe,
als
Drehschieberpumpe
oder
als
Seitenkanalpumpe
ausgebildet.
According
to
another
advantageous
embodiment,
the
vacuum
pump
is
formed
as
turbomolecular
pump,
roots
pump,
rotary
vane
pump,
or
as
peripheral
pump.
EuroPat v2
Da
im
Schöpfraum
keine
Reibung
auftritt,
kann
eine
Wälzkolbenpumpe
mit
hoher
Drehzahl
bis
zu
7.500
Umdrehungen
pro
Minute
betrieben
werden.
Because
no
friction
takes
place
in
the
compression
chamber,
the
rotary
vane
pump
can
be
operated
with
a
high
speed
up
to
7,500
revolution/min.
EuroPat v2
Das
erfindungsgemäße
Gehäuse
für
eine
Wälzkolbenpumpe
mit
einem
Ansaugflansch
und
einem
Ausstoßflansch
zeichnet
sich
dadurch
aus,
dass
der
Ansaugflansch
und/oder
der
Ausstoßflansch
eine
vieleckige
Form
mit
wenigstens
zwei
sich
gegenüberliegenden
parallel
zueinander
angeordneten
Seiten
aufweist.
The
inventive
housing
for
a
rotary
vane
pump
having
a
suction
flange
and
a
discharge
flange,
is
characterized
in
that
either
the
suction
flange
or/and
the
discharge
flange
have
a
multi-angular
shape,
with
at
least
two
opposite
sides
extending
parallel
to
each
other.
EuroPat v2
Das
erfindungsgemäße
Gehäuse
für
eine
Wälzkolbenpumpe
mit
einem
Ansaugflansch
und
einem
Ausstoßflansch,
bei
dem
an
einer
Außenseite
des
Gehäuses
Kühlrippen
angeordnet
sind,
zeichnet
sich
dadurch
aus,
dass
die
Anzahl
der
Kühlrippen
in
einem
Bereich
des
Gehäuses,
in
dem
innerhalb
des
Gehäuses
eine
höhere
Verdichtung
eines
zu
pumpenden
Mediums
erfolgt,
größer
ist
als
die
Anzahl
der
Kühlrippen
in
einem
Bereich
des
Gehäuses,
in
dem
innerhalb
des
Gehäuses
eine
niedrigere
Verdichtung
des
zu
pumpenden
Mediums
vorliegt.
The
object
of
the
invention
is
achieved
with
a
housing
for
a
rotary
vane
pump
comprising
a
suction
flange,
a
discharge
flange,
and
a
plurality
of
cooling
ribs
provided
on
an
outer
side
of
the
housing,
wherein
a
number
of
cooling
ribs
in
a
region
of
the
housing
in
which
in
an
interior
of
the
housing,
a
greater
compression
of
a
to-be-pumped
medium
takes
place,
is
greater
than
a
number
of
cooling
ribs
in
a
region
of
the
housing
in
which
in
the
interior
of
the
housing,
a
smaller
compression
of
the
to-be-pumped
medium
takes
place.
EuroPat v2
Da
die
Masse
der
bewegten
Teile
bei
einem
Klappenventil
gering
ist
und
so
verteilt
ist,
dass
der
Schwerpunkt
der
Ventilklappe
gemäß
einer
besonders
bevorzugten
Ausführungsform
der
Erfindung
im
Bereich
der
Schwenkachse
liegt,
ist
das
Ansprechverhalten
des
Klappenventils
unabhängig
von
der
Einbaulage
der
Wälzkolbenpumpe.
Since
the
mass
of
the
moved
components
in
a
flap
valve
is
small
and
is
distributed
such
that,
as
provided
by
a
particularly
preferred
embodiment
of
the
invention,
the
gravitational
center
of
the
valve
flap
is
located
in
the
region
of
the
pivot
axis,
the
response
behavior
of
the
flap
valve
is
independent
of
the
mounting
position
of
the
rotary-piston
pump.
EuroPat v2