Translation of "Vakuumtauglich" in English
																						Allgemein
																											kann
																											die
																											Konturmaske
																											aus
																											Materialien
																											gefertigt
																											werden,
																											die
																											ausreichend
																											vakuumtauglich
																											sind.
																		
			
				
																						In
																											general,
																											the
																											contour
																											mask
																											can
																											be
																											produced
																											from
																											materials
																											which
																											are
																											sufficiently
																											vacuum-compatible.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Ein
																											Schmiermittel,
																											welches
																											in
																											einer
																											Vakuumbeschichtungskammer
																											eingesetzt
																											wird,
																											muss
																											vakuumtauglich
																											sein.
																		
			
				
																						A
																											lubricant
																											that
																											is
																											used
																											in
																											a
																											vacuum
																											coating
																											chamber
																											must
																											be
																											vacuum-compatible.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Für
																											eine
																											solchen
																											PVD-Prozess
																											ist
																											es
																											wichtig,
																											dass
																											die
																											Antihaftschicht
																											vakuumtauglich
																											ist.
																		
			
				
																						For
																											such
																											a
																											PVD
																											process,
																											it
																											is
																											important
																											that
																											the
																											anti-adhesive
																											layer
																											should
																											be
																											suitable
																											for
																											vacuum.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Nicht
																											beschichtbare
																											Werkstoffe
																											sind
																											Sintermetalle
																											mit
																											offenen
																											Poren
																											(nicht
																											vakuumtauglich).
																		
			
				
																						Non-coatable
																											materials
																											are
																											sintered
																											metals
																											with
																											open
																											pores
																											(vacuum-incompatible).
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						Hinweis
																											Vakuumtauglich
																											HV
																											bzw.
																											Hochvakuum
																											entspricht
																											einem
																											Druckbereich
																											von
																											10E-3
																											bis
																											10E-7mbar.
																		
			
				
																						HV
																											(high
																											vacuum)
																											corresponds
																											to
																											a
																											pressure
																											range
																											from
																											10E-3
																											to
																											10E-7mbar.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						Beide
																											Systeme
																											sind
																											über
																											externe
																											Pilotluft
																											vakuumtauglich
																											und
																											CD01-PA
																											bietet
																											Druckbereiche
																											bis
																											zu
																											16
																											bar.
																		
			
				
																						Both
																											systems
																											are
																											vacuum-capable
																											via
																											external
																											pilot
																											air
																											and
																											CD01-PA
																											offers
																											pressure
																											ranges
																											up
																											to
																											16
																											bar.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						Verfahren
																											nach
																											Anspruch
																											1
																											oder
																											2,
																											dadurch
																											gekennzeichnet,
																											daß
																											man
																											die
																											Dicke
																											der
																											zu
																											reagierenden
																											Gasschicht
																											mittels
																											eines
																											Verdrängungskörpers
																											aus
																											einem
																											Material,
																											das
																											bis
																											zu
																											einer
																											Temperatur
																											von
																											200°C
																											formstabil
																											und
																											vakuumtauglich
																											ist,
																											einstellt.
																		
			
				
																						A
																											process
																											according
																											to
																											claim
																											1,
																											wherein
																											the
																											thickness
																											of
																											the
																											plasma
																											zone
																											is
																											adjusted
																											by
																											means
																											of
																											a
																											displacement
																											body
																											made
																											of
																											a
																											material
																											which
																											is
																											dimensionally
																											stable
																											and
																											usable
																											in
																											vacuum
																											up
																											to
																											a
																											temperature
																											of
																											200°
																											C.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Der
																											Verdrängungskörper
																											ist
																											zweckmäßigerweise
																											aus
																											einem
																											Material
																											gefertigt,
																											das
																											wenigstens
																											bis
																											zur
																											gewählten
																											Substrattemperatur
																											formstabil
																											und
																											vakuumtauglich
																											ist.
																		
			
				
																						The
																											displacement
																											body
																											is
																											expediently
																											manufactured
																											from
																											a
																											material
																											which
																											is
																											dimensionally
																											stable
																											and
																											usable
																											in
																											vacuum
																											at
																											least
																											up
																											to
																											the
																											chosen
																											substrate
																											temperature.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Vakuumtauglich
																											bedeutet
																											in
																											diesem
																											Zusammenhang,
																											daß
																											bei
																											der
																											gewählten
																											Substrattemperatur
																											aus
																											dem
																											Material
																											keine
																											den
																											Prozeß
																											negativ
																											beeinflussende
																											Ausgasung
																											stattfinden
																											darf.
																		
			
				
																						Usable
																											in
																											vacuum
																											means
																											in
																											this
																											connection
																											that
																											no
																											outgassing
																											which
																											affects
																											the
																											process
																											adversely
																											must
																											occur
																											from
																											the
																											material
																											at
																											the
																											chosen
																											substrate
																											temperature.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Für
																											die
																											oben
																											beschriebene
																											Beschichtung
																											reicht
																											es
																											aus,
																											wenn
																											der
																											Verdrängungskörper
																											aus
																											einem
																											Material
																											besteht,
																											das
																											bis
																											zu
																											einer
																											Temperatur
																											von
																											etwa
																											200
																											°C
																											formstabil
																											und
																											vakuumtauglich
																											und
																											resistant
																											gegen
																											die
																											in
																											der
																											Entladung
																											vorkommenden
																											Spezies
																											ist.
																		
			
				
																						For
																											the
																											coating
																											described
																											above
																											it
																											is
																											sufficient
																											if
																											the
																											displacement
																											body
																											is
																											composed
																											of
																											a
																											material
																											which
																											is
																											dimensionally
																											stable
																											and
																											usable
																											in
																											vacuum
																											up
																											to
																											a
																											temperature
																											of
																											about
																											200°
																											C.
																											and
																											resistant
																											to
																											the
																											species
																											present
																											in
																											the
																											discharge.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											Düsenkörper
																											nach
																											der
																											Erfindung
																											wie
																											auch
																											die
																											übrigen
																											Teile
																											der
																											Reaktionskammer
																											der
																											Einzelbeschichtungsanlage
																											(mit
																											Ausnahme
																											der
																											Kalotte
																											selbst)
																											sollten
																											aus
																											einem
																											Material
																											bestehen,
																											das
																											ausreichend
																											temperaturbeständig
																											und
																											vakuumtauglich
																											ist,
																											das
																											beständig
																											ist
																											gegen
																											den
																											Angriff
																											chemisch
																											aggressiver
																											Prozeßgase
																											und
																											das
																											möglichst
																											nicht
																											oder
																											nur
																											wenig
																											mikrowellenabsorbierend
																											ist.
																		
			
				
																						The
																											nozzle
																											element
																											according
																											to
																											the
																											invention,
																											and
																											the
																											remaining
																											parts
																											of
																											the
																											reaction
																											chamber
																											of
																											the
																											individual
																											coating
																											installation
																											(with
																											the
																											exception
																											of
																											the
																											dome
																											itself),
																											should
																											preferably
																											be
																											composed
																											of
																											a
																											material
																											that
																											is
																											sufficiently
																											temperature-resistant
																											and
																											capable
																											of
																											being
																											subjected
																											to
																											vacuum.
																											Thus,
																											the
																											material
																											should
																											be
																											resistant
																											to
																											the
																											attack
																											of
																											chemically
																											aggressive
																											process
																											gases.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Zudem
																											ist
																											der
																											Abfallbehälter
																											1
																											bevorzugt
																											vakuumtauglich
																											ausgebildet,
																											verformt
																											sich
																											also
																											nicht
																											unter
																											einem
																											Unterdruck
																											oder
																											Vakuum.
																		
			
				
																						In
																											addition,
																											the
																											waste
																											container
																											1
																											is
																											preferably
																											formed
																											to
																											be
																											suitable
																											for
																											vacuum,
																											i.e.,
																											it
																											does
																											not
																											deform
																											when
																											being
																											subjected
																											to
																											a
																											partial
																											vacuum
																											or
																											vacuum.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Ein
																											Stoplack,
																											wie
																											er
																											etwa
																											als
																											Lötstoplack
																											in
																											der
																											Leiterplattenfertigung
																											verwendet
																											wird,
																											hat
																											sich
																											als
																											gut
																											vakuumtauglich
																											erwiesen.
																		
			
				
																						A
																											stop
																											resist,
																											as
																											used,
																											for
																											example,
																											as
																											a
																											soldering
																											stop
																											resist
																											in
																											circuit
																											board
																											manufacture,
																											has
																											proven
																											suitable
																											for
																											vacuum
																											applications.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Dieser
																											Lack
																											hat
																											sich
																											als
																											besonders
																											vakuumtauglich
																											und
																											thermisch
																											stabil
																											unter
																											der
																											beim
																											Beschichten
																											auftretenden
																											Temperaturbelastung
																											erwiesen.
																		
			
				
																						This
																											varnish
																											has
																											been
																											found
																											to
																											be
																											particularly
																											compatible
																											with
																											vacuums
																											and
																											to
																											be
																											thermally
																											stable
																											when
																											subjected
																											to
																											the
																											temperature
																											load
																											that
																											occurs
																											during
																											coating.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Da
																											wir
																											keine
																											Möglichkeit
																											haben,
																											zu
																											überprüfen,
																											ob
																											unsere
																											Pasten
																											vakuumtauglich
																											sind
																											und
																											die
																											Anwendungsgebiete
																											zu
																											unterschiedlich
																											sind,
																											können
																											wir
																											hier
																											keine
																											abschließende
																											Auskunft
																											geben.
																		
			
				
																						Since
																											we
																											do
																											not
																											have
																											a
																											possibility
																											to
																											test
																											the
																											vacuum
																											suitability
																											of
																											our
																											products
																											and
																											the
																											application
																											areas
																											are
																											too
																											different,
																											we
																											cannot
																											state
																											closing
																											information.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						Durch
																											die
																											erfindungsgemäß
																											verhältnismäßig
																											kurzen
																											Verfahrwege
																											der
																											oberen
																											und/oder
																											unteren
																											Aufnahme
																											und
																											damit
																											des
																											ersten
																											(unteren)
																											und/oder
																											zweiten
																											(oberen)
																											Substrats
																											können
																											mechanische
																											Bauteile
																											für
																											Schlitten/Lager/Schrittmotoren
																											verwendet
																											werden,
																											die
																											vakuumtauglich
																											sind.
																		
			
				
																						Due
																											to
																											the
																											travel
																											paths
																											of
																											the
																											upper
																											and/or
																											lower
																											mount
																											and
																											thus
																											of
																											the
																											first
																											(lower)
																											and/or
																											second
																											(upper)
																											substrate,
																											which
																											paths
																											are
																											comparatively
																											short,
																											mechanical
																											components
																											for
																											carriages/bearings/stepping
																											motors
																											which
																											are
																											vacuum-suitable
																											can
																											be
																											used.
															 
				
		 EuroPat v2