Translation of "Telezentrisch" in English

Der Eingang am Retikel ist somit nahezu perfekt telezentrisch.
The entry at the reticle is thereby almost perfectly telecentric.
EuroPat v2
Daher werden heute telezentrisch arbeitende IBV-Systeme eingesetzt, um kleine Teile zu vermessen.
IIP systems operating on telecentric principles are hence currently used to measure small parts.
EuroPat v2
Lediglich die Perspektive wird bei der Aufnahme der Figur 6a auf telezentrisch gewechselt.
The only change is that the perspective in the recording of FIG. 6A is changed to be telecentric.
EuroPat v2
Vorteilhafterweise sind in den Beispielen der Erfindung die Objektive stets bildseitig telezentrisch ausgebildet.
Advantageously, in the embodiments of the invention, the objectives are always telecentric on the image-side.
EuroPat v2
Auch dieses System ist telezentrisch am Objekt.
This system is also telecentric at the object.
EuroPat v2
Vorzugsweise ist das Detektorobjektiv 31 auf der Seite des Faserbündels telezentrisch.
Preferably, the detector objective 31 is telecentric on the side of the fibre bundle.
EuroPat v2
Vorteilhafterweise ist der Strahlengang am Bild nahezu telezentrisch.
The beam path is advantageously virtually telecentric at the image.
EuroPat v2
Unter Telezentrie wird in der vorliegenden Anmeldung verstanden, daß das Gesamtsystem am Wafer telezentrisch ist.
Telecentricity is to be understood in the present application in that the entire system is telecentric at the wafer.
EuroPat v2
Bild 5: Feder, diffus beleuchtet(links) und telezentrisch (rechts).
Fig. 5: Spring in diffuse (left) and telecentric (right) lighting.
ParaCrawl v7.1
Bild 7: Glasfläschchen, diffus beleuchtet(links) und telezentrisch (rechts).
Fig. 7: Glass vials in diffuse (left) and telecentric (right) lighting.
ParaCrawl v7.1
Die Feldlinse hat die Funktion, in einer lithografischen Vorrichtung eine Fotomaske telezentrisch zu beleuchten.
The field lens has the function of illuminating a photomask telecentrically in a lithographic device.
EuroPat v2
Bild 3: Metallbolzen diffus beleuchtet (links) und telezentrisch (rechts).
Fig. 3: Metal bolt in diffuse (left) and telecentric (right) lighting.
ParaCrawl v7.1
Bild 4: Schraube, diffus beleuchtet (links) und telezentrisch (rechts).
Fig. 4: Screw in diffuse (left) and telecentric (right) lighting.
ParaCrawl v7.1
Günstig ist es in jedem Fall, die nachgeordneten Linsen so auszugestalten, daß der Strahlengang zwischen den Einzellinsen telezentrisch verläuft, d.h. daß ebene Weilenfronten vorhanden sind, wodurch der Abstand zwischen solchen Linsen ohne wesentliche Störung des Strahlengangs geändert werden kann.
It is beneficial in any case to fashion the following lenses such that the beam path between the single lenses proceeds telecentrically, i.e. that there are planar wave fronts, whereby the spacing between such lenses can be changed without a significant disturbance of the beam path.
EuroPat v2
Bei einer lateralen Relativverschiebung der beiden Linsenraster 18 und 20 um einige Mikrometer aus der Ausgangsstellung von Fig.4 werden die Abbildungslichtbündel des Abbildungsobjektivs 10A so abgelenkt, daß sie, wie in Fig.1 dargestellt, telezentrisch von dem Abbildungsobjektiv 14 erfaßt und auf einen Matrixdetektor geleitet werden.
When the two lens grids 18 and 20 are relatively laterally displaced by a few micrometers from the original position in FIG. 4, the imaging light beams of the imaging objective 10A are deflected such that they are telecentrically received by the imaging objective 14 and guided onto a matrix detector as illustrated in FIG. 1.
EuroPat v2
Im DUV-Bereich liegen bereits Erfahrungen mit geeigneten Beleuchtungssystemen vor mit verschiedenen Komponenten und Funktionen, die auch bei der 157 nm-Technik benötigt werden, um ein ausreichend großes Feld homogen, telezentrisch und mit wählbarem Kohärenzgrad ? auszuleuchten.
In the deep ultraviolet range, experience with suitable illuminating systems is already present with different components and functions which are also necessary for the 157 nm technology in order to illuminate a sufficiently large field homogeneously, telecentrically and with a selectable degree of coherence ?.
EuroPat v2
Es ist vorteilhaft, wenn die Zwischenabbildung 7 derart ausgelegt ist, daß das reflektive Retikel 5 nahezu telezentrisch beleuchtet wird.
It is advantageous when the intermediate imaging optics 7 are so configured that the reflective reticle 5 is almost entirely telecentrically illuminated.
EuroPat v2
Die Beleuchtung soll telezentrisch sein, so dass die gerichteten Lichtschwerpunkte aller Punkte der Retikelebene möglichst exakt in der Eintrittspupille des Projektionsobjektives zentriert sind.
The illumination should be telecentric in order that the directed foci of all points in the plane of the reticle will be as accurately centered on the projection lens' entrance pupil as possible.
EuroPat v2
In der vorliegenden Anmeldung ist die Telezentrieanforderung dann erfüllt, wenn die Abweichung der Schwerstrahlen von Beleuchtung und Objektiv in der Retikelebene ein bestimmtes Maß, beispielsweise ± 4,0 mrad, vorzugsweise ± 1,0 mrad nicht überschreitet und die Schwerstrahlen telezentrisch auf den Wafer treffen.
In the present application, the telecentricity requirement is fulfilled, if the divergence of the principal beams of the illumination system and objective in the reticle plane does not exceed a predetermined value, for example, ±4.0 mrads, preferably ±1.0 mrad, and the principal beams impinge on the wafer telecentrically.
EuroPat v2
Mikrolithographie-Projektionsobjektiveinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß das Objektiv bildseitig telezentrisch ist.
The projection objective of claim 1, wherein the projection objective is telecentric on an image side.
EuroPat v2
Vorzugsweise ist die Optik 22 telezentrisch, also mit einem Strahlengang ausgebildet, bei dem die bestimmende Blende in einem der beiden Brennpunkte angeordnet ist.
Preferably, the optical system 22 is telecentric, i.e. formed with a beam path in which the governing diaphragm is arranged in one of the two focal points.
EuroPat v2
Um den optischen Aufbau der Beleuchtungsoptik 2 zu vereinfachen, ist es günstig, wenn die Hauptstrahlwinkel bezüglich der Retikelebene kleiner als ± 15mrad sind, das Retikel 5 also nahezu telezentrisch beleuchtet wird.
In order to simplify the optical configuration of the illuminating optics 2, it is advantageous when the chief ray angles are less than ±15 mrad with reference to the reticle plane, that is, the reticle 5 is virtually telecentrically illuminated.
EuroPat v2
Mit der Linse (L3) werden die sechzehn Teilstrahlenbündel (14a, 14b) im Abstand f 3 telezentrisch auf der lasersensitiven Schicht (13) der Druckplatte (3) fokussiert.
With the lens (L 3), the sixteen partial beams (14 a, 14 b) are focused telecentrically, at the distance f 3, on the laser-sensitive layer (13) of the printing plate (3).
EuroPat v2
Aufgrund seiner Konstruktion weist es aber Pupillenaberration auf, d. h. trotz der afokalen Konstruktion sind nicht alle Hauptstrahlen telezentrisch.
Because of the construction of this objective, pupil aberration exists, i.e. in spite of the afocal construction, not all of the major rays are telecentric.
EuroPat v2
Um auf die Kamerakalibrierung vollständig zu verzichten, wurde bereits vorgeschlagen, beidseitig telezentrisch ausgebildete optische Systeme einzusetzen.
It has already been proposed to completely eliminate the need for camera calibration by providing double-sided telecentric optical systems.
EuroPat v2
Das Linsenraster bildet die telezentrisch vergrößerten Leuchtpunkte, der Dioden­zeile ins Unendliche ab, d.h., daß kollimierte oder je nach Ausführung der Diodenzeile quasi-kollimierte Licht­bündel in der Überwachungsstrecke vorliegen.
The lens array forms an image of the telecentrically enlarged luminous points of the diode row at infinity, i.e. collimated or quasi-collimated light bundles are present in the monitored region depending on the design of the diode row.
EuroPat v2
Neben dem Menschen bekannten Seheindruck der entozentrischen Perspektive werden in der Bildverarbeitung telezentrisch und hyperzentrisch abbildende Optiken eingesetzt.
Besides the visual impression of the entocentric perspective that humans are familiar with, telecentric and hypercentric lenses are also used in image processing.
ParaCrawl v7.1