Translation of "Strukturqualität" in English
Er
engagierte
sich
vor
allem
für
die
Prozess-,
Ergebnis-
und
Strukturqualität
in
der
interdisziplinären
Onkologie.
He
was
particularly
committed
to
quality
in
the
processes,
results
and
structure
of
interdisciplinary
oncology.
ParaCrawl v7.1
Ebenso
nachteilig
können
sich
die
flüssigen
bzw.
leicht
verdampfbaren
Zusätze
während
des
sogenannten
«postbake»
auf
die
Strukturqualität
auswirken.
A
similar
disadvantageous
effect
on
the
quality
of
the
structure
can
be
caused
by
the
liquid
or
highly
volatile
additives
during
the
so-called
"post-bake".
EuroPat v2
Aufgabe
der
vorliegenden
Erfindung
ist
es,
ein
Verfahren
zur
Entwicklung
von
Positivphotoresists
auf
Basis
Poly(p-hydroxystyrol)/Sulfoniumsalz
zur
Verfügung
zu
stellen,
das
einen
hohen
Kontrast,
hohe
Auflösung
und
gute
Strukturqualität
ermöglicht,
sowie
hinsichtlich
Stabilität
und
Entwicklungskapazität
des
Entwicklers
verbesserte
Eigenschaften
aufweist.
It
is
an
object
of
the
present
invention
to
provide
a
developer
for
positive
photoresists
which
permits
high
contrast,
high
resolution
and
good
structural
quality
and
has
improved
properties
with
regard
to
stability
and
development
capacity.
EuroPat v2
Die
nachfolgende
Temperung
bei
275
°C
und
400
°C,
jeweils
für
eine
halbe
Stunde,
führt
-
ohne
Beeinträchtigung
der
Strukturqualität
-
zu
einer
Schichtstärke
von
2,1
µm.
The
subsequent
anneal
at
275°
C.
and
400°
C.,
each
time
for
half
an
hour,
leads
to
a
layer
thickness
of
2.1
?m
without
impairment
of
the
structure
quality.
EuroPat v2
Aufgabe
der
vorliegenden
Erfindung
ist
es,
einen
Entwickler
für
Positivphotoresists
zur
Verfügung
zu
stellen,
der
einen
hohen
Kontrast,
hohe
Auflösung
und
gute
Strukturqualität
ermöglicht,
sowie
hinsichtlich
Stabilität
und
Entwicklungskapazität
verbesserte
Eigenschaften
aufweist.
It
is
an
object
of
the
present
invention
to
provide
a
developer
for
positive
photoresists
which
permits
high
contrast,
high
resolution
and
good
structural
quality
and
has
improved
properties
with
regard
to
stability
and
development
capacity.
EuroPat v2
Überraschenderweise
erhält
man
mit
dem
erfindungsgemäßen
strahlungsempfindlichen
Gemisch
Resistmuster
guter
Strukturqualität
bei
der
Belichtung
im
kurzwelligen
UV-Bereich,
bevorzugt
248
nm,
wobei
die
Photoempfindlichkeit
des
Gemisches
sehr
hoch
ist
und
kein
nennenswerter
Abtrag
der
unbelichteten
Bereiche
während
der
erforderlichen
Entwicklungszeiten
auftritt.
Surprisingly,
the
novel
radiation-sensitive
mixture
gives
resist
patterns
having
good
structural
quality
when
exposed
in
the
short-wavelength
UV
range,
preferably
at
248
nm,
the
photosensitivity
of
the
mixture
being
very
high
and
there
being
no
significant
removal
of
the
unexposed
areas
during
the
required
development
time.
EuroPat v2
Das
erfindungsgemäße
strahlungsempfindliche
Gemisch
zeichnet
sich
gegenüber
den
Gemischen
gemäß
dem
Stand
der
Technik
dadurch
aus,
daß
mit
dem
erfindungsgemäßen
Zweikomponentensystem
auf
Basis
eines
alkalilöslichen
Bindemittels
und
einer
löslichkeitsinhibierenden
Sulfoniumverbindung
Resistmuster
guter
Strukturqualität
erhalten
werden,
wenn
man
die
Resistmuster
nach
dem
üblichen
Verfahren
herstellt,
und
vorzugsweise
zusätzlich
nach
der
Belichtung
auf
Temperaturen
von
60°C
bis
120°C
erhitzt.
The
novel
radiation-sensitive
mixture
is
distinguished
from
the
prior
art
mixtures
in
that
the
novel
two-component
system
based
on
an
alkali-soluble
binder
and
a
solubility-inhibiting
sulfonium
compound
gives
resist
patterns
of
good
structural
quality
if
the
resist
patterns
are
produced
by
the
conventional
method
and
are
preferably
additionally
heated
to
60°-120°
C.
after
exposure.
EuroPat v2
Ebenso
nachteilig
können
sich
die
flüssigen
bzw.
leicht
verdampfbaren
Zusätze
während
des
sogenannten
"postbake"
auf
die
Strukturqualität
auswirken.
A
similar
disadvantageous
effect
on
the
quality
of
the
structure
can
be
caused
by
the
liquid
or
highly
volatile
additives
during
the
so-called
"post-bake".
EuroPat v2
Auch
eine
nachträgliche
spanende
oder
lithographische
Bearbeitung
ist
oft
kaum
oder
nur
mit
unbefriedigender
Strukturqualität
oder
mit
sehr
großem
Aufwand
möglich.
Also,
subsequent
machining
or
lithographic
processing
is
often
hardly
possible,
or
is
only
possible
with
unsatisfactory
structure
quality
or
with
considerable
effort.
EuroPat v2
Dies
ermöglicht
deutlich
kürzere
Rechenzeiten
zur
Zerlegung
der
Gesamtstruktur
in
Teilstrukturen
und
kürzere
Prozesszeiten
zum
Schreiben
der
Teilstrukturen,
ohne
dass
die
Strukturqualität
und
Zuverlässigkeit
der
Strukturherstellung
beeinträchtigt
wird.
This
enables
significantly
shorter
computation
times
for
decomposing
the
overall
structure
into
partial
structures
and
shorter
process
times
for
writing
the
partial
structures,
without
the
structure
quality
and
reliability
of
the
structure
production
being
impaired.
EuroPat v2
Die
daraus
abgeleitete
Prozess-
und
Strukturqualität
zusammen
mit
den
erreichten
Taktzeiten
von
deutlich
unter
zwei
Minuten
untermauern
das
Potenzial
einer
solchen
Hybridisierung
sowohl
auf
Werkstoff-
als
auch
auf
Fertigungsseite",
so
Martin
Würtele,
Leiter
Technologieentwicklung
Spritzgießtechnik
bei
KraussMaffei.
The
resulting
process
and
structure
quality,
together
with
the
achieved
cycle
times
of
significantly
less
than
two
minutes,
supports
the
potential
of
such
hybridization
on
both
the
material
and
production
end,"
says
Martin
Würtele,
Director
of
Injection
Molding
Technology
Development
at
KraussMaffei.
ParaCrawl v7.1
Die
Deutung
der
Aspekte
im
Horoskop
greift
auf
die
Zahl
als
Archetyp
zurück,
die
in
diesem
Fall
eine
Strukturqualität
der
Zeit
beschreibt.
The
interpretation
of
aspects
in
a
chart
is
based
on
the
number
as
an
archetype,
describing
in
this
case
a
structural
quality
of
time.
ParaCrawl v7.1