Translation of "Strukturgröße" in English
Ihre
laterale
Ausdehnung
ist
unabhängig
von
der
lateralen
Strukturgröße
der
Unebenheiten
2'.
Their
lateral
expanse
is
independent
of
the
lateral
structure
size
of
the
elevations
2'.
EuroPat v2
Die
erste
Ziffer
bezeichnet
die
Hälfte
der
Strukturgröße.
The
first
digit
denotes
half
of
the
pattern
size.
ParaCrawl v7.1
Sie
definieren
die
Strukturgröße
einer
Herstellungsprozessgeneration.
They
define
the
feature
size
of
a
production
process
generation.
ParaCrawl v7.1
Sie
ist
ein
Maß
für
die
mittlere
Strukturgröße
des
digitalen
Bilds.
It
is
a
measure
of
the
mean
structural
size
of
the
digital
image.
EuroPat v2
Die
minimale
Strukturgröße
ist
dabei
durch
die
Fertigungstechnologie
des
Halbleiterprozesses
vorgegeben.
The
minimum
structure
size
is
thereby
predetermined
by
the
manufacturing
technology
of
the
semiconductor
process.
EuroPat v2
Die
Mikrostruktur
8
weist
eine
Strukturgröße
von
zirka
12
µm
auf.
The
microstructure
8
has
a
structure
size
of
approximately
12
?m.
EuroPat v2
Eine
hohe
Ortsfrequenz
entspricht
dabei
einer
kleinen
Strukturgröße.
A
high
spatial
frequency
here
corresponds
to
a
small
structure
size.
EuroPat v2
Hierbei
liegt
die
Strukturgröße
erfindungsgemäß
im
Bereich
von
>
4
µm.
In
this
case,
the
structure
size
is
in
the
range
of
>4
?m.
EuroPat v2
Alle
Schäume
liegen
bei
einer
ähnlichen,
mittleren
Strukturgröße
von
ca.
20
µm.
All
foams
exhibit
a
similar
mean
structure
size
of
about
20
?m.
EuroPat v2
Aufgrund
der
geringen
Strukturgröße
ist
es
schwierig,
derartige
mikroskopische
Risse
festzustellen.
On
account
of
the
small
structure
size,
it
is
difficult
to
ascertain
such
microscopic
cracks.
EuroPat v2
Strukturgröße
(sehen
Sie
Bild
unten)
Structure
size
(see
picture
below)
ParaCrawl v7.1
Die
Tropfengröße
kann
durch
die
Veränderung
der
Strukturgröße
der
Strukturierung
der
Oberfläche
variiert
werden.
The
droplet
size
can
be
varied
by
varying
the
structure
size
of
the
surface
structure.
EuroPat v2
Die
Strukturgröße
liegt
erneut
bei
ca.
20
µm,
wobei
ein
deutlich
homogeneres
Aufschäumen
stattgefunden
hat.
The
structure
size
is
again
about
20
?m,
a
clearly
more
homogeneous
foaming
having
occurred.
EuroPat v2
Allerdings
ist
die
Strukturgröße
weiterhin
zu
groß
um
von
der
Ausgangsstruktur
stammen
zu
können.
However,
the
structure
size
is
further
too
large
to
be
derived
from
the
starting
structure.
EuroPat v2
Der
so
vorbehandelte
Teilbereich
150
weist
eine
feine
Rauhigkeit
mit
geringer
Strukturgröße
und
Strukturtiefe
auf.
The
subregion
150
so
pretreated
has
a
fine
roughness
with
a
very
small
structure
size
and
structure
depth.
EuroPat v2
Der
Streuwinkelbereich
ist
unter
anderem
abhängig
von
der
jeweiligen
Strukturgröße
des
Grundelements
in
der
Beleuchtungs-/Betrachtungsrichtung.
The
scattering
angle
range
is
dependent,
among
other
things,
on
the
respective
structure
size
of
the
base
element
in
the
illumination/viewing
direction.
EuroPat v2
Die
Strukturgröße
und
die
Justage
von
13
zu
12b
sind
sehr
unkritisch
(Fig.
The
structure
size
and
the
adjustment
of
13
to
12
b
are
very
non-critical
(FIG.
EuroPat v2
Si3N4/SiO2)
sowie
durch
eine
Verringerung
der
lateralen
Strukturgröße
der
funktionellen
Bereiche
generiert
werden.
Si3N4/SiO2)
and
also
by
a
reduction
in
the
lateral
structural
size
of
the
functional
regions.
EuroPat v2
Bei
der
Herstellung
hochintegrierter
Halbleiterschaltungen
besteht
eine
der
wichtigsten
Aufgaben
darin,
unter
Zugrundelegung
einer
minimalen
beherrschbaren
Strukturgröße
möglichst
viele
Komponenten
(z.
B.
Transistoren)
bzw.
Funktionseinheiten
pro
Flächeneinheit
unterzubringen.
Prior
Art
In
the
production
of
highly
integrated
semiconductor
circuits,
one
of
the
more
important
goals
is
to
pack
as
many
circuit
components
(for
example
transistors)
or,
respectively,
functional
units
per
surface
unit
based
on
a
controllable
minimum
size
substrate.
EuroPat v2
Das
beschriebene
Verfahren
zur
Herstellung
des
Feldoxyds
Dox
wird
angewendet,
um
eine
Verkleinerung
der
Strukturgröße
und
eine
Reduzierung
der
Anzahl
der
insgesamt
erforderlichen
Photolackmasken
zu
erreichen.
The
hereinafore
described
method
of
producing
the
field
oxide
Dox
is
applied
to
gain
a
reduction
of
the
structural
size
and
of
the
total
number
of
photoresist
masks
required.
EuroPat v2
Das
bedeutet
aber,
daß
die
automatische
Ausrichtung
der
einzelnen
Halbleiterzonen
und
Kontakte
aufeinander
nicht
nur
eine
Reduzierung
in
der
Strukturgröße
zuläßt,
sondern
auch
die
Eigenschaften,
wie
Zuverlässigkeit
und
die
Ausbeute
erhöht.
Thus,
self-alignment
not
only
aids
in
reduction
of
device
size
but
also
in
improving
device
characteristics,
reliability
and
yield.
EuroPat v2
Bei
der
Herstellung
hochintegrierter
Halbleiterschaltungen
besteht
eine
der
wichtigsten
Aufgaben
darin,
unter
Zugrundelegung
einer
minimalen
beherrschbaren
Strukturgröße
möglichst
viele
Komponenten
(zum
Beispiel
Transistoren)
bzw.
Funktionseinheiten
pro
Flächeneinheit
unterzubringen.
Prior
Art
In
the
production
of
highly
integrated
semiconductor
circuits,
one
of
the
more
important
goals
is
to
pack
as
many
circuit
components
(for
example
transistors)
or,
respectively,
functional
units
per
surface
unit
based
on
a
controllable
minimum
size
substrate.
EuroPat v2
Damit
wird
pro
Speicherzelle
ein
minimaler
Flächenbedarf
erforderlich,
der
im
günstigsten
Fall
bei
4
F
2
liegt,
wobei
F
die
in
der
jeweiligen
Technologie
kleinste
herstellbare
Strukturgröße
ist.
A
minimum
area
requirement
thus
becomes
necessary
for
each
memory
cell
and
is
4
F2
in
the
most
favorable
case,
where
F
is
the
smallest
structure
size
that
can
be
produced
with
the
respective
technology.
EuroPat v2
Werden
in
dieser
Ausführungsform
die
Gräben
mit
einer
Breite
F
und
einem
Abstand
F
gebildet,
wobei
F
die
in
der
jeweiligen
Technologie
kleinste
herstellbare
Strukturgröße
ist,
und
wird
die
Abmessung
der
Source/Drain-Gebiete
und
des
Kanalgebiets
der
planaren
MOS-Transistoren
in
Richtung
der
Zeilen
jeweils
entsprechend
F
gewählt,
so
sind
auf
einer
Fläche
von
2
F
2
eine
erste
Speicherzelle
mit
einem
planaren
MOS-Transistor
und
eine
zweite
Speicherzelle
mit
einem
vertikalen
MOS-Transistor
angeordnet.
If,
in
this
embodiment,
the
trenches
are
formed
with
a
width
F
and
a
spacing
F,
F
being
the
smallest
structure
size
that
can
be
produced
with
the
respective
technology,
and
if
the
dimension
of
the
source/drain
regions
and
of
the
channel
region
of
the
planar
MOS
transistors
in
the
direction
of
the
rows
is
in
each
case
chosen
to
correspond
to
F,
then
s
first
memory
cell
having
a
planar
MOS
transistor
and
a
second
memory
cell
having
a
vertical
MOS
transistor
are
arranged
on
an
area
of
2
F2.
EuroPat v2
Das
Steuergerät
kann
eine
große
Anzahl
von
Steckerstiften
aufweisen,
da
die
Steckerstifte
zunächst
mit
den
Leiterbahnen
der
zweiten
Leiterplatte
verbunden
sind:
Durch
die
kleinere
Strukturgröße
von
Leiterbahnen,
Kontaktstiften,
Kontaktflächen
und
Bonddrähten
als
Verbindungselementen
zwischen
zweiter
und
erster
Leiterplatte
wird
das
grobe
Raster
der
aufgrund
ihrer
mechanischen
Beanspruchung
dick
ausgebildeten
Steckerstifte
in
ein
wesentlich
feineres
Anschlußraster
der
Kontaktflächen
umgesetzt.
The
control
unit
may
have
a
large
number
of
plug
pins,
since
the
plug
pins
are
first
connected
to
the
conductor
tracks
on
the
second
printed
circuit
board:
as
a
result
of
the
relatively
small
structural
size
of
conductor
tracks,
contact
pins,
contact
surfaces
and
bonding
wires
as
connecting
elements
between
the
second
printed
circuit
board
and
the
first
printed
circuit
board,
the
coarse
grid
of
the
plug
pins,
which
are
designed
to
be
close
together
because
of
their
mechanical
stresses,
is
converted
into
a
considerably
finer
connecting
grid
for
the
contact
surfaces.
EuroPat v2
Kleinere
oder
leicht
größere
Strukturen
als
die
minimale,
in
der
verwendeten
Technologie
herstellbaren
Strukturgröße
lassen
sich
mit
Über-oder
Unterätzen
von
Masken
erzeugen.
Structures
which
are
smaller
or
slightly
larger
than
the
minimal
producible
structural
sizes
in
the
utilized
technology
can
be
created
with
over-etching
or
under-etching
of
masks.
EuroPat v2
Da
einer
bloßen
Reduktion
von
Abmessungen
der
Speicherzelle
durch
die
minimale,
in
der
jeweiligen
Technologie
herstellbare
Strukturgröße
F
Grenzen
gesetzt
sind,
ist
dies
auch
mit
einer
Veränderung
der
Speicherzelle
verbunden.
As
such,
reducing
the
dimensions
of
the
memory
cell
is
limited
by
the
minimal
structural
size,
that
can
be
produced
in
the
respective
technology.
In
addition,
the
memory
cell
may
be
altered.
EuroPat v2
Diese
Ausführungsform
ist
mit
einer
minimalen
Speicherzellenfläche
von
4
F
2
(F:
minimale
Strukturgröße
bei
der
jeweiligen
Technologie)
herstellbar.
This
embodiment
can
be
produced
with
a
minimum
memory
cell
area
of
4
F2
(F:
minimum
structure
size
for
the
respective
technology).
EuroPat v2