Translation of "Strukturauflösung" in English
Die
Modellierung
der
elastischen
Streuungen
erlaubt
eine
verbesserte
Strukturauflösung.
The
modeling
of
the
elastic
scatterings
enables
an
improved
resolution
of
the
structure.
EuroPat v2
Das
Verfahren
hat
eine
hohe
Strukturauflösung
und
erlaubt
eine
große
Packungsdichte
der
Funktionsbereiche.
The
method
has
a
high
structure
resolution
and
allows
great
packing
density
of
the
function
regions.
EuroPat v2
Die
Modellierung
der
rein
elastischen
Streuungen
erlaubt
eine
verbesserte
Strukturauflösung.
Modeling
of
purely
elastic
scattering
enables
an
improved
structural
resolution.
EuroPat v2
Außerdem
ist
diese
Technik
äußerst
zeitaufwändig
und
hinsichtlich
der
Strukturauflösung
begrenzt.
Moreover,
this
technique
is
extremely
time-consuming
and
limited
with
respect
to
structural
resolution.
EuroPat v2
Sie
vereinen
die
hohe
Strukturauflösung
aufgrund
der
positiven
Arbeitsweise
mit
der
Hochwärmebeständigkeit
der
damit
erzeugbaren
Polyimid-Reliefstrukturen.
They
combine
the
high
structural
resolution
owing
to
their
positive
mode
of
action
with
the
high
temperature
stability
of
the
polyimide
relief
structures
which
can
thereby
be
produced.
EuroPat v2
Bei
diesen
Materialien
zeigte
sich,
daß
Empfindlichkeit
und
Strukturauflösung
meist
gegenläufige
Eigenschaften
sind.
In
these
materials,
sensitivity
and
pattern
resolution
have,
in
most
cases,
proved
to
be
incongruous
properties.
EuroPat v2
Das
Projektziel
ist
eine
Strukturauflösung
im
Bereich
von
10.000
Druckpunkten
pro
Zoll
(dpi).
The
project
goal
is
a
structure
resolution
in
the
range
of
10.000
dots
per
inch
(dpi).
ParaCrawl v7.1
Die
mit
SPDM
mögliche
Strukturauflösung
kann
angegeben
werden
durch
die
kleinste
messbare
Distanz
zwischen
zwei
in
ihrer
räumlichen
Position
bestimmten
„punktförmigen“
Teilchen
unterschiedlicher
spektraler
Markierung
(„Topologische
Auflösung“).
The
structural
resolution
achievable
using
SPDM
can
be
expressed
in
terms
of
the
smallest
measurable
distance
between
two
in
their
spatial
position
determined
punctiform
particle
of
different
spectral
characteristics
("topological
resolution").
WikiMatrix v1
Das
Resistmaterial
wird
verwendet
zur
Herstellung
von
elektronenstrahlgeschriebenen
Mikrostrukturen
mit
hoher
Strukturauflösung
und
erspart
im
Gegensatz
zu
den
bekannten
Verfahren
den
mit
Fehlern
behafteten
Entwicklungsprozeß.
The
resist
material
is
used
for
the
production
of
electron-beam-written
microstructures
with
high
structural
resolution
and,
in
comparison
to
the
known
methods,
eliminates
the
error-affected
developing
process.
EuroPat v2
Diese
Aufgabe
wird
erfindungsgemäß
dadurch
gelöst,
daß
das
Rohmaterial
einer
Kurzzeitquellung
ausgesetzt
wird,
wobei
die
morphologischen
Kornstrukturen
weder
auf
chemischem
noch
mikrobiologischem
Weg
aufgelöst
werden,
das
gequollene
Rohmaterial
in
eine
mit
einem
Spaltkopf
versehene
Hochdruckapparatur
unter
einem
Druck
von
mindestens
10
bar
eingeführt,
unter
der
Einwirkung
von
hohen
Scherkräften
zerkleinert
und
in
die
Atmosphäre
entspannt
wird,
die
notwendige
Strukturauflösung
zwischen
den
Stärkekörnern
und
dem
Protein
erfolgt.
This
object
is
achieved
in
accordance
with
the
invention
by
subjecting
the
raw
material
to
a
brief
steeping
wherein
the
morphological
structures
of
the
grain
are
disrupted
neither
chemically
nor
microbiologically,
by
then
introducing
the
steeped
raw
material
into
a
high-pressure
apparatus
equipped
with
a
splitter
head,
under
a
pressure
of
at
least
10
bar,
fragmenting
it
under
the
action
of
high
shear
forces,
and
relieving
it
into
the
atmosphere,
thereby
achieving
the
necessary
structural
disruption
between
the
starch
grains
and
the
protein.
EuroPat v2
Erfindungsgemäß
wird
damit
zur
Erzielung
einer
kurzen
Herstellungszeit
bei
trotzdem
hoher
Strukturauflösung
bei
gepulsten
Lasern
im
Hüllbereich
25
mit
kleinerem
Fokus
und
im
Kernbereich
26
mit
größerem
Fokus
verfestigt
und
die
Scan-Geschwindigkeit
und
die
Repetitionsrate
jeweils
so
eingestellt,
daß
in
beiden
Bereichen
die
bei
jedem
Puls
verfestigten
Bereiche
27
überlappen
und
damit
eine
durchgehende
Linie
verfestigt
wird.
According
to
the
invention
a
short
production
time
in
combination
with
a
high
structural
resolution
is
obtained
for
pulsed
lasers
by
solidifying
using
a
smaller
focus
in
the
envelope
region
25
and
a
larger
focus
in
the
core
region
26
and
correspondingly
adjusting
the
scanning
speed
and
the
repetition
rate
so
that
in
both
regions
the
areas
27
solidified
with
each
pulse
overlap
and
thereby
form
a
continuous
line.
EuroPat v2
Insbesondere
tritt
ein
Widerspruch
zwischen
der
theoretischen
Strukturauflösung
eines
Matrix-adressierten
Flächenlichtmodulators
von
einem
oder
zwei
Pixeln
und
dem
Strukturinkrement
von
einem
Pixel
auf,
da
nahezu
alle
Technologien
in
einem
Halbleiterprozeß
auf
einem
Verhältnis
des
Strukturinkrements
zu
minimaler
Strukturgröße
von
kleiner
als
1:10
basieren.
In
particular,
there
is
a
discrepancy
between
the
theoretical
structure
resolution
of
a
matrix-addressed
plane
light
modulator
of
one
or
two
pixels
and
the
structure
increment
of
one
pixel
since
nearly
all
the
technologies
in
a
semiconductor
process
are
based
on
a
ratio
of
the
structure
increment
to
the
minimum
structure
size
of
less
than
1:10.
EuroPat v2
Dabei
bietet
es
den
Vorteil
der
Temperaturstabilität
von
Sensoren,
die
in
Dickschichttechnik
hergestellt
werden,
in
Kombination
mit
einer
Strukturauflösung
von
Sensoren,
die
in
Dünnschichttechnik
hergestellt
werden.
Thereby,
it
offers
the
benefit
of
the
temperature
stability
of
sensors
which
are
produced
in
the
thick
layer
technique,
in
combination
with
the
structural
resolution
of
sensors
which
are
produced
in
accordance
with
the
thin
layer
technique.
EuroPat v2
Es
bestand
daher
die
Aufgabe,
ein
positiv
arbeitendes
strahlungsempfindliches
Gemisch
bereitzustellen,
das
sich
in
möglichst
reiner,
einheitlicher
Form
herstellen
läßt,
das
während
unterschiedlicher
"Haltezeiten"
zwischen
Bestrahlung
und
Entwicklung
keine
Änderungen
hinsichtlich
der
Entwicklungszeit
aufzeigt,
d.h.
einen
größeren
Verarbeitungsspielraum
aufweist,
die
Anforderungen
an
eine
hohe
Strukturauflösung
des
entwickelten
Resists
erfüllt
sowie
eine
einheitlich
gute
Entwickelbarkeit
zeigt.
It
is
an
object
of
the
present
invention
to
provide
a
positive
radiation-sensitive
mixture
that
exhibits
no
change
with
respect
to
development
time
during
different
"holding
times"
between
irradiation
and
development
(i.e.,
has
a
large
processing
latitude),
that
provides
high
structural
resolution
of
the
developed
resist
that
is
retained,
even
during
subsequent
processing
steps,
and
that
has
uniformly
good
processability,
both
in
metal-ion-containing
and
metal-ion-free,
aqueous-alkaline
developers.
EuroPat v2
Es
bestand
daher
die
Aufgabe,
ein
positiv
arbeitendes
strahlungsempfindliches
Gemisch
bereitzustellen,
das
sich
in
möglichst
reiner,
einheitlicher
Form
herstellen
läßt,
das
während
unterschiedlicher
"Haltezeiten"
zwischen
Bestrahlung
und
Entwicklung
keine
Änderungen
hinsichtlich
der
Entwicklungszeit
aufzeigt,
d.h.
einen
großen
Verarbeitungsspielraum
aufweist,
die
Anforderungen
an
eine
hohe
Strukturauflösung
des
entwickelten
Resists
erfüllt
und
diese
auch
während
der
folgenden
Prozeßschritte
behält,
sowie
eine
einheitlich
gute
Entwickelbarkeit
sowohl
in
metallionenhaltigen
als
auch
in
metallionenfreien,
wäßrig-alkalischen
Entwicklern
aufweist.
SUMMARY
OF
THE
INVENTION
It
is
therefore
an
object
of
the
present
invention
to
provide
a
positive
radiation-sensitive
mixture
which
exhibits
no
changes
with
respect
to
the
development
time
during
different
"holding
times"
between
irradiation
and
development,
i.e.,
has
a
large
processing
latitude,
meets
the
demands
made
on
high
structural
resolution
of
the
developed
resist
and
retains
this,
even
during
the
subsequent
processing
steps,
and
has
uniformly
good
processability
both
in
metal-ion-containing
and
metal-ion-free,
aqueous-alkaline
developers.
EuroPat v2
Liegt
die
Löslichkeit
unter
0,1
g/l,
so
werden
schwer
entwickelbare
Schichten
erhalten,
deren
Strukturauflösung
schlecht
ist
und
die
zum
"scumming"
neigen.
If
the
solubility
is
less
than
about
0.1
g/1,
coatings
are
obtained
that
are
difficult
to
develop,
whose
structural
resolution
is
poor
and
that
tend
towards
"scumming".
EuroPat v2
Das
beschriebene
strahlungsempfindliche
Gemisch
weist
eine
verbesserte
Lagerfähigkeit
als
der
Stand
der
Technik
und
eine
hohe
Strukturauflösung
auf.
The
radiation-sensitive
mixture
described
has
a
better
shelf
life
than
the
prior
art
products
and
a
high
structural
resolution.
EuroPat v2
Diese
Aufgabe
wird
erfindungsgemäß
dadurch
gelost,
daß
das
Rohmaterial
einer
Kurzzeitquellung
ausgesetzt
wird,
wobei
die
morphologischen
Kornstrukturen
weder
auf
chemischem
noch
mikrobiologischen
Wege
aufgelöst
werden,
das
gequollene
Rohmaterial
in
eine
mit
einem
Spaltkopf
versehene
Hochdruckapparatur
unter
einem
Druck
von
mindestens
10
bar
eingeführt,
unter
der
Einwirkung
von
hohen
Scherkräften
zerkleinert
und
in
die
Atmosphäre
entspannt
wird,
die
notwendig
Strukturauflösung
zweischen
den
Stärkekörnern
und
dem
Protein
erfolgt.
This
object
is
achieved
in
accordance
with
the
invention
by
subjecting
the
raw
material
to
a
brief
steeping
wherein
the
morphological
structures
of
the
grain
are
disrupted
neither
chemically
nor
microbiologically,
by
then
introducing
the
steeped
raw
material
into
a
high-pressure
apparatus
equipped
with
a
splitter
head,
under
a
pressure
of
at
least
10
bar,
fragmenting
it
under
the
action
of
high
shear
forces,
and
relieving
it
into
the
atmosphere,
thereby
achieving
the
necessary
structural
disruption
between
the
starch
grains
and
the
protein.
EuroPat v2
Da
beim
erfindungsgemäßen
Verfahren
nur
eine
Kurzzeitquellung
des
Rohmaterials
vorgenommen
wird
und
die
Strukturauflösung
zwischen
den
Stärkekörnern
und
dem
Protein
unter
der
Wirkung
hoher,
in
der
mit
einem
Spaltkopf
versehenen
Hochdruckapparatur
erzeugter,
mechanischer
Kräfte
erfolgt,
wird
die
Verfahrensdauer
wesentlich
herabgesetzt.
Since
in
the
method
of
the
invention
the
steeping
of
the
raw
material
is
performed
for
only
a
short
length
of
time
and
the
structural
disruption
between
the
starch
grains
and
the
protein
is
accomplished
by
the
action
of
high
mechanical
forces
produced
in
the
high-pressure
apparatus
with
the
splitter
head,
the
length
of
time
involved
in
the
method
is
considerably
reduced.
EuroPat v2
Wird
das
chromatische
Objektiv
zur
Abbildung
verwendet,
kann
entweder
der
Farbsensor
so
positioniert
sein,
dass
eine
Wellenlänge
scharf
abgebildet
wird
und
die
Strukturauflösung
liefert.
If
the
chromatic
lens
is
used
for
imaging,
one
can
either
position
the
colour
sensor
so
that
one
wavelength
is
imaged
in
focus
and
provides
the
structural
resolution.
EuroPat v2
Ein
weiterer
Grund
für
den
Produktivitätsverlust
von
hochauflösenden
Elektronenstrahlschreibern
bei
der
Highend-Maskenherstellung
ist
bedingt
durch
die
immer
stärkere
Vorverzerrung
der
Maskenstruktur
(optical
proximity
correktion
-
OPC),
um
die
Strukturauflösung
hochproduktiver
Scannerobjektive,
deren
Auflösung
bekanntermaßen
beugungsbegrenzt
ist,
zu
verbessern.
Another
reason
for
reduced
productivity
in
high-resolution
electron
beam
writers
in
high-end
mask
fabrication
is
the
increasing
degree
of
pre-distortion
of
the
mask
structure
(optical
proximity
correction—OPC)
to
improve
the
structure
resolution
of
high-productivity
scanner
objectives
whose
resolution,
as
is
well-known,
is
diffraction-limited.
EuroPat v2
Die
Strukturauflösung
berücksichtigt
den
gesamten
Prozess
bis
und
mit
Strukturierung
der
HRI-Schicht,
wobei
sich
je
nach
Prozessführung
und
verwendeten
Materialien,
wie
beispielsweise
Drucklacke,
deutliche
Unterschiede
ergeben
können.
The
structure
resolution
takes
account
of
the
entire
process
up
to
and
including
structuring
of
the
HRI
layer,
wherein
significant
differences
may
result,
depending
on
the
process
control
and
the
materials
used,
such
as,
for
example,
printing
varnishes.
EuroPat v2
Ferner
führt
die
Unterätzung,
deren
Grad
bei
dickeren
Schichten
zunimmt,
auch
dazu,
dass
die
Strukturauflösung
zerstört
wird
bzw.
die
Gitterstegbreiten
verloren
gehen.
In
addition,
undercutting,
the
level
of
which
increases
with
thicker
layers,
also
leads
to
the
structural
resolution
being
destroyed
or
the
width
of
the
ligands
being
lost.
EuroPat v2
Das
erste
Bild
gibt
mit
scharfer
Abbildung
die
Strukturauflösung,
die
folgenden
Bilder
tragen
zur
Farbbestimmung
bei.
The
first
image
will
provide
the
structural
resolution
in
a
sharp
picture,
while
the
following
images
contribute
to
the
colour
determination.
EuroPat v2
Somit
sind
durch
Verwendung
einer
Vielzahl
von
Pixeln
Displays
möglich,
die
Bilder
und
dergleichen
mit
einer
hohen
Farb-und/oder
Strukturauflösung
darstellen
können.
Therefore,
with
the
use
of
a
plurality
of
pixels,
displays
are
possible
which
can
display
images,
and
with
a
high
color
and/or
structure
resolution.
EuroPat v2
Es
ist
daher
Aufgabe
der
vorliegenden
Erfindung,
ein
Sicherheitselement
bereitzustellen,
welches
eine
hohe
Strukturauflösung
aufweist
sowie
eine
hohe
Komplexität
im
Design
erlaubt
und
gleichzeitig
in
einfacher
Weise
hergestellt
werden
kann.
SUMMARY
It
is
hence
the
object
of
the
present
invention
to
provide
a
security
element
that
has
a
high
structure
resolution
and
allows
a
high
complexity
in
design
while
simultaneously
being
manufacturable
in
a
simple
manner.
EuroPat v2