Translation of "Strahlablenker" in English
Die
verschiedenartigen
Strahlablenker
sind
im
Handel
erhältlich.
Beam
deflectors
of
various
kinds
are
commercially
available.
EuroPat v2
Im
Hohlraum
35
dient
die
Biegezunge
10
als
Strahlablenker.
The
flexible
tongue
10
is
used
as
stream
deflector
in
the
cavity
35.
EuroPat v2
Der
Strahlablenker
schwingt
dann
nicht
mehr
um
seine
Ruhelage.
The
beam
deflector
then
no
longer
oscillates
about
its
position
of
equilibrium.
EuroPat v2
Hiermit
ist
es
möglich,
die
Kammblende
11
als
Strahlablenker
einzusetzen.
Consequently,
it
is
possible
to
use
the
comb
electrode
11
as
a
beam
deflector.
EuroPat v2
Ventil
nach
einem
der
vorhergehenden
Ansprüche,
dadurch
gekennzeichnet,
daß
die
Biegezunge
(10)
in
Flußrichtung
des
Fluidstroms
oder
Fluidstrahls
orientiert
ist,
so
daß
der
Fluidstrom
oder
Fluidstrahl
entlang
der
Biegezunge
(10)
geführt
wird
in
Richtung
der
Spitze
(11)
und
daß
die
ausgelenkte
Biegezunge
(10)
als
Strahlablenker
dient.
A
valve
in
accordance
with
claim
1
characterized
in
that
flexible
tongue
(10)
is
oriented
in
the
flow
direction
of
the
fluid
flow
or
fluid
stream,
so
that
the
fluid
flow
or
fluid
stream
is
guided
along
the
flexible
tongue
(10)
in
the
direction
towards
the
tip
(11)
and
that
the
deflected
flexible
tongue
(10)
is
used
a
stream
deflector.
EuroPat v2
Diese
Aufgabe
wird
gemäß
dem
Kennzeichen
des
Hauptanspruches
dadurch
gelöst,
daß
der
Laserstrahl
vor
Eintritt
in
die
Gelenkoptik
über
ein
die
Strahlrichtung
mit
kleiner
Amplitude
modulierendes,
optisches
Element
geführt,
ein
Teil
der
Laserstrahlung
auf
einen
am
Ausgang
der
Gelenkoptik
angeordneten,
positionsempfindlichen
Detektor
gerichtet
und
feine
Schaltung
vorgesehen
ist,
der
das
Signal
des
Detektors
zur
Bildung
eines
Regelsignals
für
einen
am
Eingang
der
Gelenkoptik
angeordneten,
steuerbaren
Strahlablenker
zugeführt
ist.
This
object
is
achieved
by
the
invention
in
that
the
laser
beam,
prior
to
entering
the
articulated
optical
system,
is
directed
via
an
optical
member
modulating
the
direction
of
the
beam
with
a
small
amplitude,
in
that
part
of
the
laser
beam
is
directed
to
a
position-sensitive
detector
arranged
on
the
output
side
of
the
articulated
optical
system,
and
in
that
a
circuit
is
provided
which
receives
the
detector
signal
for
generating
a
control
signal
which
is
applied
to
a
controllable
beam
deflector
arranged
on
the
input
side
of
the
articulated
optical
system.
EuroPat v2
Die
Vorrichtung
besitzt
als
Lichtquelle
einen
Laser
1,
dessen
scharf
gebündelter
Lichtstrahl
in
einen
Strahlablenker
2
fällt.
As
a
light
source,
the
device
has
a
laser
1
whose
sharply
concentrated
light
beam
strikes
a
beam
deflector
2.
EuroPat v2
Im
Bereich
des
Gehäuses
2
für
den
Laser
4
ist
dessen
Strahl
über
einen
Umlenkspiegel
5
sowie
über
einen
am
Ausgang
des
Gehäuses
1
angeordneten
Strahlablenker
in
Form
eines
Stellspiegels
6
geführt,
dessen
Ablenkwinkel
durch
ein
piezoelektrisches
Biegeelement
9,
das
die
Spiegel
fläche
7
mit
seiner
Halterung
8
verbindet,
in
einem
kleinen
Winkelbereich
verstellt
werden
kann.
Within
the
housing
2
of
laser
4,
the
laser
beam
is
guided
via
a
deflection
mirror
5
as
well
as
via
a
beam
deflector
in
the
form
of
an
adjustable
mirror
6
arranged
at
the
output
of
the
housing
2.
The
angle
of
deflection
of
the
mirror
6
is
adjustable
in
a
small
angular
range
by
a
piezoelectric
bending
element
9
connecting
the
mirror
face
7
with
its
mount
8.
EuroPat v2
Teilchenoptische
Anordnung
nach
einem
der
Ansprüche
1
bis
4,
wobei
die
Strahlführungsanordnung
wenigstens
einen
Strahlablenker
umfasst,
um
die
Orte,
an
denen
die
Strahlen
in
die
Strahlumformungsanordnung
eintreten,
in
der
ersten
Richtung
zu
verlagern.
The
particle-optical
arrangement
according
to
claim
1,
wherein
the
beam
guiding
arrangement
comprises
at
least
one
beam
deflector
for
displacing
positions
where
the
beams
enter
the
beam
changing
arrangement
in
the
first
direction.
EuroPat v2
Bei
der
Orientierung
der
Biegezunge
in
Flußrichtung
des
Fluidstroms
oder
Fluidstrahls
läßt
sich
die
Biegezunge
vorteilhaft
als
Strahlablenker
einsetzen.
When
orienting
the
flexible
tongue
opposite
the
flow
direction
of
the
fluid
flow
or
fluid
stream,
the
flexible
tongue
can
be
used
advantageously
as
a
stream
deflector.
EuroPat v2
Die
mit
Hilfe
eines
oder
mehrerer
Strahlablenker
ausgewählte
Blendenöffnung
der
Mehrfachblende
bestimmt
hier
jedoch
die
Größe
des
Leuchtfeldes
auf
dem
Objekt.
The
diaphragm
aperture
of
the
multiple
diaphragm
is
selected
with
the
aid
of
one
or
several
beam
deflectors
and
determines
here
the
size
of
the
illuminating
field
on
the
object.
EuroPat v2
Die
Erfindung
bezieht
sich
auf
ein
Verfahren
zur
berührungslosen
Abstands-
oder
Dickenmessung,
bei
dem
ein
von
einer
Lichtquelle
erzeugtes
scharf
gebündeltes
Lichtstrahlbündel
durch
einen
Strahlablenker
periodisch
über
einen
Messraum
ausgelenkt
wird,
bei
dem
die
Zeitdifferenz
zwischen
einem
Bezugs-
und
mindestens
einem
Messsignal
ein
Mass
für
den
Abstand
oder
die
Dicke
darstellt
und
bei
dem
die
Zeitdifferenz
zwischen
einem
Referenz-
und
dem
Bezugssignal
sowie
zwischen
dem
Bezugs-
und
einem
ersten
Ablenksignal
durch
Vergleich
mit
zwei
vorgebbaren
festen
Zeitdifferenzen
zur
Regelung
der
Ablenkfrequenz
und
der
Ablenkamplitude
des
Lichtstrahlbündels
verwendet
werden.
The
invention
relates
to
a
method
for
contact-free
interval
or
thickness
measurement
in
which
a
sharply
concentrated
light
ray
beam
generated
by
a
light
source
is
periodically
deflected
by
means
of
a
beam
deflector
over
a
measuring
space.
A
time
difference
between
a
standard
and
at
least
one
measuring
signal
represents
a
measure
of
the
interval
or
the
thickness,
and
in
which
the
time
difference
between
a
reference
signal
and
the
standard
signal
as
well
as
between
the
standard
signal
and
a
first
deflection
signal
is
employed
by
means
of
comparison
with
two
given
fixed
time
differences
for
the
control
of
the
deflection
frequency
and
the
deflection
amplitude
of
the
light
ray
beam.
EuroPat v2
Es
hat
sich
jedoch
gezeigt,
dass
sich
wegen
thermischer
Einflüsse
auf
den
Strahlablenker
und
auf
die
Lichtquelle
die
Richtung
des
Lichtstrahlbündels
ändern
kann.
It
has
been
proven,
however,
that
because
of
thermal
influences
of
the
beam
deflector
and
on
the
light
source,
the
direction
of
the
light
ray
beam
can
change.
EuroPat v2
Die
Richtung
des
Lichtstrahlbündels
mit
optomechanischen
Maßmahmen
im
Strahlablenker
und
in
der
Lichtquelle
kon
stant
zu
halten,
würde
einen
unvertretbar
hohen
Aufwand
erfordern.
To
hold
the
direction
of
the
light
ray
beam
constant
with
opto-mechanical
techniques
in
the
beam
deflector
and
in
the
light
source
would
require
an
unjustifiable
expense.
EuroPat v2
Der
von
dem
Generator
an
den
Strahlablenker
angelegten
Wechselspannung
zur
Erzeugung
der
gewünschten
Ablenkfrequenz
wird
auf
diese
Art
eine
Gleichspannung
überlagert.
The
AC
voltage
for
generating
the
desired
deflection
frequency
applied
by
the
generator
to
the
beam
deflector
is
superimposed
with
a
DC
voltage
in
this
manner.
EuroPat v2
Für
grössere
Abweichungen
besteht
eine
besonders
günstige
Ausführungsform
darin,
dass
die
Ausgangsspannung
des
Differenzverstärkers
einem
Motorpotentiometer
zugeführt
ist,
dessen
veränderbarer
Mittenabgriff
mit
dem
piezokeramischen
Strahlablenker
verbunden
ist.
A
particularly
favorable
embodiment
for
larger
deviations
is
that
the
output
voltage
of
the
differential
amplifier
is
supplied
to
a
motor
potentiometer
whose
changeable
center
tap
is
connected
to
the
piezo-ceramic
beam
deflector.
EuroPat v2
Durch
Regelung
dieser
Zeitdifferenz
auf
eine
vorgegebene
feste
Zeitdifferenz
wird
der
Strahlablenker
2
in
der
Resonanzfrequenz
gehalten.
By
controlling
this
time
difference
to
a
prescribed,
fixed
time
difference,
the
beam
deflector
2
is
held
at
the
resonant
frequency.
EuroPat v2
Die
Richtung
des
Lichtstrahlbündels
mit
optomechanischen
Massnahmen
im
Strahlablenker
und
in
der
Lichtquelle
konstant
zu
halten,
würde
einen
unvertretbar
hohen
Aufwand
erfordern.
To
hold
the
direction
of
the
light
ray
beam
constant
with
opto-mechanical
techniques
in
the
beam
deflector
and
in
the
light
source
would
require
an
unjustifiable
expense.
EuroPat v2
Der
veränderbare
Mittenabgriff
19
des
Potentiometers
ist
auf
den
Strahlablenker
2
geschaltet,
so
dass
im
Falle
einer
Abweichung
die
im
Motorpotentiometer
erzeugte
Korrekturspannung
der
Wechselspannung
des
Generators
6
überlagert
wird.
The
changeable
center
tap
19
of
the
potentiometer
is
connected
to
the
beam
deflector
2
so
that
the
correction
voltage
generated
in
the
motor
potentiometer
is
superimposed
on
the
AC
voltage
of
the
generator
6
in
the
case
of
a
deviation.
EuroPat v2
Ähnlich
weist
das
Elektronenmikroskopiesystem
Strahlablenker
für
den
Elektronenstrahl
auf,
welche
typischerweise
in
der
Objektivlinse
angeordnet
und
in
Figur
1
nicht
dargestellt
sind.
Similarly,
the
electron
microscopy
system
comprises
beam
deflectors
for
the
electron
beam
which
are
typically
arranged
inside
the
objective
lens
and
which
are
not
illustrated
in
FIG.
1
.
EuroPat v2
Das
Ionenstrahlbearbeitungssystem
weist,
wie
in
Figur
1
dargestellt,
Strahlablenker
71
auf,
um
den
Ionenstrahl
aus
der
Hauptachse
9
des
Ionenstrahlbearbeitungssystems
7
auszulenken,
so
daß
der
Ionenstrahl
17
an
Orten
auf
die
Oberfläche
15
des
Objekts
13
auftreffen
kann,
welche
von
dem
Schnittpunkt
11
der
Hauptachse
9
des
Ionenstrahlbearbeitungssystems
7
und
der
Ebene
15
verschieden
sind.
As
illustrated
in
FIG.
1,
the
ion
beam
processing
system
comprises
a
beam
deflector
71
to
deflect
the
ion
beam
from
the
principal
axis
9
of
the
ion
beam
processing
system
7
so
that
the
ion
beam
17
may
impinge
on
locations
at
the
surface
15
of
the
object
13
which
are
different
from
the
intersection
point
11
of
the
principal
axis
9
of
the
ion
beam
processing
system
7
and
the
surface
15
.
EuroPat v2
In
den
Figuren
2,
3,
5
und
6
sind
mit
den
Bezugszeichen
17a
bis
17d
jedoch
jeweils
Ionenstrahlen
bezeichnet,
welche
nicht
durch
Ansteuerung
der
Strahlablenker
von
der
Hauptachse
9
versetzt
sein
sollen,
sondern
lediglich
durch
die
Einwirkung
des
aus
der
Objektivlinse
des
Elektronenmikroskopiesystems
austretenden
Feldes
von
der
Hauptachse
9
abgelenkt
sind.
In
FIGS.
2,
3,
5
and
6
however
ion
beams
are
respectively
denoted
by
reference
signs
17
a
to
17
d
which
are
not
shifted
by
controlling
the
beam
deflector
from
the
principal
axis
9,
but
are
merely
deflected
from
the
principal
axis
9
due
to
the
effect
of
the
field
escaping
from
the
objective
lens
of
the
electron
microscopy
system.
EuroPat v2
Bei
einer
weiteren
Ausführungsform
sieht
die
Erfindung
im
Hinblick
auf
eine
Einstellung
der
Primärelektronenenergie
über
einen
vergleichsweise
großen
Energiebereich
vor,
dass
die
Strahlführungsanordnung
im
Strahlengang
des
Primärelektronenstrahls
zwei
mit
Abstand
voneinander
angeordnete
Strahlablenker
aufweist,
welche
jeweils
einen
einstellbaren
Ablenkwinkel
des
Primärelektronenstrahls
hervorrufen.
In
order
to
provide
an
adjustment
of
the
primary
electron
energy
over
a
relatively
large
energy
range,
the
beam
guiding
arrangement
comprises,
according
to
a
further
embodiment
of
the
invention,
two
beam
deflectors
disposed
spaced
apart
from
each
other
in
the
beam
path
of
the
primary
electron
beam,
each
of
which
provides
an
adjustable
deflection
angle
of
the
primary
electron
beam.
EuroPat v2
Dadurch
kann
auf
die
Verwendung
der
Strahlablenker
38
verzichtet
werden
und
der
Anteil
nicht
nutzbarer
Laserstrahlung
22
bleibt
verschwindend
gering.
Therefore,
beam
deflectors
38
can
be
omitted
and
the
proportion
of
unusable
laser
radiation
22
is
vanishingly
small.
EuroPat v2