Translation of "Stapelfehler" in English
Die
Pfeile
markieren
Stapelfehler
und
Zwillingsgrenzen.
The
arrows
indicate
stacking
faults
and
twin
boundaries.
ParaCrawl v7.1
Letztere
lassen
Rückschlüsse
auf
Defekte,
insbesondere
Stapelfehler
in
der
Basalebene
zu.
The
latter
allow
to
conclude
on
defects,
in
particular
stacking-faults
in
the
basal
plane.
EuroPat v2
Auch
lassen
sich
mittels
des
Bondens
die
Anzahl
der
Stapelfehler
verringern.
The
number
of
stacking
errors
can
also
be
reduced
by
means
of
the
bonding.
EuroPat v2
Die
Einzelkorn-Daten
zeigen,
daß
Stapelfehler
als
Vorläufer
des
Martensits
auftauchen.
The
single-grain
data
indicated
that
stacking
faults
appear
as
precursors
to
the
martensite.
ParaCrawl v7.1
Stapelfehler
kann
man
sich
als
Verschiebung
in
regelmäßig
aufeinandergestapelten
Atomlagen
vorstellen.
Stacking
faults
can
be
visualized
as
a
shift
in
the
neatly
arranged
layers
of
atoms.
ParaCrawl v7.1
Stapelfehler
können
die
Ursache
sein,
genauso
wie
eine
Ausrüstung,
die
alt
oder
beschädigt
ist.
Stacking
errors
can
also
be
a
cause
of
the
problem,
together
with
old
or
damaged
equipment.
Europarl v8
Auch
lassen
sich
mittels
des
Bondens
die
Anzahl
der
Stapelfehler
bei
den
dicken
n<->-Schichten
verringern.
The
number
of
stacking
faults
in
the
thick
n?-layers
can
also
be
reduced
by
means
of
the
bonding.
EuroPat v2
Es
bilden
sich
daher
Kristallfehler
in
der
Epitaxieschicht
aus
(z.B.
durch
Stapelfehler).
As
a
result,
crystal
faults
form
in
the
epitaxy
layer
(for
instance
due
to
stacking
faults).
EuroPat v2
Die
rauhe
Übergangszone
mit
ihren
Inseln
stellt
Keime
für
die
Bildung
von
Gitterdefekten,
insbesondere
Stapelfehler
und
Versetzungen,
bei
der
späteren
Rekristallisation
dar.
The
rough
interface
zone
with
its
islands
represents
nuclei
for
the
formation
of
lattice
defects,
particularly
stacking
faults
and
dislocation
loops,
during
subsequent
recrystallization.
EuroPat v2
Die
Stapelfehler
lassen
sich
nach
der
Oxydation
der
Scheiben
durch
Secco-Ätzen
(2
Volumenteile
40gewichtsprozentiger,
wässriger
Flusssäure
und
1
Volumenteil
0,15
molarer,
wässriger
Kaliumbichromatlösung)
sichtbar
machen
und
unter
dem
Mikroskop
auszählen.
Stacking
faults
may
be
made
visible
after
the
oxidation
of
the
discs
by
secco-etching
(2
parts
by
vol.
of
40%
aqueous
hydrofluoric
acid
and
1
vol.
part
of
0.15
molar,
aqueous
potassium
bichromate
solution)
and
they
can
then
be
counted
under
the
microscope.
EuroPat v2
Die
aufgewirbelten
Körner
werden
durch
den
Gasstrom
ständig
an
der
Oberfläche
der
in
der
Prozesshorde
5
aufgereihten
Halbleiterscheiben
entlang
bewegt
und
erzeugen
somit
eine
grosse
Anzahl
feinster
Kratzer
im
Bereich
von
deutlich
unter
1
µm,
in
der
Regel
etwa
um
0,1
um,
durch
die
bei
anschliessender
Oxydation
bei
der
Fertigung
von
Bauelementen,
Stapelfehler
induziert
werden,
die
eine
ausserordentlich
stark
getternde
Wirkung
auf
Punktdefekte
aller
Art
aufweisen.
The
whirling
grains
are
moved
steadily
along
the
surface
of
the
rows
of
semiconductor
discs
in
the
processing
tray
5
where
they
may,
depending
on
the
size
of
the
grains,
produce
a
large
number
of
very
fine
scratches,
in
the
range
clearly
below
1
?m
and
most
of
the
time
about
0.1
?m.
This
fluidized
bed
treatment
causes,
by
the
subsequent
oxidation
in
the
manufacture
of
the
structural
elements,
the
inducement
of
stacking
faults,
which
have
an
exceedingly
strong
gettering
effect
on
point
defects
of
all
kinds.
EuroPat v2
Die
Stapelfehler
in
der
Scheibenrückseite
sind
dabei
sehr
beständig
und
verlieren
ihre
Wirksamkeit
auch
nach
zahlreichen
Oxydationsschritten
innerhalb
der
angegebenen
Temperaturgranzen
nicht.
The
stacking
faults
on
the
rear
side
of
the
discs
are
very
stable
and
do
not
lose
their
effectiveness
even
after
numerous
oxidation
steps
within
the
indicated
temperature
range.
EuroPat v2
Die
Länge
der
Stapelfehler
war
offensichtlich
durch
die
Chlorbeimengung
auf
4
bis
6
µm
reduziert,
jedoch
wurden
auch
hier
Punktdefekte
absolut
vollständig
abgesaugt.
The
lengths
of
the
stacking
faults
were
obviously
reduced
by
the
chlorine
admixture
to
4-6
?m,
but
in
this
case
as
well,
point
defect
removal
was
complete.
EuroPat v2
Darüber
hinaus
ist
bei
der
Beschädigung
der
Rückseite
der
Halbleiterscheibe
durch
in
bezug
auf
Größe
und
Richtung
nahezu
undefinierte
Krafteinwirkung
nicht
zu
vermeiden,
daß
die
induzierten
Stapelfehler
inhomogen
verteilt
sind
und
elektronische
Bauelemente
ausfallen,
weil
die
Wirkung
des
Getter-Effekts
in
ihrer
Umgebung
mangelhaft
ist.
In
addition,
when
the
back
of
the
semiconductor
wafer
is
damaged
by
the
action
of
force
which
is
virtually
undefined
in
relation
to
its
magnitude
and
its
direction,
it
is
unavoidable
that
the
induced
stacking
faults
are
inhomogeneously
distributed
and
electronic
components
fail
because
the
action
of
the
getter
effect
in
their
environment
is
inadequate.
EuroPat v2
Die
vorliegende
Erfindung
hat
zur
Aufgabe,
ein
Damage-Verfahren
anzugeben,
bei
dem
die
induzierten
Stapelfehler
homogen
verteilt
sind
und
eine
zur
Generierung
unerwünschter
Partikel
führende
Aufrauhung
der
Rückseite
der
Halbleiterscheibe
vermieden
wird.
It
is
an
object
of
the
present
invention
to
provide
a
damage
method
in
which
the
induced
stacking
faults
are
homogeneously
distributed
and
in
which
a
roughening
of
the
back
of
the
semiconductor
wafer
results
in
preventing
the
generation
of
undesirable
particles.
EuroPat v2
Die
induzierten
Stapelfehler,
die
homogen
verteilt
sind,
werden
erst
nach
einer
Testoxidation
und
dem
Anätzen
der
Rückseite
sichtbar.
The
induced
stacking
faults,
which
are
homogeneously
distributed,
only
become
visible
after
a
test
oxidation
and
the
incipient
etching
of
the
back.
EuroPat v2
Bei
diesem
Aufzeichnungsträgerrückzug
führt
die
Schrägstellung
der
äußeren
Andruckrollen
nun
aber
zu
einem
Zusammenschieben
des
Aufzeichnungsträgers
zwischen
den
Andruckrollen,
was
beim
nächsten
Druckstart
einen
Stapelfehler
verursachen
kann.
During
this
drawing-back
of
the
recording
medium,
however,
the
oblique
setting
of
the
outer
pressure
rollers
now
leads
to
the
recording
medium
being
pushed
together
between
the
pressure
rollers,
which
can
cause
faulty
stacking
at
the
next
start-up
of
printing.
EuroPat v2
Wesentlich
für
die
Qualität
der
erzeugten
Bänder
und
damit
für
ihre
elektrischen
Eigenschaften
ist
eine
möglichst
geringe
Konzentration
von
Kristallfehlern
wie
Korngrenzen,
Stapelfehler,
Versetzung
und
Punktdefekte.
To
produce
tapes
of
satisfactory
quality
and
hence
electrical
properties,
it
is
essential
to
achieve
as
low
as
possible
a
concentration
of
crystal
faults,
such
as
grain
boundaries,
stacking
faults,
dislocations
and
point
defects.
EuroPat v2
Damit
solche
Stapelfehler
nicht
zu
einer
Behinderung
der
Sammelvorrichtung
führen
können
und
damit
die
neu
gebildeten
Stapel
möglichst
fehlerfrei
sind,
werden
die
aufgenommenen
und
abzusetzenden
Gegenstände
so
gerichtet,
dass
ihre
Begrenzungsflächen
jeweils
in
derselben
Ebene
liegen.
In
order
that
such
stacking
defects
cannot
lead
to
any
hindrance
to
the
collecting
device
and
therefore
the
newly
formed
stacks
are
as
free
of
defects
as
possible,
the
objects
picked
up
and
to
be
set
down
are
aligned
in
such
a
way
that
their
boundary
surfaces
in
each
case
lie
in
the
same
plane.
EuroPat v2
An
einem
solchen
Stapelfehler
kann
eine
Kristallstruktur
umklappen,
sodass
sich
die
Kristallebenen
ab
der
Verschiebung
genau
in
umgekehrter
Reihenfolge
stapeln.
A
crystal
structure
can
fold
at
a
stacking
fault,
causing
the
crystal
layers
to
stack
up
in
exactly
the
opposite
order
starting
at
the
shift.
ParaCrawl v7.1
Da
wie
beschrieben
Fremdsubstrate
als
Ausgangspunkt
zu
verwenden
sind,
ergibt
sich
aber
gerade
in
jenen
Fällen
verstärkt
das
Problem,
dass
Stapelfehler
usw.
auftreten
können.
Since,
however,
as
described
above,
foreign
substrates
have
to
be
used
as
a
start
material,
the
problem
arises
just
in
these
cases,
that
stacking-faults,
etc.
may
occur.
EuroPat v2
An
einem
solchen
Stapelfehler
kann
eine
Kristallstruktur
umklappen,
so
dass
sich
die
Kristallebenen
ab
der
Verschiebung
genau
in
umgekehrter
Reihenfolge
stapeln.
A
crystal
structure
can
shear
at
such
a
stacking
fault,
whereby
the
crystal
planes
are
stacked
in
exactly
the
reverse
order
starting
at
the
dislocation.
EuroPat v2
Dabei
kann
es
möglich
sein,
dass
die
Volumenstruktur
der
ersten
Verkapselungsschicht
beispielsweise
Struktur-
und/oder
Gitterfehler
163
wie
etwa
Versetzungen,
Korngrenzen
und/oder
Stapelfehler
aufweist.
In
this
case,
it
can
be
possible
for
the
volume
structure
of
the
first
encapsulation
layer
to
have,
for
example,
structural
and/or
lattice
defects
163
such
as,
for
example,
dislocations,
grain
boundaries
and/or
stacking
faults.
EuroPat v2
Es
wird
aber
andererseits
als
negativ
und
problematisch
hervorgehoben,
dass
die
SiN
x
-Abscheidung
direkt
auf
oder
in
der
Nähe
der
AlN-Nukleationsschicht
stark
kompressiv
verspannte
GaN-Schichten
erzeugte
und
zur
Schichtmissbildung
-
sogenannter
stackingfaults
(Stapelfehler),
die
im
Transmissionselektronenmikroskop
sichtbar
waren
und
ferner
mit
einer
Verbreiterung
der
D
0
X-Linienbreite
und
der
Röntgenpeaks
einherging
-
führte
und
daher
zur
Vermeidung
solcher
Probleme
eine
zweite
SiN
x
-Maske
nach
1,5µm
zur
Abschirmung
der
Defekte
abgeschieden
wurde.
On
the
other
hand,
it
is
being
stressed
as
negative
and
problematic
that
the
deposition
of
SiN
x
directly
on
or
in
the
vicinity
of
the
AlN
nucleation
layer
produced
strongly
compressively
stressed
GaN
layers
and
led
to
layer
deformity—so-called
stacking
faults,
which
were
visible
in
the
transmission
electron
microscope
and
which
were
further
accompanied
by
a
broadening
of
the
D
0
X
line
width
and
the
X-ray
peaks.
Therefore,
for
avoiding
such
problems,
a
second
SiN
x
mask
was
deposited
after
1.5
?m
for
the
screening
of
the
defects.
EuroPat v2
Auch
lassen
sich
mittels
des
Bondens
die
Anzahl
der
Stapelfehler
bei
den
dicken
n
-
-Schichten
verringern.
The
number
of
stack
errors
in
the
thick
n
?
layers
may
also
be
reduced
with
the
aid
of
the
bonding.
EuroPat v2
Es
hat
sich
gezeigt,
dass
die
zuvor
genannten
Verfahren
zu
Polysilicium
führen,
das
beim
Kristallziehen
aufgrund
des
niedrigen
Chlorgehalts
zwar
Spritzeffekte
vermeidet,
jedoch
teilweise
Stapelfehler
verursacht.
It
has
been
found
that
the
aforementioned
processes
lead
to
polysilicon
which
avoids
spattering
effects
in
the
course
of
crystal
pulling
owing
to
the
low
chlorine
content,
but
causes
some
stacking
faults.
EuroPat v2
Würde
nämlich
zumindest
ein
Teil
des
Epitaxiewachstum
auf
dem
Silizium
zwischen
den
Gitterstegen
während
der
Umlagerung
beginnen,
so
könnten
dadurch
Kristallfehler
entstehen,
die
sich
in
der
Membranschicht
weiterpflanzen
würden,
bspw.
als
Stapelfehler.
For
if
at
least
a
portion
of
the
epitaxial
growth
were
to
begin
on
the
silicon
between
the
lattice
webs
during
the
relocation,
this
might
cause
crystal
faults,
which
would
propagate
in
the
membrane
layer,
for
example
as
stack
faults.
EuroPat v2
Tritt
auf,
wenn
sich
die
Abfolge
der
Kristall-ebenen
an
einem
Stapelfehler
umkehrt
–
etwa
von
ABC
in
CBA.
Occurs
when
the
order
of
the
crystal
layers
is
reversed
at
a
stacking
fault
–
for
example
from
ABC
to
CBA.
ParaCrawl v7.1
Auch
hier
reichzt
die
Palette
von
Punktdefekten
(Leerstellen,
Interstitials
=
Atome
auf
Zwischengitterplätzen)
über
Liniendefekte
(Versetzungslinien
von
verschiedenen
Versetzungstypen)
zu
den
Flächendefekten
(Gleitungen,
Stapelfehler,
Mikrorupturen).
Here
the
range
covers
from
point
defects
(vacancies,
interstitials
=
atoms
on
interstitial
sites)
over
line
defects
(dislocation
lines
of
different
dislocation
types)
up
to
area
defects
(plastic
shear,
stacking
faults,
microcracks)
ParaCrawl v7.1
Die
geometrischen
Abmessungen
können
nach
eigenem
Ermessen
gewählt
werden,
aber
mit
Fliesen
30x30
cm,
45x45
cm
oder
die
Arbeit
33,3h33,3
sehen
bewegen
sich
schneller
und
die
möglichen
Stapelfehler
sind
nicht
so
stark
bemerkbar.
The
geometric
dimensions
can
be
chosen
at
its
discretion,
but
with
tiles
30x30
cm,
45x45
cm
or
33,3h33,3
see
the
work
will
move
faster
and
the
possible
stacking
faults
are
not
as
noticeable.
ParaCrawl v7.1