Translation of "Siliziumoxid" in English
Als
Substanzen
werden
Siliziunidioxid,
Siliziumoxid
oder
Natron-Kalk-Fensterglas
verwendet.
Silicon
dioxide,
silicon
oxide
or
soda-lime
window
glass
are
used
as
substances.
EuroPat v2
Darüber
wird
eine
Doppelschicht
aus
Siliziumoxid
3
und
Polysilizium
8
abgeschieden.
A
double
layer
of
silicon
oxide
3
and
polysilicon
8
is
deposited
on
the
etch
stop
layer
2.
EuroPat v2
Verfahren
nach
Anspruch
2,
dadurch
gekennzeichnet,
daß
das
Oxid
Siliziumoxid
ist.
The
method
according
to
claim
2,
wherein
the
oxide
is
silicon
dioxide.
EuroPat v2
Speicherzellenanordnung
nach
Anspruch
7,
dadurch
gekennzeichnet,
dass
das
Oxid
Siliziumoxid
ist.
The
memory
cell
configuration
according
to
claim
7,
wherein
said
oxide
is
silicon
oxide.
EuroPat v2
Ein
bevorzugtes
Oxid
ist
beispielsweise
Siliziumoxid
(SiO
2).
A
preferred
oxide
is,
for
example,
silicon
dioxide
(SiO2).
EuroPat v2
Ein
bevorzugtes
Oxid
ist
beispielsweise
Siliziumoxid
(SiO
x).
One
preferred
oxide
is,
for
example,
silicon
oxide
(SiO
x).
EuroPat v2
Die
Maskierschicht
kann
aus
Aluminium,
die
Ätzstoppschicht
aus
Siliziumoxid
gebildet
werden.
The
mask
layer
may
be
of
aluminum,
and
the
etch
stop
layer
of
silicon
oxide.
EuroPat v2
Die
weitere
Isolation
8
besteht
aus
einer
Passivierung
aus
Siliziumoxid
und
-nitrid.
The
further
insulation
8
is
formed
of
a
passivation
layer
of
silicon
oxide
and
silicon
nitride.
EuroPat v2
Als
Kondensatordielektrikum
wird
beispielsweise
Siliziumoxid
(SiO
2)
verwendet.
Silicon
oxide
(SiO
2)
is
used,
for
example,
as
the
capacitor
dielectric.
EuroPat v2
Dieses
Siliziumoxid
kondensiert
an
der
weiter
oben
im
Schacht
befindlichen
relativ
kalten
Kohle.
This
silicon
oxide
condenses
on
the
relatively
cool
coal
located
farther
up
the
shaft.
EuroPat v2
Die
Isolationsschicht
6
kann
aus
Siliziumoxid
oder
-Nitrid
bestehen.
The
insulation
layer
6
may
consist
of
silicon
oxide
or
nitride.
EuroPat v2
Die
erste
dielektrische
Schicht
kann
beispielsweise
Siliziumoxid
oder
Siliziumnitrid
enthalten.
The
first
dielectric
layer
8
may
contain
silicon
oxide
or
silicon
nitride,
for
example.
EuroPat v2
Alle
Photolacke
werden
nach
der
Übertragung
der
Photomaske
in
das
Siliziumoxid
wieder
entfernt.
All
the
photoresists
are
removed
again
after
the
photomask
has
been
transferred
into
the
silicon
oxide.
EuroPat v2
Das
Entstehen
von
Siliziumoxid
sollte
durch
eine
geeignete
Prozessführung
vermieden
werden.
The
production
of
silicon
oxide
should
be
avoided
by
a
suitable
process
control.
EuroPat v2
Als
Adsorptionsmittel
wird
vorzugsweise
Aluminiumoxid,
Siliziumoxid
oder
Kohle
eingesetzt.
Aluminium
oxide,
silicon
oxide
or
charcoal
are
preferably
used
as
adsorbents.
EuroPat v2
Hierbei
spielt
Siliziumoxid
als
Beschichtungsmaterial
eine
besondere
Rolle.
Herein
silicon
oxide
plays
a
special
role
as
coating
material.
EuroPat v2
Das
Dielektrikum
kann
aus
Siliziumoxid
und/oder
Siliziumnitrid
gebildet
sein.
The
dielectric
may
be
formed
of
silicon
oxide
and/or
silicon
nitride.
EuroPat v2
Eine
derartige
Schicht
kann
aus
Siliziumoxid
und/oder
Siliziumnitrid
gebildet
sein.
Such
a
layer
may
be
formed
of
silicon
oxide
and/or
silicon
nitride.
EuroPat v2
Die
Hartmaske
kann
Siliziumnitrid,
Siliziumoxinitrid
oder
Siliziumoxid
aufweisen.
The
hard
mask
can
contain
silicon
nitride,
silicon
oxynitride
or
silicon
oxide.
EuroPat v2
Die
zweite
dielektrische
Schicht
10
kann
ebenfalls
Siliziumoxid
oder
Siliziumnitrid
enthalten.
The
second
dielectric
layer
10
may
likewise
contain
silicon
oxide
or
silicon
nitride.
EuroPat v2
Als
geeignete
Materialien
kommen
Siliziumoxid,
Siliziumnitrid
oder
Polyimid
in
Frage.
Suitable
materials
in
this
respect
are
silicon
oxide,
silicon
nitride
or
polyimide.
EuroPat v2
So
kann
z.B.
eine
Umwandlung
von
Siliziumoxid
in
Siliziumoxynitrid
erfolgen.
A
conversion
of
silicon
oxide
into
silicon
oxynitride
is
therefore
possible,
for
example.
EuroPat v2
Üblicherweise
wird
der
Graben
mit
einem
Dielektrikum
aus
Siliziumoxid
aufgefüllt.
The
trench
is
usually
filled
with
a
dielectric
of
silicon
oxide.
EuroPat v2
Dann
werden
die
Gräben
mit
Siliziumoxid
auf
an
sich
bekannte
Weise
gefüllt.
The
trenches
are
then
filled
with
silicon
oxide
in
a
manner
known
per
se.
EuroPat v2
Als
anorganische
Oxide
werden
beispielsweise
Siliziumoxid,
Aluminiumoxid,
Zinkoxid
und
Titanoxid
eingesetzt.
The
inorganic
oxides
used
are,
for
example,
silicon
oxide,
aluminium
oxide,
zinc
oxide
and
titanium
oxide.
EuroPat v2
Bei
dem
Material
kann
es
sich
etwa
um
Siliziumoxid
oder
Siliziumnitrid
handeln.
The
material
can
be
silicon
oxide
or
silicon
nitride,
for
instance.
EuroPat v2