Translation of "Schleifabtrag" in English
Der
Schleifabtrag
wird
in
einer
Längeneinheit
angegeben.
The
grinding
abrasion
is
specified
in
a
length
unit.
EuroPat v2
Beim
Schleifen
der
Stirnfläche
des
Einkristalls
wird
versucht,
den
Schleifabtrag
auf
ein
Minimum
zu
begrenzen.
When
the
end
face
of
the
monocrystal
is
being
ground,
an
attempt
is
made
to
keep
the
grinding
abrasion
to
a
minimum.
EuroPat v2
Es
ist
jedoch
ebenso
möglich,
den
Schleifabtrag
für
jede
hergestellte
Halbleiterscheibe
zu
bestimmen.
However,
it
is
also
possible
to
determine
the
grinding
abrasion
for
every
semiconductor
wafer
produced.
EuroPat v2
Gegenstand
der
Erfindung
ist
ein
Verfahren
zur
Herstellung
von
Halbleiterscheiben
durch
wiederholte
Abfolge
von
Schleifen
der
Stirnfläche
eines
Einkristalls
mit
einem
Schleifwerkzeug
und
Abtrennen
einer
Halbleiterscheibe
vom
Einkristall
mit
einem
Trennwerkzeug,
wobei
beim
Schleifen
ein
Schleifabtrag
von
einer
bestimmten
Dicke
erzeugt
wird,
und
die
Halbleiterscheibe
in
einer
Schneidebene
abgetrennt
wird,
die
möglichst
parallel
zur
geschliffenen
Stirnfläche
liegt.
Field
of
the
Invention
The
present
invention
relates
to
a
method
for
producing
semiconductor
wafers
by
a
repeated
sequence
of
grinding
the
end
face
of
a
monocrystal
using
a
grinding
tool
and
cutting
a
semiconductor
wafer
from
the
monocrystal
using
a
cutting
tool,
a
grinding
abrasion
of
a
specified
depth
being
produced
during
grinding,
and
the
semiconductor
wafer
being
cut
in
a
cutting
plane
which
is
as
parallel
as
possible
to
the
ground
end
face.
EuroPat v2
Ist
der
gewählte
Schleifabtrag
zu
hoch,
wird
Material
verschwendet
und
die
Ausbeute
an
Halbleiterscheiben
je
Einkristall
reduziert.
If
the
resulting
grinding
abrasion
is
too
high,
material
is
wasted
and
the
yield
of
semiconductor
wafers
per
monocrystal
is
reduced.
EuroPat v2
Ist
der
Schleifabtrag
zu
niedrig,
werden
die
Unebenheiten
auf
der
Stirnfläche
des
Einkristalls
nicht
ausreichend
beseitigt
und
die
hergestellten
Halbleiterscheiben
sind
mangelbehaftet.
If
the
grinding
abrasion
is
too
low,
the
unevenness
on
the
end
face
of
the
monocrystal
is
not
adequately
removed
and
the
semiconductor
wafers
produced
are
defective.
EuroPat v2
Ein
bestimmter
Schleifabtrag
kann
sehr
genau
mit
Hilfe
der
Zustelleinheit
vorgegeben
werden,
die
Schleifwerkzeug
und/oder
Einkristall
zum
Zwecke
des
Schleifens
bewegt.
A
specified
grinding
abrasion
can
be
set
very
accurately
with
the
aid
of
the
feed
unit
which
moves
the
grinding
tool
and/or
moves
the
monocrystal
for
the
purpose
of
grinding.
EuroPat v2
Der
Schleifabtrag
ergibt
sich
dann
unmittelbar
aus
der
Dicke
der
Halbleiterscheibe,
vorausgesetzt,
die
Trennbedingungen
hatten
sich
seit
dem
vorletzten
Abtrennen
einer
Halbleiterscheibe
nicht
verändert.
The
grinding
abrasion
is
then
measured
directly
from
the
thickness
of
the
semiconductor
wafer,
provided
the
cutting
conditions
have
not
changed
since
the
penultimate
cutting
of
a
semiconductor
wafer.
EuroPat v2
Außerdem
kommt
es
aufgrund
der
Skiabstützung
ausschließlich
an
den
Haltern
des
Schlittens
im
Bereich
dieser
Halter
zu
einem
erhöhten
Schleifabtrag,
der
sich
insbesondere
bei
einer
wiederholten
Bearbeitung
eines
Skis
bemerkbar
macht.
Moreover,
there
is
an
increased
abrasion
by
grinding
in
the
region
of
the
mounts
as
a
result
of
the
support
of
the
ski
exclusively
on
the
mounts,
which
abrasion
can
be
noticed
especially
in
the
case
of
a
repeated
machining
of
a
ski.
EuroPat v2
Durch
die
Kalibrierung
über
drei
Achsen
(Y,
Z,
C)
werden
an
dem
Messer
nicht
nur
Lage
und
Symmetrie
der
Flanken,
sondern
auch
der
Schleifabtrag
angepasst.
By
calibrating
over
three
axes
(Y,
Z,
C),
not
only
position
and
symmetry
of
the
flanks
but
also
abrasion
are
adjusted
on
the
cutting
blade.
EuroPat v2
Beim
Abtragen
in
einer
Tiefe
20
von
0,3
mm
wird
hingegen
nur
noch
eine
nutzbare
Lagerbreite
21
erhalten,
welche
geringer
ist
als
die
nutzbare
Lagerbreite
19,
die
bei
einem
Schleifabtrag
von
geringerer
Tiefe
18
erhalten
wurde.
With
removal
at
a
depth
20
of
0.3
mm,
by
contrast,
only
a
usable
bearing
width
21
is
obtained,
which
is
less
than
the
usable
bearing
width
19
which
was
obtained
with
a
grinding
removal
of
lesser
depth
18
.
EuroPat v2