Translation of "Reflektometrie" in English
Die
Bestimmung
von
Trübungen
erfolgt
nach
dem
erfindungsgemäßen
Verfahren
mittels
Reflektometrie.
In
the
method
according
to
the
invention,
turbidity
is
determined
by
reflectometry.
EuroPat v2
Die
Reflektometrie
wird
normalerweise
zur
Auswertung
trägergebundener
Tests
eingesetzt.
Reflectometry
is
normally
employed
for
the
evaluation
of
support-immobilised
tests.
EuroPat v2
Die
beiden
gebräuchlichsten
Verfahren
zur
Dünnschichtmessung
sind
die
Reflektometrie
und
die
Ellipsometrie.
The
two
most
commonly
used
thick
film
measurement
methods
are
reflectometry
and
ellipsometry.
ParaCrawl v7.1
Diese
beiden
Eigenschaften
ermöglichen
eine
optimale
Leistungsfähigkeit
des
Instruments
in
den
beiden
Betriebsmodi
Reflektometrie
und
GISANS
.
These
two
characteristics
make
it
possible
to
optimally
perform
reflectometry
and
GISANS
.
ParaCrawl v7.1
Ellipsometrie,
Reflektometrie
und
Oberflaechenplasmonanregung
lassen
eine
direkte
Messung
(ohne
Markierungssubstanzen)
der
immunologischen
Reaktion
zu,
haben
aber
oben
erwaehnte
Nachteile.
Ellipsometry,
reflectometry
and
excitation
of
surface
plasmons
allow
a
direct
measurement
of
the
immunological
reaction
(without
using
labels),
but
have
the
disadvantages
mentioned
above.
EuroPat v2
Es
kann
aber
auch
eine
Messung
mittels
Reflektometrie
erfolgen
oder
durch
Messung
von
Fluoreszenz
oder
Lumineszenz,
wenn
ein
Reagenz
oder
das
Diluens
einen
fluorogenen
oder
luminogenen
Bestandteil
enthält.
However,
it
can
also
take
place
by
measurement
by
means
of
reflectometry
or
by
measurement
of
fluorescence
or
luminescence
when
a
reagent
or
the
diluent
contains
a
fluorogenic
or
luminogenic
component.
EuroPat v2
Die
Erfindung
bezieht
sich
auf
eine
Lichtkoppelvorrichtung
für
die
optische
Reflektometrie
an
einer
Monomodeglasfaser
entsprechend
dem
Oberbegriff
des
Hauptanspruchs.
The
disclosed
invention
relates
in
general
to
a
light
coupler
and
relates
more
particularly
to
a
light
coupler
for
use
in
optical
reflectometry
on
a
monomode
glass
fiber.
EuroPat v2
Das
GFZ
schlägt
daher
vor
GPS-Okkultation,
Reflektometrie
und
Scatterometrie
(GORS)-Empfängersystem
auf
der
Grundlage
der
COTS
GPS
Empfängertechnik
als
Kerninstrument
für
ein
zukünftiges
Tsunami-Detektionssystem
im
Rahmen
einer
niedrig
fliegenden
Kleinsatellitenkonstellation
zu
entwickeln.
GFZ
therefore
suggests
developing
GPS
occultation,
reflectometry
and
scatterometry
(GORS)
receiver
technology
based
on
COTS,
on
the
basis
of
a
low
flying
mini-satellite
constellation
as
a
quintessential
instrument
for
a
future
tsunami
detection
system.
ParaCrawl v7.1
Aufgabe
der
vorliegenden
Erfindung
ist
es,
Vorrichtungen
und
Verfahren
zur
optischen
Charakterisierung
von
Proben,
insbesondere
auf
der
Technik
der
Reflektometrie
oder
der
Ellipsometrie
bzw.
Polarimetrie
basierende
Vorrichtungen
(und
entsprechende
Verfahren)
so
weiterzubilden,
dass
die
Proben
(insbesondere
auch
nicht
ebene
Proben
oder
Prüflinge
z.B.
in
Form
von
Schüttgütern)
einfach
und
zuverlässig
hinsichtlich
ihres/ihrer
Materials/ien
charakterisiert
werden
können.
It
is
the
object
of
the
present
invention
to
develop
devices
and
methods
for
optical
characterisation
of
samples,
in
particular
devices
(and
corresponding
methods)
based
on
the
technology
of
reflectometry
or
ellipsometry
and
polarimetry
respectively
such
that
the
samples
(in
particular
also
non-planar
samples
or
test
pieces,
e.g.
in
the
form
of
bulk
materials)
can
be
characterised
easily
and
reliably
with
respect
to
their
material/materials.
EuroPat v2
Aus
dem
Stand
der
Technik
sind
bereits
Verfahren
zur
optischen
Charakterisierung
von
Proben
auf
Basis
der
Reflektometrie
oder
der
Ellipsometrie
bekannt.
Methods
for
optical
characterisation
of
samples
based
on
reflectometry
or
ellipsometry
are
already
known
from
the
state
of
the
art.
EuroPat v2
Dies
ist
typisch
für
die
Verwendung
der
Bragg-Brentano
Geometrie
zur
Ermittlung
von
kristallinen
Phasen
in
einer
Probe,
aber
auch
in
der
Hochauflösungsdiffraktometrie
und
-Reflektometrie.
This
is
typical
for
the
use
of
the
Bragg-Brentano
geometry
for
determining
crystalline
phases
in
a
sample
and
also
for
high-resolution
diffractometry
and
high-resolution
reflectometry.
EuroPat v2
Die
vorliegende
Erfindung,
wie
sie
nachfolgend
beschrieben
ist,
nutzt
als
Grundlage
dem
Fachmann
bekannte
Techniken
der
Reflektometrie
oder
der
Ellipsometrie.
The
present
invention,
as
described
subsequently,
uses
as
basis
the
technologies
of
reflectometry
or
of
ellipsometry
which
are
known
to
the
person
skilled
in
the
art.
EuroPat v2
Aus
dem
Stand
der
Technik
sind
auch
bereits
Verfahren
zur
optischen
Charakterisierung
von
Proben
auf
Basis
der
Reflektometrie
oder
der
Ellipsometrie
bekannt.
Methods
for
optical
characterisation
of
samples
based
on
reflectometry
or
ellipsometry
are
already
known
from
the
state
of
the
art.
EuroPat v2
Aufgabe
der
vorliegenden
Erfindung
ist
es,
Verfahren
zum
optischen
Unterscheiden
eines
gesuchten
Materials
von
mindestens
einem
anderen
Material
in
einer
Probe,
insbesondere
auf
der
Technik
der
Reflektometrie
oder
der
Ellipsometrie
bzw.
Polarimetrie
basierende
Verfahren
so
weiterzubilden,
dass
die
Proben
(insbesondere
auch
nicht
ebene
Proben
oder
Prüflinge
z.B.
in
Form
von
Schüttgütern)
einfach
und
zuverlässig
hinsichtlich
ihres/ihrer
Materials/ien
charakterisiert
werden
können.
It
is
the
object
of
the
present
invention
to
develop
devices
and
methods
for
optical
characterisation
of
samples,
in
particular
devices
(and
corresponding
methods)
based
on
the
technology
of
reflectometry
or
ellipsometry
and
polarimetry
respectively
such
that
the
samples
(in
particular
also
non-planar
samples
or
test
pieces,
e.g.
in
the
form
of
bulk
materials)
can
be
characterised
easily
and
reliably
with
respect
to
their
material/materials.
EuroPat v2
Die
zugrunde
liegenden
physikalischen
Prinzipien
dieser
Reflektometrie
(Reflexion
von
polarisiertem
Licht
am
Medium,
Fresnelsche
Formeln
für
senkrechte
und
für
parallele
Polarisation
sowie
das
Brechungsgesetz)
sind
dem
Fachmann
bekannt.
The
underlying
physical
principles
of
this
reflectometry
(reflection
of
polarised
light
on
the
medium,
Fresnel
formulae
for
perpendicular
and
for
parallel
polarisation
and
also
the
law
of
refraction)
are
known
to
the
person
skilled
in
the
art.
EuroPat v2
Alternativ
zur
optischen
Emissionsspektroskopie
zur
Erkennung
des
Ätzgrundpolymerdurchbruchs
bzw.
des
Zeitpunktes
des
Übergangs
zwischen
zwei
Ätzabschnitten
kann
sowohl
bei
dynamischer
Bestimmung
mit
nachgeschalteter
Regelung
als
auch
im
Fall
einer
statischen
Bestimmung
mit
nachgeschalteter
Steuerung
auch
die
Laserinterferometrie
bzw.
Reflektometrie
eingesetzt
werden.
As
an
alternative
to
optical
emission
spectroscopy
for
detecting
the
etching
base
polymer
breakdown,
i.e.,
the
time
of
transition
between
two
etching
segments,
laser
interferometry
or
reflectometry
can
also
be
used
both
in
the
case
of
dynamic
determination
with
downstream
closed-loop
control
and
static
determination
with
downstream
open-loop
control.
EuroPat v2
Dabei
ist
es
vorgesehen
dass
die
Oberflächertopografie
mittels
Weißlichtinterferometrie
gemessen
wird,
dass
die
Dicke
der
Schicht
nach
dem
Prinzip
der
Reflektometrie
gemessen
wird
und
dass
für
beide
Messungen
eine
gemeinsame
Strahlungsquelle
mit
einem
elektromagnetischen
Strahlungsspektrum
verwendet
wird,
welches
in
einem
in
dem
Strahlungsspektrum
enthaltenen
ersten
Wellenlängenbereich
von
der
Schichtoberfläche
reflektiert
wird
und
weiches
in
einem
in
dem
Strahlungsspektrum
enthaltenen
zweiten
Wellenlängenbereich
in
die
Schicht
eindringt.
It
is
provided
that
the
surface
topography
is
measured
with
the
aid
of
white-light
interferometry,
the
thickness
of
the
layer
is
measured
by
the
principle
of
reflectometry,
and
by
using,
for
both
measurements,
a
shared
radiation
source
having
an
electromagnetic
radiation
spectrum,
which
is
reflected
from
the
layer
surface
in
a
first
wavelength
range
contained
in
the
radiation
spectrum
and
which
penetrates
into
the
layer
in
a
second
wavelength
range
contained
in
the
radiation
spectrum.
EuroPat v2
Verfahren
nach
einem
der
Ansprüche
1
bis
9,
dadurch
gekennzeichnet,
dass
ein
Strahlungsspektrum
(52)
in
einem
Wellenlängenbereich
von
300nm
bis
1500nm
verwendet
wird
und
dass
für
die
Weißlichtinterferometrie
der
erste
Wellenlängenbereich
(53)
zwischen
300nm
und
900nm
und
für
die
Reflektometrie
der
zweite
Wellenlängenbereich
(54)
zwischen
900nm
und
1500nm
verwendet
wird.
The
method
of
claim
1,
wherein
a
radiation
spectrum
in
a
wavelength
range
of
300
nm
to
1500
nm
is
used
and
for
white-light
interferometry
the
first
wavelength
range
of
between
300
nm
and
900
nm
is
used,
and
for
reflectometry
the
second
wavelength
range
of
between
900
nm
and
1500
nm
is
used.
EuroPat v2
Alle
vom
Einfallswinkel
abhängigen
scatterometrischen
Größen
der
Reflektometrie,
Ellipsometrie
und
Diffraktometrie
können
mit
dem
neuen
Instrument
gemessen
werden.
All
scatterometric
quantities
of
reflectometry,
ellipsometry
and
diffractometry
which
are
dependent
on
the
angle
of
incidence
can
be
measured
with
the
new
instrument.
ParaCrawl v7.1
Die
Schulung
wird
vom
21.
bis
22.
November
am
MLZ
in
Garching
stattfinden
und
soll
Studenten
und
Wissenschaftlern,
die
im
Bereich
GISAS
oder
Reflektometrie
arbeiten,
ausführliche
Tutorien
anbieten,
um
neue
Möglichkeiten
für
Simulation
der
Daten
aufzuzeigen.
The
School
will
introduce
students
and
researchers
working
in
the
field
of
GISAS
or
reflectometry
in
extensive
hands-on
tutorials
to
new
opportunities
for
simulating
and
fitting
their
data.
ParaCrawl v7.1
Bei
der
Reflektometrie
werden
Reflektions-
oder
Transmissionseigenschaften
einer
Probe
über
einen
großen
Spektralbereich
durch
die
Detektion
von
nahezu
senkrecht
einfallendem,
unpolarisiertem
Licht
gemessen.
Reflectometry
utilizes
unpolarized
light
(impinging
at
near
perpendicular
angles
to
a
sample)
to
measure
reflection
or
transmission
characteristics
of
a
sample
over
a
wide
spectral
range.
ParaCrawl v7.1