Translation of "Rückseitenbearbeitung" in English
Durch
Verbesserung
der
Rückseitenbearbeitung
wurde
auch
gleichzeitig
der
Spielraum
bei
der
Prozessaufteilung
erweitert.
Improved
back
machining
improves
the
degree
of
freedom
in
machining
process
allocation.
ParaCrawl v7.1
In
fast
allen
Fällen
erfolgt
im
Rahmen
dieser
Rückseitenbearbeitung
jedoch
ein
mechanisches
Dünnen
des
Produktwafers.
In
almost
all
cases,
within
the
framework
of
this
rear
side
processing
however
mechanical
thinning
of
the
product
wafer
takes
place.
EuroPat v2
Die
insbesondere
bei
der
Rückseitenbearbeitung
auftretende
Schnittkraft-Belastung
ist
in
Fig.1
durch
den
Pfeil
FZ
angedeutet.
The
cutting
force
load
which
arises
in
reverse-side
machining
in
particular
is
indicated
in
FIG.
1
by
the
arrow
FZ.
EuroPat v2
Bei
der
ebenfalls
bei
der
erfindungsgemäßen
Drehmaschine
möglichen
Vor-
und
Rückseitenbearbeitung,
bei
welcher
beispielsweise
das
Werkstück
W1
in
der
Spindel
18
auf
seiner
Vorderseite
bearbeitet
wird,
dann
durch
Verfahren
der
Gegenspindel
158
in
Z-Richtung
längs
der
Führungen
154a,
154b
der
Gegenspindel
158
übergeben
wird,
die
dann
wieder
in
Z-Richtung
in
eine
beispielsweise
in
Fig.
In
the
case
of
the
machining
of
the
front
and
rear
sides
likewise
possible
with
the
inventive
lathe,
with
which,
for
example,
the
workpiece
W
1
is
machined
in
the
spindle
18
on
its
front
side
then,
due
to
displacement
of
the
counterspindle
158
in
Z
direction
along
the
guide
means
154
a,
154
b,
transferred
to
the
counterspindle
158
which
then
moves
back
in
Z
direction
into
an
end
position
illustrated,
for
example,
in
FIG.
EuroPat v2
Bei
der
Vor-
und
Rückseitenbearbeitung
können
die
Revolverköpfe
114
bzw.
124
sowohl
in
der
ersten
als
auch
in
der
zweiten
Stellung
eingesetzt
werden.
During
the
machining
of
the
front
and
rear
sides
the
turret
heads
114
and
124
can
be
used
not
only
in
the
first
but
also
in
the
second
position.
EuroPat v2
Um
insbesondere
Vorder-
und
Rückseitenbearbeitung
durchführen
zu
können
ist
vorzugsweise
vorgesehen,
daß
die
Spindel
und
die
Gegenspindel
zur
Übergabe
von
Werkstücken
aufeinanderzu
bewegbar
sind.
In
order
to
be
able
to
carry
out,
in
particular,
machining
on
front
and
rear
sides,
it
is
preferably
provided
for
the
spindle
and
the
counterspindle
to
be
movable
towards
one
another
for
the
transfer
of
workpieces.
EuroPat v2
Der
Vorteil
der
erfindungsgemäßen
Lösung
ist
somit
darin
zu
sehen,
daß
diese
eine
gleichzeitige
Bearbeitung
eines
Werkstücks
in
der
ersten
Werkstückaufnahme
und
eines
Werkstücks
in
der
zweiten
Werkstückaufnahme
erlaubt,
wobei
dies
durch
den
ersten
Werkzeugträger
und
das
weitere
Werkzeug
ermöglicht
wird,
die
jedoch
beide
auf
einem
gemeinsamen
Werkzeugschlitten
sitzen
und
die
erforderliche
zusätzliche
Achsbewegung
durch
geeignete
Steuerung
der
Bewegung
der
zweiten
Werkstückspindel
erfolgt,
die
ohnehin
bewegbar
sein
muß,
um
für
eine
Rückseitenbearbeitung
mit
ihrer
zweiten
Werkstückaufnahme
das
Werkstück
aus
der
ersten
Werkstückaufnahme
der
ersten
Werkstückspindel
entnehmen
zu
können.
Therefore,
the
advantage
of
the
solution
according
to
the
invention
is
that
this
permits
a
simultaneous
machining
operation
of
a
work
piece
in
the
first
work
piece
receiving
means
and
a
work
piece
in
the
second
work
piece
receiving
means,
this
being
made
possible
by
the
first
tool
carrier
and
the
further
tool,
both
of
which,
however,
are
located
on
a
joint
tool
carriage,
and
the
necessary
additional
axial
movement
being
achieved
by
appropriate
control
of
the
movement
of
the
second
work
piece
spindle,
which
must
still
be
movable
to
be
able
to
remove
the
work
piece
from
the
first
work
piece
receiving
means
of
the
first
work
piece
spindle
for
a
machining
operation
on
the
reverse
side
with
its
second
work
piece
receiving
means.
EuroPat v2
Darüber
hinaus
ist
es
vorteilhaft,
wenn
der
die
weiteren
Bearbeitungseinheiten
zur
reinen
Rückseitenbearbeitung
aufnehmende
Raumbereich
so
angeordnet
ist,
dass
bei
einer
Bearbeitung
des
in
der
zweiten
Spindel
aufgenommenen
Werkstücks
mit
den
weiteren
Bearbeitungseinheiten
in
diesem
Raumbereich
die
weiteren
Werkzeugeinheiten
des
zweiten
Trägers
kollisionsfrei
zum
Werkstück
in
der
ersten
Spindel
bewegbar
sind.
In
addition,
it
is
advantageous
when
the
spatial
area
accommodating
the
additional
machining
units
for
the
machining
purely
of
the
rear
side
are
arranged
such
that
during
machining
of
the
workpiece
accommodated
in
the
second
spindle
with
the
additional
machining
units
in
this
spatial
area
the
tool
units
of
the
second
carrier
can
be
moved
in
a
collision
free
manner
in
relation
to
the
workpiece
in
the
first
spindle.
EuroPat v2
Diese
betreffen
unter
anderem
die
Fähigkeit
des
Klebers,
bestimmte
Prozessbedingungen,
die
während
der
Rückseitenbearbeitung
auftreten
können,
tolerieren
zu
können.
They
relate
among
others
to
the
capacity
of
the
adhesive
to
be
able
to
tolerate
certain
process
conditions
which
can
arise
during
rear
side
processing.
EuroPat v2
Ausgehend
von
diesem
Stand
der
Technik
liegt
der
Erfindung
die
Aufgabe
zugrunde,
die
bekannte
gattungsgemäße
Lösung
derart
fortzubilden,
daß
mit
möglichst
wenig
Bauteilen
und
Einbauraum
sparend
in
weiter
vereinfachter
Weise
ein
negativer
Einfluß
der
Schnittkraft-Belastung
des
Revolverkopfes,
insbesondere
bei
einer
sog.
Rückseitenbearbeitung,
ausgeschlossen
ist.
On
the
basis
of
this
state
of
the
art
the
object
of
the
invention
is
to
develop
the
conventional
generic
solution
further
in
such
a
way
that
a
negative
effect
of
the
turret
head,
especially
in
so-called
reverse
side
machining,
is
eliminated
by
a
method
which
is
still
simplified,
with
the
smallest
possible
number
of
components
and
with
saving
of
structural
space.
EuroPat v2
Dadurch,
daß
gemäß
dem
kennzeichnenden
Teil
des
Patentanspruches
1
für
die
Lagerung
des
drehbaren
Revolverkopfes
nur
eine
einzige
axiale
Lagerstelle
notwendig
ist
und
das
Verriegelungsglied
zum
Lösen
seiner
den
Revolverkopf
verriegelnden
Stellung
auf
seiner
die
Verzahnung
aufweisenden
Seite
mit
einem
weiteren
Fluiddruck
in
einem
weiteren
Druckraum
beaufschlagbar
ist,
daß
gleichzeitig
der
auf
der
gegenüberliegenden
Seite
des
Verriegelungsgliedes
angreifende
Fluiddrudc
im
ersten
Druckraum
entfällt,
und
daß
die
beiden
Druckräume
durch
das
Verriegelungsglied
voneinander
getrennt
sind,
sind
auf
kleinstem
Bauraum
mit
wenig
Bauteilen
alle
wichtigen
Funktionen
zusammengefaßt,
die
derart
in
einfacher
Weise
einen
die
Bearbeitungsgenauigkeit
schädigenden
Einfluß
der
Schnittkraft-Belastung
des
Revolverkopfes,
insbesondere
bei
einer
sog.
Rückseitenbearbeitung,
ausschließen.
Since,
as
specified
in
the
descriptive
portion
of
claim
1,
the
axial
bearing
between
turret
head
and
housing
in
the
direction
of
the
turret
head
is
mounted
upstream
from
the
locking
element,
the
hydraulic
medium
generating
the
fluid
pressure
may
be
introduced
between
the
locking
element
and
the
connecting
element,
and
the
connecting
element
engages
the
locking
element
from
below
in
such
a
way
that
the
axial
bearing
is
subjected
to
application
of
pressure
with
the
turret
head
both
locked
and
unlocked;
all
important
functions
are
concentrated
in
the
smallest
structural
space
involving
few
components
and
in
this
way
eliminate
a
harmful
effect
exerted
by
the
application
of
a
cutting
force
to
the
turret
head,
especially
in
so-called
reverse
side
machining.
EuroPat v2
Mit
einem
dahingehenden
Werkzeugmodul
läßt
sich
auch
eine
sog.
Rückseitenbearbeitung
eines
von
einer
Gegenspindel
einer
Werkzeugmaschine
(nicht
dargestellt)
getragenen
Werkstückes
(nicht
dargestellt)
vornehmen.
A
tool
module
as
thus
described
may
also
be
used
to
effect
so-called
reverse-side
machining
of
a
blank
(not
shown)
of
a
machine
tool
(not
shown)
supported
by
a
counter-spindle.
EuroPat v2
Bei
der
Herstellung
von
Halbleiterbauteilen
(dies
(dices))
auf
Wafern
werden
heute
ebenfalls
vielfach
Klebefolien
(z.B.
sogenannte
Grindingfolien
oder
Blue
Tapes)
zur
temporären
Abdeckung
verwendet,
um
das
Handling
für
die
Rückseitenbearbeitung
bzw.
das
Trennen
(Vereinzeln
durch
Schneiden)
einfacher
gestalten
zu
können
und
außerdem
insbesondere
die
Wafervorderseite,
auf
der
sich
die
eigentlichen
elektronischen
Bauelemente
befinden,
zu
schützen.
In
the
production
of
semiconductor
components
(dies)
adhesive
films
(e.g.
so-called
grinding
films
or
Blue
Tapes)
are
nowadays
likewise
used
in
many
cases
to
provide
temporary
coverage
on
wafers
in
order
to
be
able
to
simplify
the
handling
involved
in
the
rear
side
treatment
or
for
the
separation
(division
by
cutting),
and
also
in
particular
to
protect
the
front
side
of
the
wafer,
on
which
the
actual
electronic
components
are
situated.
EuroPat v2
Dies
ermöglicht
es
vorteilhaft,
dass
Werkstücke
von
einer
zur
anderen
Spindel
übergeben
werden
können,
z.B.
bei
Hintereinanderausführung
von
Front-
und
Rückseitenbearbeitung
desselben
Werkstücks
an
den
beiden
Arbeitsspindeln.
This
advantageously
makes
it
possible
for
workpieces
to
pass
over
from
one
spindle
to
the
other,
for
example
if
the
front
and
rear
faces
of
the
same
workpiece
are
machined
in
succession
on
the
two
work
spindles.
EuroPat v2
Damit
ist
es
möglich,
die
Zahl
der
Aufnahmewerkzeuge
zu
reduzieren,
die
das
jeweilige
Halbfabrikat
halten,
während
die
Rückseitenbearbeitung
erfolgt,
da
gleichartig
geformte
Halbfabrikate
mit
demselben
Werkzeug
aufgenommen
werden
können.
Using
this,
it
is
possible
to
reduce
the
number
of
receiving
tools,
which
hold
the
respective
semifinished
product
while
the
back
side
machining
is
carried
out
since
semifinished
products
with
a
similar
form
can
be
received
by
the
same
tool.
EuroPat v2
Letztendlich
ermöglicht
die
erfindungsgemäße
Wafer-Träger-Anordnung
unter
den
vorgenannten
Voraussetzungen,
dass
die
Rückseitenbearbeitung
des
Wafers
wesentlich
leichter
erfolgen
kann,
da
die
Handhabung
einfach
ist
und
ein
geeignetes
Stabilisierungsschichtsystem
vorhanden
ist.
Finally
the
wafer
support
arrangement
according
to
the
invention
under
the
aforementioned
conditions
enables
the
rear
side
of
the
wafer
to
be
processed
substantially
more
easily,
since
handling
is
simple
and
a
suitable
stabilization
layer
system
is
present.
EuroPat v2
Hohe
Achsbeschleunigungen,
schnelle
Verfahr-
und
Schaltgeschwindigkeiten,
Y-Achsen
und
eine
neu
konzipierte
Rückseitenbearbeitung
eröffnen
hinsichtlich
Produktivität
und
Werkstückkomplexität
neue
Perspektiven
beim
Automatendrehen
mit
CNC
Maschinen.
High
axis
acceleration,
fast
traversing
and
indexing
speeds,
Y-axes
and
a
newly
designed
rear
end
machining
unit
open
up
new
perspectives
in
terms
of
productivity
and
workpiece
complexity
for
CNC
automatic
lathes.
ParaCrawl v7.1
Der
Werkzeughalter
für
die
Rückseitenbearbeitung
verfügt
über
winkeleinstellbare
angetriebene
Werkzeuge
(Typ
VII
und
VIII)
und
bewältigt
so
komplexe
Bearbeitungsaufgaben
in
Kombination
mit
der
Y-Achse.
The
back
tool
post
has
been
equipped
with
adjustable-angle
type
VII
and
VIII
spindles
to
provide
complex
machining
in
combination
with
the
Y
axis.
ParaCrawl v7.1
Diese
autonome
Z-Achse
ermöglicht
Anwendungen
wie
z.B.
Gewindestrehlen
ohne
Materialrückzug
oder
Tieflochbohren
simultan
zur
Rückseitenbearbeitung
ohne
Werkstückrückzug
in
die
Führungsbuchse.
This
independent
Z-axis
enables
applications
like
thread
chasing
without
material
return
or
deep
hole
drilling
simultaneously
to
backworking
without
workpiece
retraction
into
guide
bush.
ParaCrawl v7.1
Mit
dieser
gleichen
Ausbaustufe
ist
die
Maschine
auch
als
Acht-Spindler
mit
simultaner
Rückseitenbearbeitung
in
zwei
Spindellagen
einsetzbar.
With
the
same
configuration
level
the
machine
can
be
also
used
as
an
8-spindle
machine
with
simultaneous
rear
end
machining
in
two
spindle
positions.
ParaCrawl v7.1
Die
MultiAlpha-Baureihe
schließlich
kann
selbst
komplexe
Bauteile
mit
Fräsbearbeitungen,
Gewinden
und
dergleichen
komplettbearbeiten
–
insbesondere
durch
die
Möglichkeit
zur
komplexen
Rückseitenbearbeitung.
After
all,
the
MultiAlpha
series
can
totally
machine
even
complex
components,
including
milling
tasks,
threads,
etc.,
and
offering
in
particular
the
option
of
complex
reverse-side
machining.
ParaCrawl v7.1
Mit
dieser
Technologie
fertigen
Sie
spiralverzahnte
Kegelräder
von
der
Stange
komplett
in
einer
Aufspannung
(Vorder-
und
Rückseitenbearbeitung).
With
this
technology
you
can
produce
spiral
bevel
gears
from
the
bar
completely
in
one
setup
(front
and
rear
end
machining).
ParaCrawl v7.1
Er
kann
mit
bis
zu
62
Achsen,
sechszehn
CNC-Kreuzschlitten,
Y-Achsen,
wahlweise
zwei
Sychronspindeln
sowie
sechs
Werkzeugen,
davon
maximal
zwei
angetrieben,
für
die
Rückseitenbearbeitung
ausgestattet
werden.
It
can
be
equipped
with
up
to
62
axes,
16
CNC
compound
slides,
Y
axes,
optionally
two
synchronous
spindles
and
six
tools
for
backworking,
a
maximum
of
two
which
are
driven.
ParaCrawl v7.1