Translation of "Rückstreuelektronen" in English
Die
Rückstreuelektronen
können
aufgrund
ihrer
Energien
durch
das
Gitter
hindurchtreten.
The
backscattered
electrons
may
pass
through
the
grid
because
of
their
energies.
EuroPat v2
Der
Detektor
ist
somit
ein
für
Rückstreuelektronen
sensitiver
Detektor.
The
detector
is
thus
a
detector
that
is
sensitive
to
backscatter
electrons.
EuroPat v2
Das
Phasenraumvolumen
der
Sekundärelektronen
ist
wesentlich
anders
als
das
der
Rückstreuelektronen.
The
phase
space
volume
of
secondary
electrons
is
very
different
from
that
of
backscattered
electrons.
EuroPat v2
Die
detektierten
Rückstreuelektronen
werden
bei
der
Bildgebung
hinsichtlich
der
Erhöhung
des
Materialkontrastes
verwendet.
The
detected
backscattered
electrons
are
used
in
imaging
with
regard
to
increasing
the
material
contrast.
EuroPat v2
Verfahren
nach
Anspruch
1,
bei
dem
die
Teilchen
des
Sekundärteilchenstrahls
Rückstreuelektronen
sind.
The
method
as
recited
in
claim
1,
wherein
the
particles
of
the
secondary
particle
beam
are
backscatter
electrons.
EuroPat v2
Sekundär-
und
Rückstreuelektronen
bilden
den
sogenannten
Sekundärstrahl
und
werden
mit
einem
Detektor
detektiert.
Secondary
and
backscattered
electrons
form
the
so-called
secondary
beam
and
are
detected
using
a
detector.
EuroPat v2
Das
Anodenpotential
bleibt
konstant,
damit
stets
eine
gute
Detektion
von
Sekundär-
oder
Rückstreuelektronen
gewährleistet
ist.
The
anode
potential
remains
constant,
so
that
good
detection
of
secondary
or
back-scattered
electrons
is
always
insured.
EuroPat v2
Die
Energie
der
Rückstreuelektronen
ist
dabei
nach
wie
vor
geringfügig
höher
als
die
Energie
der
Sekundärelektronen.
The
energy
of
the
back-scattered
electrons
is
then
as
usual
slightly
higher
than
the
energy
of
the
secondary
electrons.
EuroPat v2
Da
der
Detektor
21
ebenfalls
eine
Öffnung
aufweist,
können
einige
Rückstreuelektronen
durch
diese
Öffnung
treten.
Since
detector
21
likewise
exhibits
an
opening,
some
backscattered
electrons
are
able
to
pass
through
this
opening.
EuroPat v2
Sekundär-
und
Rückstreuelektronen
bilden
den
nachfolgend
so
genannten
Sekundärstrahl
und
werden
mit
einem
Detektor
detektiert.
Secondary
and
backscattered
electrons
form
the
secondary
beam
and
are
detected
via
a
detector.
EuroPat v2
Dieser
ist
als
Orts-Impuls-Raum
definiert,
wobei
der
Impuls
die
Divergenz
der
Sekundär-
bzw.
Rückstreuelektronen
beschreibt.
This
is
defined
as
a
location-impulse
space,
in
which
the
impulse
describes
the
divergence
of
the
secondary
or
backscattered
electrons.
EuroPat v2
Dies
stellt
eine
weitere
Möglichkeit
zur
Verfügung,
eine
möglichst
hohe
Ausbeute
an
Rückstreuelektronen
zu
erzielen.
This
presents
a
further
opportunity
for
obtaining
the
highest
yield
of
backscattered
electrons
possible.
EuroPat v2
Mittels
der
Ablenkeinrichtung
wird
der
Primärelektronenstrahl
vom
Sekundärstrahl
(Sekundärelektronen
und
Rückstreuelektronen)
getrennt.
The
primary
electron
beam
is
separated
from
the
secondary
beam
(secondary
electrons
and
backscattered
electrons)
via
the
deflection
device.
EuroPat v2
Auf
diese
Weise
wird
eine
große
Anzahl
von
Rückstreuelektronen,
die
ansonsten
verloren
geht,
detektiert.
In
this
way,
a
large
number
of
backscattered
electrons
that
would
otherwise
be
lost
are
detected.
EuroPat v2
Mittels
einer
geeigneten
angelegten
Spannung
können
Elektronen,
insbesondere
Sekundär-
und
Rückstreuelektronen,
selektiert
werden.
Using
a
suitably
applied
voltage,
electrons
may
be
selected,
in
particular
secondary
and
backscattered
electrons.
EuroPat v2
Figur
1
zeigt
die
unterschiedlichen
Phasenräume,
die
Sekundär-
und
Rückstreuelektronen
in
einem
Rasterelektronenmikroskop
aufweisen.
FIG.
1
shows
the
various
phase
spaces
that
secondary
and
backscattered
electrons
exhibit
in
a
scanning
electron
microscope.
EuroPat v2
Der
Phasenraum
1
betrifft
Rückstreuelektronen,
während
der
Phasenraum
2
den
Phasenraum
der
Sekundärelektronen
darstellt.
Phase
space
1
relates
to
backscattered
electrons
while
phase
space
2
represents
the
phase
space
of
secondary
electrons.
EuroPat v2
Die
Verwendung
einer
Blende
blendet
möglicherweise
auch
einen
gewissen
Bereich
3
der
Rückstreuelektronen
aus.
The
use
of
a
diaphragm
also
possibly
masks
a
certain
region
3
of
backscattered
electrons.
EuroPat v2
Allerdings
überwiegt
der
Teil
der
Rückstreuelektronen
(Transmissionsbereich
4),
der
die
Blende
passieren
kann.
However,
the
portion
of
backscattered
electrons
(transmission
region
4)
that
may
pass
through
the
diaphragm
predominates.
EuroPat v2
Die
Berechnung
der
Geschwindigkeit
der
Rückstreuelektronen
erfolgt
bei
hohen
Beschleunigungsspannungen
der
Teilchen
des
Primärteilchenstrahls
relativistisch.
The
velocity
of
the
backscatter
electrons
is
calculated
relativistically
at
high
acceleration
voltages
of
the
particles
of
the
primary
particle
beam.
EuroPat v2
Deshalb
weist
der
Strahl
der
Sekundärelektronen
mehr
Divergenz
als
der
Strahl
der
Rückstreuelektronen
auf.
The
beam
of
the
secondary
electrons
therefore
exhibits
more
divergence
than
the
beam
of
the
backscattered
electrons.
EuroPat v2
Es
ist
bekannt,
daß
zur
Erhöhung
der
Auflösung
des
Materialkontrastes
die
Rückstreuelektronen
detektiert
werden
müssen.
It
is
known
that
the
backscattered
electrons
must
be
detected
to
increase
the
resolution
of
the
material
contrast.
EuroPat v2
Ein
Detektor
ist
dabei
im
Bereich
des
Objektes
angeordnet
und
dient
zur
Detektion
der
Rückstreuelektronen.
One
detector
is
positioned
in
the
region
of
the
object
and
detects
backscattered
electrons.
EuroPat v2
Dadurch
wird
erreicht,
daß
Rückstreuelektronen
aus
dem
Brennfleckraum
abgezogen
und
dadurch
die
Anodenbelastbarkeit
erhöht
wird
sowie
daß
der
Extrafokalanteil
der
Strahlung
verringert
wird.
What
is
achieved
thereby
is
that
backscatter
electrons
from
the
focal
spot
space
are
withdrawn
and
the
anode
load
carrying
capacity
is
thereby
increased,
and
that
the
outside-of-focus
component
of
the
radiation
is
reduced
as
well.
EuroPat v2
Diese
dünne
Schicht
wird
von
den
Rückstreuelektronen
noch
durchdrungen
und
sorgt
durch
ihre
elektrische
Leitfähigkeit
dafür,
daß
Aufladungen
verhindert
werden.
This
thin
layer
is
still
penetrated
by
the
back-scattered
electrons,
and
because
of
its
electrical
conductivity
it
reliably
prevents
the
formation
of
a
charge.
EuroPat v2
Bei
meßtechnischen
Anwendungen
ist
deshalb
darauf
zu
achten,
daß
sich
der
auf
das
Bauelement
auftreffende
Primärelektronenstrom
und
der
von
ihm
ausgehende
Strom
der
Sekundär-und
Rückstreuelektronen
nahezu
kompensieren.
Therefore,
during
mensurational
applications,
the
primary
electron
current
incident
on
a
component
must
be
substantially
equal
to
the
current
of
the
secondary
and
backscatter
electrons
being
emitted
from
it.
EuroPat v2
Man
erreicht
dadurch
eine
Unterdrückung
der
schädlichen
Rückstreuelektronen,
der
Signaluntergrund
wird
kleiner
und
die
Meßgenauigkeit
wird
verbessert.
One
thus
attains
a
suppression
of
harmful
backscatter
electrons,
the
signal
background
becomes
smaller,
and
the
measuring
accuracy
is
improved.
EuroPat v2
Durch
die
Verwendung
von
Mitteln,
durch
die
die
Abschirmung
auf
einem
Potential
gehalten
wird,
welches
grösser
als
die
halbe
Röhrenspannung,
aber
kleiner
als
das
Anodenpotential
ist,
ergibt
sich
in
Lösung
obengenannter
Aufgabe,
dass
ein
gegenüber
bekannten
Röhren
grösserer
Teil
der
Rückstreuelektronen
aus
dem
Brennfleck
abgezogen
wird,
wodurch
die
Anodenbelastbarkeit
sich
erhöht.
Through
the
utilization
of
a
shield,
which
is
connected
to
a
potential
which
is
greater
than
half
the
tube
voltage
but
smaller
than
the
anode
potential,
in
solving
the
above
problem,
the
result
is
that
a
greater
portion--in
relation
to
known
tubes--of
the
backscatter
electrons
is
withdrawn
from
the
focal
spot,
as
a
consequence
of
which
the
anode
load
carrying
capacity
increases.
EuroPat v2
Bei
Bestrahlung
eines
ersten
Schaltungsknotens
6
mit
Hilfe
einer
Schreibsonde
2
werden
von
diesem
Schaltungsknoten
6
sowohl
Rückstreuelektronen
als
auch
Sekundärelektronen
emittiert.
Upon
irradiation
of
a
first
circuit
node
6
with
the
assistance
of
a
writing
probe
2,
both
backscatter
electrons
and
secondary
electrons
are
emitted
by
the
circuit
node
6.
EuroPat v2