Translation of "Prozesskammer" in English

Über die Vakuumleitung 14 wird die Prozesskammer auf das notwendige niedrige Betriebsdruckniveau gebracht.
Vacuum line 14 serves to bring the process chamber to the necessary low operating pressure.
EuroPat v2
Das überschüssige Gas strömt rückwärts gegen die Richtung des Pfeiles 48 in'die Prozesskammer.
The surplus gas flows backwards, against the direction of the arrow 48, into the process chamber.
EuroPat v2
Zusätzlich kann Stickstoff zur Absättigung der Ta-Bindungen in der Prozesskammer verwendet werden.
In addition, nitrogen can be used to saturate the Ta bonds in the process chamber.
EuroPat v2
Somit kann die Prozesskammer im Betriebszustand auf einfache Weise hermetisch geschlossen werden.
The process chamber can thus be hermetically closed in a simple manner in the operating state.
EuroPat v2
Ein Boden einer Prozesskammer kann aufgeheizt werden.
A floor of a process chamber can be heated up.
EuroPat v2
Dabei wird lediglich der Boden der Prozesskammer beheizt.
Only the floor of the process chamber is heated here.
EuroPat v2
Die Prozesskammer ist bis zu einem Durchmesser von 212mm ausgelegt.
The process-chamber works up to Ø 212mm.
ParaCrawl v7.1
In jeder Beladesituation wird auf dieseWeise eine inerte Prozesskammer garantiert.
In this way, an inert process chamber is guaranteed in every loading situation.
ParaCrawl v7.1
Die Atmosphäre in der Prozesskammer bleibt so im optimalen Verhältnis.
The atmosphere in the process chamber thus remains in the optimum ratio.
ParaCrawl v7.1
Die Prozesskammer ist 10 Meter lang und hat eine Ladekapazität von 40 Tonnen.
The process chamber is 10 meters in length and has a loading capacity of 40 metric tons.
ParaCrawl v7.1
Des Weiteren ist an der Prozesskammer 1030 eine zweite Schleuse 1060 angeordnet.
In addition a second lock 1060 is arranged on the process chamber 1030 .
EuroPat v2
Der Boden der Prozesskammer besitzt dort eine ringförmige Trägerplatte.
The base of the process chamber there has a ring-shaped carrier plate.
EuroPat v2
Elemente der V. Hauptgruppe werden in Form von Hydriden in die Prozesskammer eingeleitet.
Elements from the fifth main group are introduced in the form of hydrides into the process chamber.
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Hier erstreckt sich das Gaseinlassorgan 6 über die gesamte Grundfläche der Prozesskammer.
In this case, the gas-inlet means 6 extends over the entire surface area of the process chamber.
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Sein Abstand zum Boden 3 der Prozesskammer kann somit fest sein.
It may thus be at a fixed distance from the floor 3 of the process chamber.
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Ferner ist eine Prozesskammer 12 angedeutet, in welcher das Verfahren durchgeführt wird.
Furthermore, a process chamber 12 is indicated in which the method is carried out.
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Mit Hilfe der Vakuumeinrichtung wird die Luft aus der Prozesskammer 3 abgesaugt.
The air is suctioned out of the process chamber 3 with the aid of the vacuum apparatus.
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Vorzugsweise wird ein Schutzgas in die Prozesskammer 10 eingeführt.
Preferably, a protective gas is introduced into the process chamber 10 .
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Durch dieses Einlassorgan werden Prozessgase in eine Prozesskammer eingeleitet.
Process gases are introduced into a process chamber through this inlet means.
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Die Prozesskammer besitzt eine Decke und einen Boden.
The process chamber has a ceiling and a floor.
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Es durchströmt die Prozesskammer in radialer horizontaler Richtung.
Flow takes place horizontally through the process chamber in the radial direction.
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Des Weiteren kann sich im Zentrum der Prozesskammer ein Gaseinlassorgan befinden.
Furthermore, a gas-inlet means may be located in the center of the process chamber.
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Die Orientierung erfolgt dabei während des Eintauchens in die Prozesskammer.
In this case the orientation is carried out during the dipping into the processing chamber.
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Hierbei wird vor dem Start der Aufbereitung die Druckdichtigkeit der Prozesskammer 3 überprüft.
Here, the pressure seal of the process chamber 3 is checked before the preparation is started.
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Der Innenradius der so erhaltenen Prozesskammer beträgt circa 120 mm.
The inner radius of the process chamber thus obtained is approx. 120 mm.
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Innerhalb des Reaktorgehäuses befindet sich eine Prozesskammer.
There is a process chamber within the reactor housing.
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Die seitliche Wandung der Prozesskammer 1 wird von einer ringförmigen Seitenwand 4 ausgebildet.
The side wall of the process chamber 1 is formed by an annular side wall 4 .
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Alle Komponenten befinden sich in der Temperatur- und Luftfeuchtigkeits- und gaszusammensetzungskontrollierten Prozesskammer.
All components are housed in temperature- and humidity- and gas composition-controlled process chamber.
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