Translation of "Prozessaufwand" in English
Auf
diese
Weise
kann
insbesondere
der
Werkzeug-
und
Prozessaufwand
verringert
werden.
In
this
way,
in
particular
the
tool
and
process
effort
can
be
reduced.
EuroPat v2
Im
Stand
der
Technik
war
der
Elektrodenabstand
durch
den
Prozessaufwand
der
Schichtdickeneinstellung
limitiert.
In
the
prior
art,
the
electrode
distance
was
limited
by
the
process
effort
of
setting
the
layer
thickness.
EuroPat v2
Der
Prozessaufwand
für
diese
Prozessschritte
ist
zum
Teil
erheblich.
The
process
expenditure
for
those
process
steps
is
in
part
considerable.
EuroPat v2
Das
Nebeneinander
unterschiedlicher
Verfahren
erhöht
den
Prozessaufwand
in
der
Auftragsbearbeitung.
The
coexistence
of
various
methods
increases
process
costs
in
order
processing.
ParaCrawl v7.1
Dies
erfordert
jedoch
ein
sehr
exaktes
Zusammenfügen
und
Binden
der
einzelnen
Blätter
mit
entsprechend
hohem
Prozessaufwand.
This
procedure,
however,
requires
very
precise
joining
and
binding
of
the
individual
sheets,
with
a
corresponding
greater
process
effort.
EuroPat v2
Auf
diese
Weise
können
LED-Bauteile
in
sehr
großen
Stückzahlen
mit
geringem
Anlagen-
und
Prozessaufwand
hergestellt
werden.
In
this
manner,
LED
components
can
now
be
manufactured
in
very
large
quantities
with
modest
plant
and
process
investment.
ParaCrawl v7.1
Es
ist
nun
Aufgabe
der
Erfindung,
ein
Verfahren
zur
Herstellung
eines
Leistungs-IGBT-Bauelements
anzugeben,
welches
es
mit
geringem
zusätzlichem
Prozessaufwand
erlaubt,
einen
IGBT
mit
Leistungsbegrenzung
im
Kurzschlussfall
und
einem
reduzierten
Löcher-Bypass-Widerstand
erzeugen.
Accordingly,
one
object
of
the
invention
is
to
provide
a
novel
method
for
the
production
of
a
power
IGBT
component
which
permits
the
production
of
an
IGBT
with
power
limiting
in
the
event
of
a
short
circuit
and
a
reduced
hole
bypass
resistance
with
little
additional
process
complexity.
EuroPat v2
Der
Nachteil
dieser
Vorgehensweisen
besteht
in
einem
hohen
Prozessaufwand,
der
in
der
Vielzahl
der
Verfahrensschritte
begründet
ist.
The
disadvantage
of
these
procedures
is
the
complicated
process
owing
to
the
large
number
of
process
steps.
EuroPat v2
Die
erfindungsgemäße
Anordnung
erlaubt
es,
Bipolartransistoren
mit
unterschiedlicher
Kollektor-Emitter-Durchbruchsspannung
mit
geringerem
Prozessaufwand
als
im
Vergleich
zu
bekannten
Lösungen
und
ohne
Verschlechterung
der
Hochfrequenzeigenschaften
der
Transistorvarianten
zu
fertigen.
The
arrangement
according
to
the
invention
makes
it
possible
to
produce
bipolar
transistors
with
a
differing
collector-emitter
breakdown
voltage
with
a
lower
level
of
process
expenditure
than
in
comparison
with
known
solutions
and
without
an
adverse
effect
on
the
high-frequency
properties
of
the
transistor
variants.
EuroPat v2
Diese
Prozessabfolge
ist
dahingehend
optimiert,
dass
bei
gegebenem
Prozessaufwand
die
Ausbeute
an
den
teueren
und
gerade
zur
Leuchtstoffherstellung
benötigten
Seltenen
Erden
maximal
wird.
This
process
sequence
is
optimized
so
that,
for
a
given
process
outlay,
the
yield
of
expensive
rare
earths
specifically
required
for
fluorescent
material
production
is
maximal.
EuroPat v2
Durch
diesen
stark
reduzierten
Prozessaufwand
ist
das
beschriebene
Verfahren
sehr
viel
wirtschaftlicher
als
bekannte
Reparaturverfahren
von
keramischen
Faserverbundwerkstoffen.
Owing
to
this
extremely
reduced
process
effort,
the
described
method
is
much
more
cost-effective
than
well-known
repair
methods
of
ceramic
fibrous
composite
materials.
EuroPat v2
Der
Zusatz
weiterer
Polymere
erhöht
jedoch
den
Prozessaufwand
erheblich,
da
in
Abhängigkeit
vom
Übertrag
("Drag
Over")
der
polymeren
Bestandteile
aus
der
Vorbehandlungslösung
in
das
Tauchlackbad
die
Stabilität
des
Tauchlackbades
oder
die
Güte
der
Lackbeschichtung
selbst
negativ
beeinflusst
werden
kann.
However,
the
addition
of
other
polymers
increases
process
costs
considerably
since,
as
a
function
of
the
“drag
over”
of
the
polymeric
components
from
the
pretreatment
solution
into
the
dip
coating
bath,
the
stability
of
the
dip
coating
bath
or
the
quality
of
the
paint
coating
itself
can
be
negatively
affected.
EuroPat v2
Vorteil
einer
solchen
Ausführung
ist
die
durch
sie
ermöglichte,
kompakte
Bauweise,
durch
welche
Kosten,
Prozessaufwand
und
Platz
eingespart
werden.
The
advantage
of
such
a
design
is
the
compact
structure
which
it
enables,
which
results
in
savings
in
costs,
processing
time
and
space.
EuroPat v2
Der
zusätzliche
Biegebalken
B
verringert
allerdings
die
mechanische
Sensitivität
und/oder
erhöht
den
Prozessaufwand
hinsichtlich
der
benötigten
Gräben,
wenn
ansonsten
von
gleichen
Anforderungen
ausgegangen
wird.
The
additional
bending
beam
B,
however,
reduces
the
mechanical
sensitivity
and/or
increases
the
process
outlay
with
respect
to
the
required
trenches,
when
otherwise
assuming
the
same
requirements.
EuroPat v2
Insbesondere
wird
zwischen
den
Balken
PR1,
B,
PR2
eine
möglichst
schmale
Grabenisolation
(STI)
benötigt,
die
einen
erhöhten
Prozessaufwand
bedeutet.
In
particular,
trench
isolation
(STI)
which
is
as
narrow
as
possible
is
required
between
the
beams
PR
1,
B,
PR
2,
which
entails
increased
process
outlay.
EuroPat v2
Der
Nachteil
dieser
Vorgehensweise
liegt
jedoch
in
dem
geringen
erreichbaren
Automatisierungsgrad
und
dem
insgesamt
hohen
Prozessaufwand,
da
die
Aushärtung
im
Montagezustand
zum
Beispiel
innerhalb
eines
schwierig
am
Einbauort
anzubringenden
und
abzudichtenden
Vakuumsacks
erfolgen
muss.
The
drawback
with
this
procedure
is
however
the
low
degree
of
automation
which
can
be
achieved
and
thus
of
the
overall
high
processing
expense
since
hardening
in
the
assembly
position
has
to
take
place
for
example
inside
a
vacuum
sack
which
is
difficult
to
provide
and
seal
at
the
installation
site.
EuroPat v2
Dadurch
lassen
sich
die
erfindungsgemäßen
Mikrofonbauelemente
in
einem
Standard-Sägeprozess
vereinzeln,
wobei
der
durch
das
Aufbringen
und
Entfernen
einer
zweiten
Folie
bedingte
zusätzliche
Prozessaufwand
vernachlässigbar
ist.
As
a
result,
the
microphone
elements
according
to
the
present
invention
are
able
to
be
diced
up
in
a
standard
sawing
process;
the
additional
process
work
caused
by
the
application
and
removal
of
a
second
foil
is
negligible.
EuroPat v2
Jedoch
werden
die
dabei
erforderlichen,
aufwändigen
Fertigungsprozesse
nur
von
sehr
wenigen
Herstellern
beherrscht
und
die
damit
erzielbaren
Vorteile
rechtfertigen
oft
nicht
den
höheren
Prozessaufwand
bei
der
Fertigung.
However,
the
complicated
manufacturing
processes
required
in
the
process
are
only
mastered
by
very
few
producers
and
the
advantages
obtainable
thereby
often
do
not
justify
the
increased
process
complexity
during
the
production.
SUMMARY
EuroPat v2
Darüber
hinaus
wurde
ein
erfindungsgemäßes
Verfahren
vorgestellt,
das
die
Herstellung
einen
Hochfrequenz-Bipolartransistors
mit
den
oben
genannten
Eigenschaften,
ohne
zusätzlichen
Prozessaufwand
ermöglicht.
Moreover,
a
method
has
been
presented
which
makes
it
possible
to
produce
a
high-frequency
bipolar
transistor
having
the
properties
mentioned
above,
without
additional
process
complexity.
EuroPat v2
Weiterhin
ist
es
Aufgabe,
ein
Verfahren
zur
Herstellung
solch
eines
Bipolartransistors,
ohne
zusätzlichen
Prozessaufwand
zu
erreichen.
Furthermore,
it
is
an
object
to
achieve
a
method
for
the
production
of
such
a
bipolar
transistor
without
additional
process
complexity.
EuroPat v2
Allen
dort
beschriebenen
Stacked-Crystal-Filtern
ist
jedoch
gemeinsam,
dass
ihre
Herstellung
aufgrund
ihres
komplexen
Aufbaus
und
der
damit
verbundenen
hohen
Anzahl
abzuscheidender
und
zu
strukturierender
Schichten
einen
hohen
Prozessaufwand
erfordern,
der
die
Herstellungskosten
der
Filter
erhöht.
What
is
common
to
all
the
stacked
crystal
filters
described
therein,
however,
is
that
their
production,
on
account
of
their
complex
construction
and
the
associated
high
number
of
layers
to
be
deposited
and
to
be
patterned,
requires
a
high
process
outlay
which
increases
the
production
costs
of
the
filters.
EuroPat v2
Insbesondere
ist
es
die
Aufgabe
der
vorliegenden
Erfindung,
piezoelektrische
Bauelemente
bereitzustellen,
die
mit
einem
relativ
geringen
Prozessaufwand
hergestellt
werden
können.
In
particular,
the
object
of
the
present
invention
is
to
provide
piezoelectric
components
which
can
be
produced
with
a
relatively
low
process
outlay.
EuroPat v2
Hierdurch
kann
ohne
zusätzlichen
Prozessaufwand
ein
Hochfrequenz-Bipolartransistor
erzeugt
werden,
der
sowohl
einen
geringen
Platzbedarf
als
auch
einen
niedrigen
Kollektorwiderstand
und
damit
eine
hohe
Transitfrequenz
kombiniert.
This
makes
it
possible,
without
additional
process
complexity,
to
produce
a
high-frequency
bipolar
transistor
which
combines
both
a
small
space
requirement
and
a
low
collector
resistance
and
hence
a
high
transition
frequency.
EuroPat v2
Für
die
zusätzliche
Passivierungsschicht
über
der
Gitterstruktur
kann
der
gleiche
Prozess
verwendet
werden
wie
für
die
Passivierungsschicht
unter
der
Elektrode,
so
dass
sich
insgesamt
der
Prozessaufwand
nur
wenig
erhöht.
The
same
process
may
be
used
for
the
additional
passivation
layer
above
the
grid
structure
as
for
the
passivation
layer
below
the
electrode,
so
the
process
expenditure
increases
only
slightly
overall.
EuroPat v2
Damit
soll
das
Ziel
verfolgt
werden,
den
Prozessaufwand
und
somit
die
Komplexität
und
den
Kostenaufwand
der
vorgeschlagenen
komplementären
BiCMOS-Technologie
gering
zu
halten.
That
is
intended
to
pursue
the
aim
of
keeping
down
the
level
of
process
complication
and
expenditure
and
thus
the
complexity
and
cost
of
the
proposed
complementary
BiCMOS
technology.
EuroPat v2
Steigende
Fertigungskosten
aufgrund
von
Anforderungen
an
die
Einhaltung
gesetzlicher
Vorschriften,
übermäßigem
Prozessaufwand
oder
ineffizientem
Einsatz
von
Ressourcen
schmälern
Ihren
Gewinn.
Whether
it
is
compliance
regulations,
excessive
work
in
process,
or
inefficient
use
of
resources,
increasing
production
costs
cut
into
your
profits.
ParaCrawl v7.1
Beispielsweise
stehen
im
Bereich
Finanzen
und
Einkauf
die
Themen
Datentransparenz
und
Kosten
stark
im
Vordergrund,
wohingegen
es
unter
der
Federführung
des
Personalbereichs
eher
der
Reisende
und
der
Prozessaufwand
sind.
For
example,
the
issues
of
data
transparency
and
costs
are
heavily
at
the
forefront
of
considerations
in
the
areas
of
finance
and
procurement,
whereas
the
traveller
and
the
process
expenditure
tend
to
be
more
important
if
the
personnel
department
is
lead
manager.
ParaCrawl v7.1
Es
ist
ein
geringer
Prozeßaufwand
erforderlich,
um
die
Solarzellen
herzustellen.
Low
process
expenditure
is
necessary
to
make
the
solar
cells.
EuroPat v2
Das
bedeutet
einen
reduzierten
Prozeßaufwand.
That
means
a
reduced
process
outlay.
EuroPat v2
Das
genannte
Substrat
erfordert
einen
zusätzlichen
Prozeßaufwand
und
bedingt
aufgrund
der
beschriebenen
hellen,
weißen
oder
metallischen
Oberfläche
-
insbesondere
an
Kanten
-
Deckkraftprobleme
bei
der
nachfolgenden
Beschichtung
in
dunklen
Farben.
The
aforementioned
substrate
requires
an
additional
process
expenditure
and
resources
and,
on
account
of
the
aforedescribed
bright,
white
or
metallic
surface
causes
hiding
power
problems
-
especially
at
the
edges
-
during
the
subsequent
coating
in
dark
colours.
EuroPat v2
Der
Erfindung
liegt
das
Problem
zugrunde,
ein
Verfahren
zur
Herstellung
einer
CMOS-Schaltungsanordnung
anzugeben,
bei
dem
der
Prozeßaufwand
reduziert
wird.
The
present
invention,
therefore,
is
based
on
the
problem
of
specifying
a
method
for
producing
a
CMOS
circuit
in
which
the
process
outlay
is
reduced.
EuroPat v2
Der
Erfindung
liegt
das
Problem
zugrunde,
eine
integrierte
CMOS-Schaltungsanordnung
anzugeben,
die
mit
reduziertem
Platzbedarf
und
reduziertem
Prozeßaufwand
herstellbar
ist.
The
present
invention
is
based
on
the
problem
of
providing
an
integrated
CMOS
circuit
which
can
be
produced
with
a
reduced
space
requirement
and
a
reduced
process
outlay.
EuroPat v2
Die
DRAM-Zellenanordnung
kann
mit
einem
im
Vergleich
zum
Stand
der
Technik
kleinen
Prozeßaufwand
bei
zugleich
hoher
Pakkungsdichte
hergestellt
werden.
The
DRAM
cell
arrangement
can
be
produced
with
a
small
processing
expense
compared
to
the
prior
art,
while
simultaneously
achieving
a
higher
packing
density.
EuroPat v2
Dadurch
können
Verbindungen
zwischen
Source/Drain-Gebieten
der
Transistoren
innerhalb
der
Halbleiterstruktur
verlaufen,
was
sowohl
den
Prozeßaufwand
verkleinert
als
auch
die
Packungsdichte
erhöht.
This
makes
it
possible
for
connections
between
source/drain
regions
of
the
transistors
to
run
within
the
semiconductor
structure,
which
both
reduces
the
process
complexity
and
increases
the
packing
density.
EuroPat v2
Dies
stellt
eine
Vorstrukturierung
dar,
die
den
Prozeßaufwand
bezüglich
der
Strukturierung
der
Schichtenfolge
sowie
der
Erzeugung
leitender
Strukturen,
wie
z.B.
Bitleitungen,
verringert.
This
constitutes
pre-structuring,
which
reduces
the
process
complexity
with
regard
to
the
structuring
of
the
layer
sequence
and
the
production
of
conductive
structures,
such
as
bit
lines,
for
example.
EuroPat v2
Der
Erfindung
liegt
daher
die
Aufgabe
zugrunde,
ein
neuartiges
Konzept
für
ein
Mikrosystem
mit
einem
mikromechanischen
Bauteil
anzugeben,
wobei
das
Bauteil
als
Motor,
Aktor
oder
Kraftsensor
eingesetzt
werden
kann,
sowie
ein
Herstellverfahren
für
ein
Mikrosystem
anzugeben,
bei
welchem
ausgehend
von
der
IS-Herstellung
ein
nur
minimaler
zusätzlicher
Prozeßaufwand
für
die
Herstellung
des
mikromechanischen
Bauteils
notwendig
ist.
It
is
accordingly
an
object
of
the
invention
to
provide
a
micromechanical
component
with
a
dielectric
movable
structure,
a
microsystem,
and
a
production
process,
which
overcome
the
hereinafore-mentioned
disadvantages
of
the
heretofore-known
products
and
processes
of
this
general
type,
which
can
be
used
as
a
proportional
or
non-proportional
force
sensor
and
in
which
only
minimal
additional
process
effort
and
expense
are
needed
to
make
the
micromechanical
component,
beginning
with
the
IC
production.
EuroPat v2
Der
Erfindung
liegt
daher
die
Aufgabe
zugrunde,
ein
neuartiges
Konzept
und
ein
Herstellverfahren
für
ein
mikromechanisches
Bauteil
anzugeben,
das
als
proportionaler
oder
nicht-proportionaler
Kraftsensor
eingesetzt
werden
kann,
sowie
ein
Mikrosystem
mit
einer
integrierten
Schaltung
und
einem
mikromechanischen
Bauteil
und
ein
Herstellverfahren
anzugeben,
bei
welchem
ausgehend
von
der
IS-Herstellung
ein
nur
minimaler
zusätzlicher
Prozeßaufwand
für
die
Herstellung
des
mikromechanischen
Bauteils
notwendig
ist.
It
is
accordingly
an
object
of
the
invention
to
provide
a
micromechanical
component
with
a
dielectric
movable
structure,
a
microsystem,
and
a
production
process,
which
overcome
the
hereinafore-mentioned
disadvantages
of
the
heretofore-known
products
and
processes
of
this
general
type,
which
can
be
used
as
a
proportional
or
non-proportional
force
sensor
and
in
which
only
minimal
additional
process
effort
and
expense
are
needed
to
make
the
micromechanical
component,
beginning
with
the
IC
production.
EuroPat v2
Als
nachteilhaft
bei
den
obigen
bekannten
Ansätzen
hat
sich
die
Tatsache
herausgestellt,
daß
sie
einen
hohen
Prozeßaufwand
erfordern
und
die
Isolationsschicht
häufig
anfällig
gegenüber
Spannungen
und
Streß
in
sich
und
zum
Substrat
ist,
wobei
letzteres
insbesondere
auf
die
LOCOS-Technologie
zutrifft.
A
disadvantageous
fact
that
has
come
to
light
in
the
case
of
the
prior
art
approaches
noted
above
is
that
they
require
a
high
process
outlay
and
the
insulation
layer
is
frequently
susceptible
to
shear
tension
and
stress
within
itself
and
with
respect
to
the
substrate;
the
latter
applies
in
particular
to
LOCOS
technology.
EuroPat v2
Der
Erfindung
liegt
das
Problem
zugrunde,
eine
Schaltungsanordnung
mit
mindestens
einem
Kondensator
anzugeben,
wobei
der
Kondensator
mit
hoher
Packungsdichte
und
mit
im
Vergleich
zum
Stand
der
Technik
verringertem
Prozeßaufwand
herstellbar
ist.
SUMMARY
OF
THE
INVENTION
The
invention
provides
a
circuit
arrangement
with
at
least
one
capacitor
that
has
a
higher
packing
density
and
a
reduced
procedural
outlay.
EuroPat v2
Der
Erfindung
liegt
das
Problem
zugrunde,
eine
DRAM-Zellenanordnung
anzugeben,
die
bei
hoher
Packungsdichte
mit
im
Vergleich
zum
Stand
der
Technik
kleinerem
Prozeßaufwand
herstellbar
ist.
The
invention
is
based
on
the
problem
of
proposing
a
DRAM
cell
arrangement
which,
given
a
high
packing
density,
can
be
produced
with
a
smaller
processing
outlays
than
previously
available.
EuroPat v2
Da
sowohl
die
Bitleitung
als
auch
der
Speicherkondensator
an
einer
Oberfläche
des
Halbleitersubstrats
erzeugt
werden,
wird
die
Erzeugung
von
im
Halbleitersubstrat
vergrabenen
Strukturen
vermieden,
was
ebenfalls
den
Prozeßaufwand
verkleinert.
Since
not
only
the
bit
line,
but
also
the
storage
capacitor
is
created
at
a
surface
of
the
semiconductor
substrate,
the
creation
of
structures
that
are
buried
in
the
semiconductor
substrate
is
avoided,
which
also
reduces
the
processing
outlay.
EuroPat v2
Daher
ist
es
Aufgabe
der
vorliegenden
Erfindung,
ein
verbessertes
Verfahren
zur
Herstellung
einer
Halbleiter-Isolationsschicht
und
eines
diese
Halbleiterisolationsschicht
enthaltenden
Halbleiterbauelements
anzugeben,
durch
das
mit
verhältnismäßig
geringem
Prozeßaufwand
eine
streßfreie
stabile
Isolation
geschaffen
werden
kann.
It
is
accordingly
an
object
of
the
invention
to
provide
a
method
for
fabricating
a
semiconductor
insulation
layer,
which
overcomes
the
above-mentioned
disadvantages
of
the
heretofore-known
devices
and
methods
of
this
general
type
and
which
makes
it
possible
to
create
stress-free,
stable
insulation
with
a
comparatively
low
process
outlay.
EuroPat v2
Die
Integration
des
Widerstandselements
zieht
dabei
nur
einen
minimalen
zusätzlichen
Prozeßaufwand
nach
sich,
wobei
technologisch
gut
beherrschte
Prozesse
zur
Anwendung
kommen.
At
the
same
time,
the
integration
of
the
resistance
element
entails
only
a
minimal
additional
process
complexity
and
processes
that
are
technologically
well
controlled
are
used.
EuroPat v2
Der
Erfindung
liegt
die
Aufgabe
zugrunde,
einen
programmierbaren
Halbleiterspeicher
zu
schaffen,
der
in
einem
MOS-Prozeß
mit
geringem
Prozeßaufwand
herstellbar
ist
und
nur
wenig
Platz
beansprucht.
It
is,
therefore,
the
object
of
the
present
invention
to
provide
a
programmable
semiconductor
memory
which
can
be
fabricated
with
an
MOS
process
of
low
complexity
and
takes
up
less
space
than
prior
art
programmable
semiconductor
memories.
SUMMARY
OF
THE
INVENTION
EuroPat v2
Die
gefundene
Lösung
zeichnet
sich
insbesondere
dadurch
aus,
einen
Beschleunigungssensor
gemäß
dem
Oberbegriff
des
Patentanspruchs,
der
mit
einem
Minimum
an
Prozeßaufwand
hergestellt
ist,
ohne
weitere
bauliche
Maßnahmen
abzudichten.
The
solution
of
the
present
invention
is
distinguished
especially
by
sealing
an
acceleration
sensor,
as
described
above,
which
is
produced
with
a
minimum
of
processing
effort
without
additional
constructional
measures.
EuroPat v2