Translation of "Profilkontrolle" in English
Im
Anschluss
durchlaufen
sie
zunächst
eine
Profilkontrolle.
They
then
run
through
a
profile
check.
ParaCrawl v7.1
Derartige
Abweichungen
der
Direktionalität
der
einfallenden
Ionen
korrelieren
dann
mit
einer
erschwerten
Profilkontrolle
der
erzeugten
Ätzprofile.
Such
deviations
in
the
directionality
of
the
incident
ions
then
correlates
to
more
difficult
profile
verification
of
the
produced
etching
profile.
EuroPat v2
In
diesem
Bereich
waren
sowohl
die
Antriebe
als
auch
die
Sensoren
und
die
Profilkontrolle
Ex-geschützt
auszuführen.
In
this
area,
the
drives
as
well
as
the
sensors
and
the
profile
control
system
had
to
be
provided
with
explosion
protection.
ParaCrawl v7.1
Die
Einsatzgebiete
reichen
von
der
Breiten-,
Höhen-
und
Profilkontrolle
bei
Paletten
in
der
Lager-
und
Fördertechnik
über
die
Erfassung
nicht
positionsgeführter
Objekte,
Überstandskontrollen
größerer
Transportgüter
bis
hin
zur
Türüberwachung
in
Aufzügen.
Application
areas
range
from
controlling
the
width,
height,
and
profile
of
pallets
in
material
handling
facilities
to
detecting
position-independent
objects,
controlling
overlap
on
larger
conveyed
goods,
and
monitoring
elevator
doors.
ParaCrawl v7.1
Die
erfindungsgemäßen
Verfahren
mit
den
kennzeichnenden
Merkmalen
der
unabhängigen
Ansprüche
haben
gegenüber
dem
Stand
der
Technik
den
Vorteil,
daß
damit
eine
Verbesserung
der
Profilkontrolle
und
eine
höhere
Ätzrate
bei
Plasmaätzverfahren
von
Silizium,
insbesondere
bei
anisotropen
Hochratenplasmaätzverfahren,
erreicht
wird.
The
exemplary
method
according
to
the
present
invention
is
believed
to
have
the
advantage
over
the
related
art
that
it
allows
improved
profile
control
and
higher
etching
rates
in
the
plasma
etching
process
of
silicon,
in
particular,
in
an
anisotropic
high-rate
plasma
etching
process.
EuroPat v2
Die
erfindungsgemäße
Plasmaanlage
und
das
erfindungsgemäße
Verfahren
erlaubt
daher
eine
weitgehende
Annäherung
an
einen
"optimalen
Prozess"
unter
Beibehaltung
der
Anisotropie
der
Ätzung
und
einer
hohen
Profilkontrolle
und
Maskenselektivität.
The
plasma
system
and
the
method
according
to
the
present
invention
thus
allow
extensive
approximation
of
an
“optimum
process”
while
maintaining
the
anisotropy
of
the
etching
and
high
profile
control
and
mask
selectivity.
EuroPat v2
Das
erfindungsgemäße
Verfahren
und
die
erfindungsgemäße
Plasmaanlage
haben
gegenüber
dem
Stand
der
Technik
den
Vorteil
einer
höheren
Ätzrate
vor
allem
bei
der
anisotropen
Ätzung
von
insbesondere
Silizium
als
Substrat
bei
gleichzeitig
hoher
Profilkontrolle
und
insbesondere
auch
weiterhin
hoher
Maskenselektivität.
The
method
and
the
plasma
system
according
to
the
present
invention
have
the
advantage
of
a
higher
etching
rate,
e.g.,
when
anisotropically
etching
silicon
as
a
substrate,
while
simultaneously
providing
greater
profile
control
and
additionally
greater
mask
selectivity.
EuroPat v2
Dieser
hohe
Prozeßdruck
bewirkt
zusätzlich
eine
Absenkung
der
Ionendichte
im
Ätzschritt,
was
durch
Reduktion
des
Ionenstroms
zum
Siliziumkörper
18
schädliche
Aufladungseffekte
vermindert
und
damit
die
Profilkontrolle
verbessert.
This
high
process
pressure
causes
the
ion
density
to
the
reduced
in
the
etching
step,
which
reduces
harmful
charging
effects
by
reducing
the
ion
flow
rate
to
silicon
body
18
thus
improving
profile
control.
EuroPat v2
Nach
erfolgreicher
Profilkontrolle
hebt
ein
S-Förderer
die
Ladeeinheiten
von
800
mm
auf
eine
Förderhöhe
von
4.500
mm.
After
a
success
profile
check,
an
S
conveyor
lifts
the
load
units
from
800
mm
a
conveying
height
of
4,500
mm.
ParaCrawl v7.1