Translation of "Potentialmessung" in English
Figur
4
zeigt
das
Prinzip
der
stroboskopischen
Potentialmessung
bei
einer
erfindungsgemäßen
Anordnung.
FIG.
4
shows
the
principle
of
the
stroboscopic
potential
measurement
in
an
arrangement
according
to
the
invention.
EuroPat v2
Die
Erfindung
betrifft
ein
Verfahren
und
eine
Anordnung
zur
quantitativen
Potentialmessung
an
Oberflächenwellenfiltern.
The
invention
relates
to
a
method
and
to
an
arrangement
for
quantitative
potential
measurement
of
surface-wave
filters.
EuroPat v2
Zweck
der
Erfindung
ist
die
quantitative
Potentialmessung
an
Oberflächenwellenfiltern.
The
purpose
of
the
invention
is
to
provide
quantitative
potential
measurements
on
surface-wave
filters.
EuroPat v2
Für
die
eigentliche
Potentialmessung
ist
jedoch
nach
dem
Ätzvorgang
ein
gesonderter
Elektronenstrahltester
erforderlich.
However,
according
to
the
etching
process
a
separate
electron
beam
tester
is
necessary
for
the
actual
potential
measurement.
EuroPat v2
In
der
Elektronenstrahlmeßtechnik
sind
Verfahren
zur
Potentialmessung
in
integrierten
Schaltungen
bekannt.
Methods
are
known
in
electron
beam
measuring
technology
for
potential
measurement
in
integrated
circuits.
EuroPat v2
Zur
Potentialmessung
ist
dabei
ein
Platin/Kalomel-Elektrodenpaar
geeignet.
A
platinum/calomel-electrode
pair
is
suitable
in
this
case
for
the
potential
measurement.
EuroPat v2
Die
Abscheidung
(Schichtdicke)
kann
durch
Potentialmessung
verfolgt
werden.
The
deposition
(layer
thickness)
can
be
monitored
by
potential
measurement.
EuroPat v2
Dadurch
ergibt
sich
eine
enge
zeitliche
Zuordnung
der
Potentialmessung
zur
Erdwiderstandsmessung.
This
results
in
a
tight
time
allocation
of
the
potential
measurement
to
the
earth-resistance
measurement.
EuroPat v2
Zur
Potentialmessung
wird
zunächst
der
Arbeitspunkt
des
Spektrometers
30
eingestellt.
So
as
to
make
a
potential
measurement,
the
operating
point
of
the
spectrometer
30
is
first
set.
EuroPat v2
Figur
4
zeigt
das
Prinzip
der
stroboskopischen
Potentialmessung
mit
einer
erfindungsgemässen
Anordnung.
FIG.
4
shows
the
principle
of
the
stroboscopic
potential
measurement
with
an
arrangement
according
to
the
invention.
EuroPat v2
Die
Figur
zeigt
eine
Anordnung
zur
quantitativen
Potentialmessung
an
Oberflächenwellenfiltern.
The
FIGURE
shows
an
arrangement
for
quantitative
potential
measurement
of
surface-wave
filters.
EuroPat v2
Es
ist
ein
robustes
und
universell
einsetzbares
Verfahren
zur
berührungslosen
Potentialmessung
geschaffen.
A
robust
and
universally
usable
method
for
contactless
potential
measurement
is
provided.
EuroPat v2
Die
Spitze
dient
somit
der
Ankopplung
an
die
Probe
zwecks
Potentialmessung.
The
tip
preferably
forms
the
surface
for
the
potential
measurement.
EuroPat v2
Dies
ist
für
eine
Potentialmessung
sehr
störend
und
kann
sie
u.
U.
völlig
unmöglich
machen.
This
is
very
disruptive
for
potential
measurement
and
can
make
it
quite
impossible
in
certain
circumstances.
EuroPat v2
Eine
noch
zuverlässigere
Abschätzung
der
Korrosionswahrscheinlichkeit
kann
durch
die
Potentialmessung
nach
einer
anodischen
Polarisation
erzielt
werden.
An
even
more
reliable
estimate
of
the
probability
of
corrosion
can
be
achieved
by
measurement
of
the
potential
after
anodic
polarization.
EuroPat v2
Das
Verfahren
ermöglicht
eine
quantitative
Potentialmessung
an
Leiterbahnen
eines
integrierten
Schaltkreises
ohne
manuelle
Einstellung.
The
method
and
apparatus
allow
the
quantitative
potential
measurement
to
be
made
on
the
conducting
paths
of
an
integrated
circuit
without
utilizing
manual
adjustments.
EuroPat v2
Zur
Signalverarbeitung
wurde
ein
Vorverstärker
aufgebaut,
der
zusammen
mit
einem
Regelverstärker
eine
Potentialmessung
ermöglicht.
A
preamplifier
was
constructed
for
the
signal
processing
which,
together
with
a
controlled-gain
amplifier,
makes
a
potential
measurement
possible.
EuroPat v2
Die
elektrochemischen
Untersuchungen
wurden
an
einer
Halbzelle
in
Drei-Elektroden-Anordnung
(stromlose
Potentialmessung)
durchgeführt.
The
electrochemical
studies
were
carried
out
on
a
half
cell
in
a
three-electrode
arrangement
(zero-current
potential
measurement).
EuroPat v2
So
kann
das
Gerät
beispielsweise
im
Herzen
pathologische
elektrische
Signale
durch
Potentialmessung
an
der
Herzwand
orten.
For
instance,
the
instrument
can
localize
pathological
electric
signals
in
the
heart
by
measuring
the
potential
on
the
myocardium.
EuroPat v2
Zur
analytischen
Verfolgung
der
Konzentrationen
der
Verbindungen
des
Redoxsystems
kann
eine
Potentialmessung
durchgeführt
werden.
For
the
analytical
control
of
the
concentrations
of
the
compounds
of
the
redox
couple,
a
potential
measurement
can
be
carried
out.
EuroPat v2
Die
Erfindung
beruht
nun
auf
der
Erkenntnis,
daß
der
Regelkreis
sowohl
die
Einstellung
des
Arbeitspunktes
als
auch
die
Potentialmessung
selbst
automatisch
ausführen
kann.
SUMMARY
OF
THE
INVENTION
The
present
invention
discloses
the
automatic
setting
and
maintaining
of
the
control
loop
by
automatically
setting
the
operating
point
as
well
as
automatically
accomplishing
the
potential
measurements.
EuroPat v2
Eine
Potentialmessung
mit
Hilfe
von
Sekundärelektronen,
wie
sie
bei
Halbleiterschaltungen
angewandt
wird,
versagt
bei
der
Messung
an
Oberflächenwellenfiltern
wegen
der
dabei
auftretenden
Aufladung.
A
potential
measurement
with
the
assistance
of
secondary
electrons
as
is
employed
in
semiconductor
circuits
with
the
use
of
electron
beam
testing
devices
fails
in
the
measurement
of
surface-wave
filters
because
of
the
charge
which
thereby
occurs.
EuroPat v2
Wenn
er
die
vorgesehene
Position
in
der
Herzkammer
bzw.
im
Herzvorhof
erreicht
hat,
so
kann
-
wie
es
weiter
unten
noch
näher
erläutert
werden
wird
-
zunächst
eine
Potentialmessung
vorgenommen
werden,
bevor
das
Befestigungselement
zum
Verhaken
des
Elektrodenkopfes
ausgefahren
wird.
Once
the
intended
position
in
the
ventricle
has
been
reached,
a
potential
measurement
can
be
effected
initially,
as
will
be
described
in
detail
below,
before
the
fastening
means
are
extended
to
hook
the
electrode
head
in
place.
EuroPat v2
Die
berührungslose
Potentialmessung
an
integrierten
Schaltkreisen
geschieht
durch
Messung
der
Energie
der
an
einer
Meßstelle
ausgelösten
Sekundärelektronen.
The
invention
relates
to
a
device
for
contact
free
potential
measurements
of
integrated
circuits
by
means
of
measuring
the
energy
of
the
secondary
electrons
released
at
the
measuring
location.
EuroPat v2
Die
Kontrole
des
Cu
2+
/Cu
+
-Verhältnisses
in
der
kupferhaltigen,
vorwiegend
chloridischen
Lösung
erfolgt
vorzugsweise
mittels
Potentialmessung.
The
Cu2+
/Cu+
-ratio
in
the
copper-containing,
predominantly
chloridic
solution
is
preferably
monitored
by
potential
measurements.
EuroPat v2
Die
Erfindung
bezieht
sich
auf
eine
Einrichtung
zur
berührungslcsen
Potentialmessung
mit
einem
Primärelektronenstrahl,
welcher
an
der
Meßstelle
eines
elektronischen
Bauelements,
vorzugsweise
eines
integrierten
Schaltkreises,
Sekundärelektronen
auslöst,
deren
Energie
mit
einem
Spektrometer
bestimmt
wird.
Field
of
the
Invention
The
invention
relates
to
a
device
for
contact-free
potential
measurements
using
a
primary
electron
beam
which
triggers
secondary
electrons
at
the
measuring
point
of
an
electronic
component,
preferably
an
integrated
circuit,
and
the
energy
of
the
released
secondary
electrons
are
determined
with
a
spectrometer.
EuroPat v2
Außerdem
ist
der
Durchmesser
des
Primärelektronenstrahls
wesentlich
abhängig
vom
Arbeitsabstand,
der
somit
nur
gering
sein
darf,
wenn
der
Primärelektronenstrahl-Durchmesser
zur
Potentialmessung
an
schmalen
Leiterbahnen
geeignet
sein
soll.
Also,
the
diameter
of
the
primary
electron
beam
essentially
depends
on
the
working
distance
which,
thus,
may
be
small
only
if
the
primary
electron
beam
diameter
is
to
be
suitable
for
potential
measurements
on
narrow
paths.
EuroPat v2