Translation of "Plasmareinigung" in English
Im
Gegensatz
zur
Nasschemie
erfüllt
die
Plasmareinigung
die
Bedingungen
für
integrierten
Umweltschutz.
In
opposition
to
wet
bath
chemistry
plasma
cleaning
fulfils
the
conditions
of
integrated
environmental
protection.
ParaCrawl v7.1
Durch
die
Plasmareinigung
werden
organische
Verunreinigungen
von
der
Oberfläche
abgetragen.
The
organic
impurity
will
be
removed
from
the
surface
by
the
plasma
cleaning.
ParaCrawl v7.1
Plasmareinigung
ist
der
beste
Weg
um
absolut
saubere,
fettfreie
Oberflächen
zu
erhalten.
Plasma
cleaning
has
proved
to
be
the
best
way
to
get
really
clean,
absolute
grease-free
surfaces.
ParaCrawl v7.1
Nach
abgeschlossener
Plasmareinigung
wurden
die
Probestäbe
direkt
ohne
eine
Unterbrechung
des
Vakuums
mit
einer
3
µm
dicken
TiN-Schicht
zur
Überprüfung
des
Reinigungseffekts
beschichtet.
When
plasma
cleaning
had
been
completed,
without
interrupting
the
vacuum
the
test
rods
were
directly
coated
with
a
TiN
layer
3
?m
thick
to
check
the
cleaning
effect.
EuroPat v2
Als
Arbeitsgase
zur
Plasmareinigung
kommen
in
der
reduzierenden
Betriebsphase
Wasserstoff,
in
der
oxidierenden
Phase
Sauerstoff
zum
Einsatz.
The
working
gases
used
for
the
plasma
cleaning
are
hydrogen
in
the
reducing
operational
phase
and
oxygen
in
the
oxidizing
phase.
EuroPat v2
Verfahren
nach
Anspruch
1,
dadurch
gekennzeichnet,
daß
die
Vorbehandlung
eine
Plasmareinigung
mit
Wasserstoff
mit
einem
Wasserstoffanteil
größer
als
95%
ist,
wobei
die
Substrattemperatur
im
Bereich
von
600
bis
1100°
C
liegt.
The
process
according
to
claim
1,
wherein
the
pretreatment
comprises
plasma
cleaning
with
hydrogen
with
a
hydrogen
proportion
higher
than
95%,
the
substrate
temperature
being
in
the
range
600
to
1100°
C.
EuroPat v2
Verfahren
nach
Anspruch
3,
dadurch
gekennzeichnet,
daß
die
Plasmareinigung
unter
gleichzeitiger
Anlegung
einer
Bias-Spannung
von
+50
bis
-300
Volt
erfolgt.
The
process
according
to
claim
3,
wherein
plasma
cleaning
takes
place
accompanied
by
the
simultaneous
application
of
a
bias
voltage
of
+50
to
?300
V.
EuroPat v2
Um
solchen
Problemen
vorzubeugen,
wurde
bislang
mittels
diverser
Präventivmaßnahmen,
wie
der
zyklischen
Reinigung
der
Schablonen
beim
Herstellungsprozess,
beziehungsweise
mittels
unterschiedlicher
Nachbehandlungsmethoden,
wie
einer
Plasmareinigung
oder
einer
chemischen
Reinigung
versucht,
die
Kontaminierung
der
Bondbereiche
der
Bondleads
zu
verhindern.
In
order
to
prevent
such
problems,
attempts
have
hitherto
been
made,
using
diverse
preventive
measures,
such
as
the
cyclic
cleaning
of
the
screens
during
the
production
process,
or
using
various
post
treatment
methods,
such
as
plasma
cleaning
or
chemical
cleaning,
to
prevent
the
contamination
of
the
bonding
regions
of
the
bonding
leads.
EuroPat v2
Bevorzugt
wird
dabei
so
vorgegangen,
daß
entweder
eine
Reinigung
im
Ultra-Hochvakuum
bei
<
10
-9
mbar
durchgeführt,
wobei
eine
Substrattemperatur
von
>
950°C
erforderlich
ist,
oder
es
wird
eine
Plasmareinigung
mit
H
2
mit
oder
ohne
Bias-Spannung
vorgenommen.
Preferably
the
procedure
is
such
that
there
is
either
a
cleaning
or
purification
in
ultra-high
vacuum
at
<10
?9
mbar,
which
requires
a
substrate
temperature
of
>950°
C.,
or
a
plasma
cleaning
takes
place
with
H
2
with
or
without
a
bias
voltage.
EuroPat v2
Besonders
vorteilhaft
ist
es
beim
erfindungsgemäßen
Verfahren,
wenn
bei
der
Plasmareinigung
ebenfalls
eine
negative
Bias-Spannung
am
Substrat
angelegt
wird.
In
the
method
according
to
the
invention,
it
is
particularly
advantageous
if
during
plasma
cleaning
a
negative
bias
voltage
is
also
applied
to
the
substrate.
EuroPat v2
So
könnte
beispielsweise
durch
poröse
Hohlfäden
1a
eine
Blutplasmaseparation
und
im
extrakapillären
Raum
eine
Plasmareinigung
bewirkt
werden,
wobei
das
gereinigte
Plasma
anschließend
durch
poröse
Hohlfäden
1b
wieder
abgeführt
werden
kann.
Thus,
for
example,
a
blood
plasma
separation
can
be
effected
via
porous
hollow
fibers
1a
and
plasma
purification
in
the
extracapillary
compartment,
whereby
the
purified
plasma
can
then
again
be
removed
through
porous
hollow
fibers
1b.
EuroPat v2
In
den
gleichen
Anlagen
wie
für
die
Plasmareinigung
läßt
sich
eine
"Plasmachemie"
machen,
indem
ein
geeignetes
Gas,
wie
Siliconöldampf
oder
Methan
eingelassen
wird.
Plasma
coating
is
produced
in
this
plant
by
creating
a
"plasma
chemistry".
This
"plasma
chemistry"
is
created
through
introducing
an
adequate
gas
(i.e.
silicon-oil
vapor
or
methane).
ParaCrawl v7.1
Auch
eine
nachfolgende
Plasmareinigung
führte
nicht
zu
einer
vollständigen
Entfernung
der
DDBS-Schichten,
so
dass
die
Tensidreste
ein
Haftungsversagen
im
nächsten
Produktionsschritt
auslösten.
A
subsequent
plasma
cleaning
step
did
not
lead
to
a
complete
removal
of
the
DBSA
layer
either,
which
led
to
adhesive
failure
in
the
next
process
step.
ParaCrawl v7.1
Vorzugsweise
erfolgt
vor
der
Aufbringung
der
Metallisierung
eine
Reinigung
des
Trägers
von
Rückständen
aus
den
beiden
Spritzgussverfahren,
beispielsweise
mittels
einer
Plasmareinigung
oder
einer
nasschemischen
Reinigung.
Before
the
metallization
is
applied,
the
carrier
is
preferably
cleaned
of
residues
from
the
two
injection
molding
processes,
for
example
by
plasma
cleaning
or
wet
chemical
cleaning.
EuroPat v2
In
einem
ersten
Verfahrensschritt
werden
die
am
Gestell
2
gehaltenen
Polrohre
1
zur
Entfernung
von
Öl-
und
Fettschichten
entfettet,
wobei
wässrige
Verfahren,
organische
Lösemittel
oder
sonstige
Verfahren,
wie
beispielsweise
eine
Plasmareinigung
in
einem
ersten
Bad
verwendet
werden
können.
In
a
first
method
step,
the
pole
tubes
1
held
on
the
frame
2
are
degreased
in
order
to
remove
layers
of
oil
and
fat,
it
being
possible
to
use
aqueous
methods,
organic
solvents
or
other
methods
such
as,
for
example,
plasma
cleaning
in
a
first
bath.
EuroPat v2
Es
kann
sich
nun
ergeben,
dass
im
Zuge
einer
vor
dem
Aufbringen
einer
Mehrlagenschicht
stattfindenden
Oberflächenbehandlung
des
Trägers
15
und/oder
der
Bereiche
der
auf
dem
Träger
15
aufgebrachten
Widerstandsbahn
14
zum
Zwecke
der
Reinigung,
beispielsweise
einer
Plasmareinigung,
eine
dünne
isolierende
Subschicht
zwischen
dem
Träger
15
beziehungsweise
in
den
Bereichen
der
auf
dem
Träger
15
aufgebrachten
Widerstandsbahn
14
und
der
ausebnenden
ersten
Polymerschicht
19'
entsteht.
It
may
happen
that
in
the
course
of
a
surface
treatment
prior
to
the
application
of
the
smoothing
first
polymer
layer
19
?
for
cleaning
purposes,
for
example
a
plasma
cleaning
of
the
carrier
substrate
15
and/or
of
the
resistor
track
14
which
extends
on
the
substrate,
a
thin
insulating
sublayer
is
formed
over
the
carrier
substrate
15
and
the
resistor
track
14
that
lies
on
the
substrate
15
.
EuroPat v2
Es
kann
sich
als
nützlich
erweisen,
vor
Beginn
des
Beschichtungsvorgangs
die
Unterlage
der
Mehrlagenschicht
16,
sei
dies
der
Träger
15,
eine
Trägerfolie,
die
Widerstandsbahn
14
oder
ein
Teil
des
Verformungskörpers
1
einer
Kraftmesszelle
einer
Plasmareinigung
oder
einer
chemischen
Reinigung
zu
unterziehen.
Prior
to
the
start
of
the
coating
process
the
base
surface
for
the
multilayered
coating
16
can
be
subjected
to
a
plasma
cleaning
or
a
chemical
cleaning,
regardless
of
whether
the
base
surface
is
constituted
by
the
carrier
substrate
15,
a
carrier
foil,
the
resistor
track
pattern
14,
or
part
of
the
deformable
body
1
of
a
force-measuring
cell.
EuroPat v2
Aus
diesem
Grunde
werden
die
Bohrungen
10
metallisiert,
wofür
jedoch
vorher
eine
besondere
Reinigung
der
Bohrungen
10
erforderlich
ist,
die
beim
Durchbohren
einer
Polyimidfolie
zumeist
einer
Sonderbehandlung
in
Form
einer
Plasmareinigung
erfordert.
For
this
reason,
the
holes
10
are
plated,
for
which,
however,
special
cleaning
of
the
holes
10
is
necessary
beforehand
and
requires,
for
the
most
part,
special
treatment
in
the
form
of
plasma
cleaning
when
the
polyimide
film
is
drilled
through.
EuroPat v2
Was
ist
Plasmareinigung?
What
is
plasma
cleaning?
ParaCrawl v7.1
Um
zu
verstehen,
wie
die
Plasmareinigung
funktioniert,
muss
man
sich
einen
mikroskopisch
kleinen
Bereich
anschauen.
To
understand
how
the
plasma
cleaning
works
one
should
look
on
a
microscopic
scale.
ParaCrawl v7.1
Für
die
Vorbehandlung
von
Kunststoffteilen
sind
alternative
Verfahren
wie
die
Schneestrahl-
und
Plasmareinigung
weiter
auf
dem
Vormarsch.Im
Bereich
Lacke
geht
der
Trend
zu
Systemen,
die
sowohl
dekorative
als
auch
funktionale
Anforderungen
erfüllen.
Alternative
processes
such
as
snow
blasting
and
plasma
cleaning
are
also
on
the
advance
for
the
pre-treatment
of
plastic
parts.In
the
field
of
painting,
there's
a
trend
towards
systems
which
fulfil
decorative
as
well
as
functional
requirements.
ParaCrawl v7.1