Translation of "Photolack" in English
Diese
Ätzmaske
kann
wiederum
in
der
geschilderten
Weise
aus
Photolack
gebildet
werden.
This
etching
mask
can
once
again
be
formed
in
the
manner
outlined
by
a
photoresist.
EuroPat v2
Schliesslich
wird
die
Maske
aus
Photolack
samt
dem
darüberliegenden
Chrom
und
Gold
weggelöst.
Finally,
the
mask
of
photoresist
and
the
chromium
and
gold
thereabove
are
dissolved
away.
EuroPat v2
Es
schließt
sich
ein
Entwicklungsprozeß
für
den
Photolack
an.
A
development
process
for
the
photolacquer
is
then
carried
out.
EuroPat v2
Dickere
Läufer
können
aus
Photolack
mit
Tiefenlithographie
gefertigt
werden.
Thicker
rotors
can
be
made
from
photographic
lacquer
using
deep-etch
lithography.
EuroPat v2
Anschließend
wird
die
Oberfläche
mit
Photolack
beschichtet.
Thereafter,
the
surface
is
coated
with
photoresist
to
form
a
photoresist
layer.
EuroPat v2
In
der
oberen
Schicht
21
besteht
das
Bindemittel
mindestens
teilweise
aus
üblichem
Photolack.
In
the
top
layer
21,
the
fixing
agent
consists
at
least
in
part
of
common
photo-lacquer.
EuroPat v2
In
den
unbelichteten
Bereichen
33
der
Schicht
21
bleibt
der
Photolack
unverändert.
In
the
unexposed
areas
33
of
the
layer
21,
the
photo-lacquer
remains
unchanged.
EuroPat v2
Im
darauffolgenden
Schritt
wird
der
Photolack
entfernt.
The
photoresist
is
removed
in
the
subsequent
step.
EuroPat v2
Dazu
wird
die
Struktur
in
ein
den
Photolack
lösendes
Medium
eingetaucht.
For
that
purpose,
the
structure
is
immersed
into
a
medium
dissolving
the
photoresist.
EuroPat v2
Der
bei
der
Strukturierung
verwendete
Photolack
wird
vollständig
entfernt.
The
photoresist
used
for
the
structuring
is
removed
completely.
EuroPat v2
Hierzu
wird
ein
Photolack
auf
der
Waferunterseite
aufgebracht
und
strukturiert.
For
this
purpose,
a
photoresist
is
applied
to
the
wafer
underside
and
patterned.
EuroPat v2
Hierzu
wird
ein
Photolack
auf
die
vorstrukturierte
Waferunterseite
aufgebracht
und
strukturiert.
For
this
purpose,
a
photoresist
is
applied
to
the
pre-patterned
wafer
underside
and
is
patterned.
EuroPat v2
Höhere
Rotoren
können
aus
Photolack
mit
Tiefenlithographie
gefertigt
werden.
Higher
rotors
can
be
made
out
of
photographic
lacquer
using
deep
etch
lithography.
EuroPat v2
Diese
Füllstrukturen
werden
mit
Hilfe
einer
zusätzlichen
Phototechnik
zum
Beispiel
aus
Photolack
hergestellt.
These
filler
structures
are
produced,
for
example,
of
photoresist
by
using
an
additional
photo
technique.
EuroPat v2
Nach
der
Strukturierung
der
leitfähigen
Schicht
3
wird
der
Photolack
8
entfernt.
After
structuring
of
the
conductive
layer
3,
the
photo
lacquer
8
is
removed.
EuroPat v2
In
einem
nachfolgenden
Lift-off-Prozeß
wird
der
Photolack
mittels
Aceton
abgehoben.
In
a
subsequent
liftoff
process,
the
photolacquer
is
lifted
by
means
of
acetone.
EuroPat v2
Dann
wird
der
Lack
entwickelt
und
der
belichtete
Photolack
entfernt.
The
resist
is
then
developed
and
the
exposed
photoresist
is
removed.
EuroPat v2
Anschließend
wird
das
Oxid
mit
dem
Photolack
als
Maskenschicht
geätzt.
The
oxide
is
subsequently
etched
with
the
photoresist
as
a
mask
layer.
EuroPat v2
Dazu
werden
die
Polyimidschichten
zunächst
vorgetrocknet
und
dann
mit
einem
Photolack
überzogen.
For
this
purpose,
the
polyimide
layers
are
first
predried
and
then
coated
with
a
photoresist.
EuroPat v2
Die
Abdeckung
23
kann,
wenn
sie
aus
Photolack
besteht,
gehärtet
werden.
The
layer
23
when
composed
of
a
photolacquer
can
be
hardened.
EuroPat v2
Der
Begriff
"Photolack"
umfasst
auch
olefinisch
ungesättigte
Verbindungen.
The
term
"photoresist"
also
comprises
olefinically
unsaturated
compounds.
EuroPat v2
Die
Ätzmaske
kann
wieder
in
der
bereits
geschilderten
Weise
aus
Photolack
gebildet
werden.
The
etching
mask
may
be
formed
in
the
manner
already
described
from
photoresist.
EuroPat v2
Es
ist
vorteilhaft,
wenn
als
Maskenmaterial
ein
positiver
Photolack
verwendet
wird.
It
is
of
advantage
if
a
positive
photoresist
is
used
as
mask
material.
EuroPat v2
Laserstrahlen
härten
die
gewünschte
mikrometergroße
Struktur
in
einem
Photolack
aus.
Laser
beams
harden
the
desired
microstructure
in
a
photoresist.
ParaCrawl v7.1
Der
Photolack
wurde
im
folgenden
Schritt
mit
Aceton
entfernt.
In
the
following
step,
the
photoresist
is
removed
using
acetone.
EuroPat v2
Die
eingeschriebenen
Muster
und
Strukturen
stellen
Vertiefungen
in
dem
Photolack
dar.
The
inscribed
patterns
and
structures
represent
depressions
in
the
photoresist.
EuroPat v2
Auch
eine
Demetallisierung
mit
einer
Photomaske
und
Photolack
ist
möglich.
Demetallization
with
a
photomask
and
photo
lacquer
is
also
possible.
EuroPat v2