Translation of "Linsenfehler" in English
Durch
diese
Maßnahme
werden
z.B.
Verzerrungen
durch
Linsenfehler
kompensiert.
By
implementing
this
measure,
distortions
caused
by
lens
errors,
for
example,
are
compensated.
EuroPat v2
Derartige
Linsenfehler
sind
unterteilt
in
Farbfehler
und
geometrische
Bildfehler.
Such
lens
aberrations
can
be
subdivided
into
chromatic
aberrations
and
geometrical
image
aberrations.
EuroPat v2
Aus
der
Lage
der
einzelnen
Laserstrahlen
kann
der
Linsenfehler
genau
ermittelt
werden.
The
lens
defect
can
be
determined
accurately
from
the
position
of
the
individual
laser
arrays.
EuroPat v2
Die
Verwendung
von
fünf
Elementen
bietet
allerdings
zusätzlich
die
Möglichkeit
auch
die
außeraxialen
Linsenfehler
zu
reduzieren.
The
use
of
five
elements
additionally
offers
the
possibility
of
reducing
the
off-axial
lens
aberrations.
EuroPat v2
Die
sich
durch
die
Defokussierung
ergebende
Vergrößerung
des
Brennpunkts
wird
durch
die
ohnehin
vorhandenen
Linsenfehler
überlagert.
The
enlargement
of
the
focal
point
resulting
from
the
defocusing
is
overlapped
by
the
lens
aberration
which
is
already
present.
EuroPat v2
Außerdem
verfügt
das
KRIOS
über
einen
sogenannten
Cs-Korrektor,
der
Linsenfehler
des
Mikroskops
reduziert.
In
addition,
the
KRIOS
possesses
a
so-called
CS
corrector,
which
reduces
the
lens
errors
of
the
microscope.
ParaCrawl v7.1
Ein
Spektrometer
für
die
quantitative
Potentialmessung
benötigt
einen
Mindestarbeitsabstand,
was
eine
Verkleinerung
der
Objektiv-Brennweite
und
damit
eine
Verkleinerung
der
Linsenfehler
verhindert.
A
spectrometer
for
the
quantitative
potential
measurement
requires
a
minimum
working
distance
which
prevents
a
reduction
of
the
objective-focal
length
and
hence
a
reduction
of
the
lens
aberrations.
EuroPat v2
Ein
besonderer
Vorteil
der
Erfindung
ist,
daß
-
im
Gegensatz
zur
Anordnung
von
Erlandsson
-
an
das
Mikroskopobjektiv
nur
sehr
geringe
Anforderungen
gestellt
werden,
da
Linsenfehler
die
Wellenfronten
von
Meß-
und
Vergleichsstrahl
identisch
verformen,
so
daß
die
Interferenzfähigkeit
nicht
beeinträchtigt
wird.
A
special
advantage
of
the
invention,
and
in
contrast
to
the
arrangement
of
Erlandsson
et
al,
is
that
very
modest
requirements
are
imposed
upon
the
microscope
objective
since
lens
errors
distort
the
wave
fronts
of
the
measurement
and
reference
beams
identically
so
that
interference
is
not
affected.
EuroPat v2
Der
Strom
i
S
der
Elektronensonde
läßt
sich
wirksam
steigern,
wenn
die
Linsenfehler
durch
einen
größeren
Linsenstrom,
mit
dem
die
Linse
erregt
wird,
verringert
werden.
The
current
is
of
the
electron
probe
can
be
effectively
increased
if
the
lens
aberrations
are
reduced
by
means
of
a
greater
lens
current
with
which
the
lens
is
excited.
EuroPat v2
Mit
einer
derartigen
Anordnung
wird
zwischen
der
Objektivlinse
und
der
Probe
kein
Platz
für
eine
Detektoranordnung
benötigt,
so
daß
der
Arbeitsabstand
und
hierdurch
die
Linsenfehler
der
Objektivlinse
klein
gehalten
werden
können.
With
such
an
arrangement
there
is
no
need
for
any
space
between
the
objective
lens
and
the
sample
for
a
detector
arrangement,
so
that
the
working
distance
and
thus
the
lens
aberration
of
the
objective
lens
can
be
kept
small.
EuroPat v2
Da
sich
der
Szintillator
5
innerhalb
der
Objektivlinse
3
befindet,
kann
der
Arbeitsabstand
b
zwischen
Objektivlinse
3
und
Probe
4
klein
gehalten
werden,
so
daß
hierdurch
auch
die
Linsenfehler
gering
bleiben.
Since
the
scintillator
5
is
located
inside
the
objective
lens
3,
the
working
distance
b
between
the
objective
lens
3
and
the
sample
4
can
be
kept
small,
so
that
as
a
result
the
lens
aberrations
also
remain
small.
EuroPat v2
Da
die
Linsenfehler
mit
wachsendem
Achsabstand
grösser
werden,
ist
es
besonders
wichtig,
eine
korrekte
Beleuchtung
für
diesen
Bereich,
also
den
Bildfeldrand,
sicherzustellen.
Since
the
error
of
the
lens
increases
with
an
increased
axial
distance,
it
is
especially
important
to
assume
a
correct
illumination
for
this
area.
EuroPat v2
Da
die
Festkörper-Fernsehkamera
gemäß
der
Erfindung
einen
möglichst
einfachen
Aufbau
besitzen
soll,
wird
infolgedessen
der
Verwendung
möglichst
unkomplizierter
Abbildungsoptiken
8
der
Vorzug
gegeben,
die
natürlich
entsprechende
Linsenfehler
aufweisen.
Since
according
to
the
invention
the
solid-state
television
camera
is
to
be
as
simply
designed
as
possible,
very
uncomplicated
imaging
optics
8
are
preferred,
having
of
course
corresponding
lens
defects.
EuroPat v2
Um
nur
kleine
Linsenfehler
in
Kauf
nehmen
zu
müssen,
sollen
möglichst
wenig
zusätzliche
Linseneffekte
in
den
Korpuskularstrahlengang
eingebracht
werden.
So
that
only
small
lens
aberrations
need
be
accepted,
the
fewest
possible
additional
lens
effects
should
be
introduced
into
the
particle
beam
path.
EuroPat v2
Bei
diesen
Versuchen
stellte
sich
jedoch
heraus,
daß
sich
bei
einer
derartigen
Anordnung
ein
zu
großer
Arbeitsabstand
zwischen
der
Objektivlinse
und
der
Probe
ergibt,
was
die
Linsenfehler
der
Objektivlinse
(insbesondere
den
axialen
Farbfehler
und
den
Öffnungsfehler)
erhöht
und
dadurch
die
Ortsauflösung
des
Gerätes
verringert.
However,
in
these
tests
it
was
found
that
in
such
an
arrangement
the
working
distance
between
the
objective
lens
and
the
testpiece
is
too
great,
which
increases
the
lens
aberrations
of
the
objective
lens
(particularly
the
axial
chromatic
aberration
and
the
aperture
aberration)
and
thus
reduces
the
local
resolution
of
the
device.
EuroPat v2
Von
besonderem
Vorteil
ist
hierbei
-
im
Unterschied
zu
der
vorstehend
genannten,
noch
nicht
zufriedenstellenden
Version
-,
daß
durch
die
Integration
des
Sekundärelektronenspektrometers
in
die
Objektivlinse
der
Arbeitsabstand
zwischen
Objektivlinse
und
Probe
minimal
gehalten
werden
kann,
wodurch
die
Linsenfehler
der
Objektivlinse
reduziert
werden
und
die
Ortsauflösung
des
Gerätes
erhöht
wird.
In
this
case
(by
contrast
with
the
aforementioned
version
which
is
not
yet
satisfactory)
it
is
particularly
advantageous
that
by
integrating
the
secondary
electron
spectrometer
into
the
objective
lens
the
working
distance
between
the
objective
lens
and
the
testpiece
can
be
kept
minimal,
so
that
the
lens
aberrations
of
the
objective
lens
are
reduced
and
the
local
resolution
of
the
device
is
increased.
EuroPat v2
Die
mit
besonders
feinen
Sonden
arbeitenden,
hochauflösenden
Geräte
müssen
mit
kleinem
Abstand
zwischen
Objektivlinse
und
Probe,
d.h.
mit
sehr
kurzen
Brennweiten
arbeiten,
um
die
Linsenfehler
ausreichend
klein
zu
halten.
The
high-resolution
devices
which
work
with
particularly
fine
probes
must
work
with
a
small
distance
between
the
objective
lens
and
the
sample,
i.e.
with
very
short
focal
length,
in
order
to
keep
the
lens
aberration
sufficiently
small.
EuroPat v2
Neben
diesem
Abstand
müssen
auch
die
Linsenfehler
und
Feldverzerrungen
infolge
äusserer
Einflüsse,
wie
unsymmetrisch
zur
äusseren
Achse
verteilte
magnetische
Materialien,
durch
Stigmatoren
korrigiert
werden.
Besides
this
distance,
the
lens
aberrations
and
the
field
distortions,
which
occur
from
external
influences
such
as
magnetic
materials
being
unsymmetrically
distributed
to
the
external
axis,
must
be
corrected
by
stigmators.
EuroPat v2
Die
beschriebenen
Platten
31
beeinflussen
nicht
nur
den
Astigmatismus
der
Fokussierungslinse,
sondern
auch
die
übrigen
Linsenfehler,
d.
h.
den
Öffnungsfehler
und
die
weiteren
Fehler
höherer
Ordnung.
The
plates
31
described
above
do
not
only
influence
the
astigmatism
of
the
focusing
lens,
but
also
the
other
lens
aberrations,
i.e.,
the
spherical
aberration
and
the
further
higher-order
aberrations.
EuroPat v2
Wenn
all
diese
Bedingungen
eingehalten
sind
kann
ein
hoher
Wirkungsgrad,
d.h.
eine
gute
Lichtausbeute
erzielt
werden,
und
bei
optimaler
Geometrie
sind
minimale
Linsenfehler
zu
erwarten.
When
all
these
conditions
are
maintained
a
higher
efficiency,
that
is
to
say
a
good
light-gain
can
be
obtained,
and
with
optimal
geometry
minimum
lens
abberations
can
be
expected.
EuroPat v2
Die
Vorteile
eines
derartigen
holographischen
optischen
Elementes
gegenüber
konventioneller
Optik
bestehen
zur
Hauptsache
im
geringen
Gewicht,
der
einfachen
Geometrie,
niedrigen
Kosten,
auch
bei
grösseren
Oeffnungen
bzw.
kurzer
Brennweite,
minimale
Linsenfehler
bei
optimaler
Rekonstruktionsgeometrie
und
klare
mathematische
Funktion
zwischen
dem
Eintrittswinkel
des
Lichtstrahls
und
dessen
Entfernung
von
einer
Bezugsachse.
The
use
of
a
holographic
optical
element
instead
of
conventional
optical
elements
has
the
following
advantages:
reduced
weight;
simple
geometry;
lower
cost;
larger
aperture
relatively
to
shorter
focal
length;
and
minimal
lens
errors
with
optimum
reconstruction
geometry
and
clear
mathematical
function
between
the
entry
angle
of
the
light
beam
and
its
distance
from
a
reference
axis.
EuroPat v2
Nicht
dargestellt
sind
beispielsweise
tonnenförmige
und
kissenförmige
Verzeichnungen,
die
durch
einen
Linsenfehler
im
Chipfeld
auftreten
und
keilförmige
Verzerrungen
in
der
Maske,
die
durch
fehlende
Parallelität
zwischen
Vorlage
und
Maske
und
unterschiedliche
thermische
Koeffizienten
von
Maske
zu
Vorlage
zustandekommen.
The
representation
does
not
include
e.g.,
barrel
and
pin
cushion
distortions
caused
by
a
lens
defect
in
the
chip
field,
and
keystone
distortions
in
the
mask
owing
to
lack
of
parallelity
between
reticle
and
mask,
and
different
thermic
coefficients
from
mask
to
reticle.
EuroPat v2
Durch
Vergleich
der
optischen
Eigenschaften
-
insbesondere
der
Strukturierungen
-
des
von
der
Zusatz-Optikeinheit
ausgesendeten
Strahlenbündels
und
des
von
der
Optikeinheit
empfangenen
Prüflings-Strahlenbündels
werden
allfällige
optische
Fehler
in
der
optischen
System
des
Prüflings,
beispielsweise
eine
unzureichende
optische
Fernrohrqualität,
allfällige
Linsenfehler,
Verzerrungen
oder
Verzeichnungen
und
Fokussierungsfehler,
erfasst.
By
comparing
the
optical
properties—in
particular
the
structurings—of
the
beam
emitted
by
the
additional
optical
unit
and
of
the
test
piece
beam
received
by
the
optical
unit,
any
optical
errors
in
the
optical
system
of
the
test
piece,
for
example
inadequate
optical
telescope
quality,
any
lens
errors,
aberrations
or
distortions
and
focusing
errors,
are
detected.
EuroPat v2
Durch
insbesondere
mittels
Bildverarbeitung
erfolgendem
Vergleich
der
Strukturierung
der
ausgesendeten
Strahlung
30
und
des
empfangenen
Prüflings-Strahlenbündels
10
können
Fehler
in
der
Optik
der
Zieleinheit
18,
insbesondere
Linsenfehler,
Verzerrungen,
Verzeichnungen,
Fokussierungsfehler
in
Tubusverlauf,
etc.,
erfasst
werden.
Particularly
by
comparison
of
the
structuring
of
the
emitted
radiation
30
and
of
the
received
test
piece
beam
10
by
means
of
image
processing,
errors
in
the
optical
system
of
the
sighting
unit
18,
in
particular
lens
errors,
aberrations,
distortions,
focusing
errors
in
the
tube,
etc.
can
be
detected.
EuroPat v2
Besonders
effektiv
verringert
bzw.
verhindert
werden
kann
ein
Linsenfehler
im
Zentrum
der
Linse
durch
eine
Verfahrensversion,
bei
der
die
Drehzahl
des
Polierrades
um
die
Radachse
und
die
Drehachse
in
der
Spiralmitte
des
Bewegungspfades
wenigstens
annährend
auf
null
reduziert
wird.
A
lens
error
at
the
centre
of
the
lens
can
be
reduced
or
prevented
especially
effectively
by
means
of
a
method
version
in
which
the
rotational
speed
of
the
polishing
wheel
about
the
wheel
axis
and
the
axis
of
rotation
at
the
spiral
centre
of
the
movement
path
is
reduced
at
least
approximately
to
zero.
EuroPat v2
Darüber
hinaus
können
mit
der
bekannten
Vorrichtung
Abstände
der
Ablenkungsmittel
zu
der
Pupille
oder
einer
Pupillenabbildung
der
fokussierenden
Optik
sowie
Linsenfehler
der
fokussierenden
Optik
und
Fehler
der
Strahlablenkungsmittel
kompensiert
werden.
Furthermore,
with
the
known
device
distances
of
the
deflectors
to
the
pupil
or
of
a
pupil
image
of
the
focusing
optics
as
well
as
lens
aberrations
of
the
focusing
objects
and
aberrations
of
the
beam
deflectors
may
be
compensated.
EuroPat v2
Durch
die
mit
Hilfe
der
zwei
unabhängig
voneinander
wirkenden
Strahlablenkungsmittel
bereitgestellten
Freiheitsgrade
sind
nicht
nur
Abstände
der
Ablenkungsmittel
zu
der
Pupille
oder
einer
Pupillenabbildung
der
fokussierenden
Optik
kompensierbar,
sondern
auch
Linsenfehler
der
fokussierenden
Optik
und/oder
Fehler
der
Strahlablenkungsmittel
selbst.
By
means
of
the
degrees
of
freedom
provided
by
the
two
beam
deflectors
acting
independently
on
each
other,
not
only
distances
of
the
beam
deflectors
to
the
pupil
or
to
an
image
of
the
pupil
of
the
focussing
optic
but
also
lens
errors
of
the
focussing
optic
and/or
errors
of
the
beam
deflectors
themselves
may
be
compensated
for.
EuroPat v2
Je
mehr
Segmente
analog
Figur
2
um
den
Flüssigkeitstropfen
10
herum
angeordnet
sind,
umso
höher
ist
die
örtliche
Auflösung
der
einzustellenden
Linsenfehler.
The
more
segments
there
are
arranged
around
the
liquid
drop
10
similarly
as
in
FIG.
2,
the
higher
is
the
spatial
resolution
of
the
lens
defects
which
can
be
adjusted.
EuroPat v2
Auf
diese
Weise
lässt
sich
mit
einem
Flüssigkeitslinsensystem
gemäß
den
Figuren
1
und
2
ein
Linsenfehler
elektrische
einstellen,
zum
Beispiel
eine
Sphäre,
ein
Zylinder,
Koma,
oder
auch
weitere
Fehler
höherer
Ordnung.
In
this
way,
a
lens
defect
can
be
set
up
electrically
with
a
liquid
lens
system
according
to
FIGS.
1
and
2,
for
example
a
sphere,
a
cylinder,
coma
or
other
defects
of
higher
order.
EuroPat v2