Translation of "Lackmaske" in English
Der
von
dieser
Lackmaske
13
nicht
bedeckte
Anteil
der
Metallschicht
12
wird
weggeätzt.
That
portion
of
the
metal
layer
12
not
covered
by
this
photoresist
mask
13
is
etched
away.
EuroPat v2
Der
Passivierungsmechanismus
kann
durch
Reaktionsprodukte
der
Lackmaske
mit
dem
Ätzgas
unterstützt
werden.
The
passivation
mechanism
can
be
reinforced
by
reaction
products
of
the
photoresist
mask
with
the
etching
gas.
EuroPat v2
Zur
Strukturierung
der
Grabenmaske
4
wird
auf
diese
Schichtenfolge
eine
Lackmaske
aufgebracht.
In
order
to
structure
the
recess
mask
4,
a
resist
mask
is
applied
to
this
layer
structure.
EuroPat v2
Die
Grabenmaske
4
wird
mit
Hilfe
der
Lackmaske
in
einem
CHF?/O?-Trockenätzprozeß
strukturiert.
The
trench
mask
4
is
structured
in
a
CHF3
/O2
dry-etching
process
using
the
lacquer
mask.
EuroPat v2
Die
Lackmaske
13
wurde
mit
einem
üblichen
fotochemischen
Prozeß
hergestellt.
The
resist
mask
13
was
manufactured
using
a
customary
photochemical
process.
EuroPat v2
Vor
dem
Herstellen
der
Gates
wurde
die
Lackmaske
13
wieder
entfernt.
Before
the
gates
are
manufactured,
the
resist
mask
13
was
removed
again.
EuroPat v2
Dabei
kann
die
Lackmaske
jeden
Kondensator
einzeln
oder
aber
das
gesamte
Kondensatorfeld
freilegen.
The
lacquer
mask
can
expose
each
capacitor
individually,
or
the
entire
capacitor
field.
EuroPat v2
Im
nächsten
Verfahrensschritt
wird
eine
Lackmaske
7
aufgebracht
(Fig.
In
the
next
step,
a
photoresist
mask
7
is
applied
(FIG.
EuroPat v2
Die
Belichtung
der
Lackmaske
erfolgt
streifenweise.
Exposure
of
the
resist
mask
is
effected
in
stripes.
EuroPat v2
Per
Lackmaske
wird
die
äußere
Begrenzung
der
Schichten
30
und
23
strukturiert.
The
outer
boundary
of
the
layers
30
and
23
is
structured
by
way
of
a
lacquer
mask.
EuroPat v2
Sodann
wird
die
für
das
fotolithografische
Verfahren
verwendete
Lackmaske
abgelöst.
Thereupon,
the
resist
mask
used
in
the
photolithographic
process
is
removed.
EuroPat v2
Anschließend
werden
die
Kavernen-Öffnungen
in
der
Trenchmaske
mittels
einer
Lackmaske
abgedeckt.
Subsequently,
the
cavern
openings
in
the
trench
mask
are
covered
by
a
lacquer
mask.
EuroPat v2
Anschließend
wird
die
Lackmaske
entfernt
und
der
Trenchprozess
weitergeführt.
Subsequently,
the
lacquer
mask
is
removed
and
the
trenching
process
is
continued.
EuroPat v2
Zum
Schutz
der
übrigen
metallfreien
Substratbereiche
wurde
eine
Lackmaske
22
verwendet.
A
resist
mask
22
was
used
to
protect
the
remaining
metal-free
substrate
areas.
EuroPat v2
Mittels
einer
Lackmaske
M2
wurde
eine
Isolator-Schicht
geätzt.
An
insulator
layer
has
been
etched
using
a
resist
mask
M
2
.
EuroPat v2
Als
nächster
Schritt
wird
die
Lackmaske
entfernt
(Fig.
In
the
next
step,
the
lacquer
mask
is
removed
(FIG.
EuroPat v2
Dies
erschwert
den
Lift-Off-Schritt
bzw.
macht
eine
relativ
dicke
Lackmaske
notwendig.
This
makes
the
lift-off
step
difficult
or
necessitates
a
relatively
thick
lacquer
mask.
EuroPat v2
Zur
Strukturierung
dieser
Metallschicht
wird
anschließend
eine
Lackmaske
aufgebracht.
For
the
patterning
of
this
metal
layer,
a
resist
mask
is
subsequently
applied.
EuroPat v2
In
Figur
1
wurde
beispielhaft
eine
Lackmaske
mit
einem
Entwurf
verglichen.
In
FIG.
1
a
resist
mask
is
compared
with
a
design,
by
way
of
example.
EuroPat v2
Anschließend
wird
unter
Verwendung
der
Lackmaske
5
die
Platinschicht
3
trockengeätzt.
The
platinum
layer
3
is
subsequently
subjected
to
dry
etching
using
the
resist
mask
5
.
EuroPat v2
Während
der
zuvor
beschriebenen
Ätzschritte
wird
das
pnp-Transistorgebiet
durch
die
Lackmaske
68
geschützt.
During
the
above-described
etching
steps
the
pnp-transistor
region
is
protected
by
the
lacquer
mask
68
.
EuroPat v2
Per
Lackmaske
wird
die
Schicht
31
strukturiert.
The
layer
31
is
structured
by
way
of
a
lacquer
mask.
EuroPat v2
Dieser
Schritt
kann
vor
oder
nach
dem
Entfernen
der
Lackmaske
8
(Fig.
That
step
can
be
effected
prior
to
or
after
the
removal
of
the
lacquer
mask
8
(FIG.
EuroPat v2
In
einem
CHF
3
/O
2
-Plasma
werden
die
Pads
freigelegt,
anschließend
die
Lackmaske
entfernt.
In
a
CHF3
/O2
plasma,
the
pads
are
exposed,
and
then
the
photoresist
mask
is
removed.
EuroPat v2
Unter
Verwendung
einer
dritten
Lackmaske
(nicht
dargestellt)
wird
eine
dritte
Kanalimplantation
durchgeführt.
A
third
channel
implantation
is
carried
out
using
a
third
resist
mask
(not
illustrated).
EuroPat v2
Die
Grabenmaske
4
wird
mit
Hilfe
der
Lackmaske
in
einem
CHF
3
/O
2
-Trockenätzprozeß
strukturiert.
The
recess
mask
4
is
structured
using
the
resist
mask
in
a
CH3
/O2
dry
etching
process.
EuroPat v2
Weiterhin
ist
vorgesehen,
daß
zur
Bildung
des
dritten
Grabens
eine
Lackmaske
verwendet
wird.
Furthermore,
it
is
provided
that
a
resist
mask
is
used
for
forming
the
third
trench.
EuroPat v2
Zur
Strukturierung
der
Grabenmaske
4
wird
auf
diese
Schichtenfolge
eine
Lackmaske
(nicht
dargestellt)
aufgebracht.
For
structuring
the
trench
mask
4,
a
lacquer
mask
(not
shown)
is
applied
onto
this
layer
sequence.
EuroPat v2
Auch
hier
wird
wieder
die
Leiterplatte
unter
sicherer
Freistellung
der
Lötaugen
von
der
Lackmaske
vollständig
abgedeckt.
Here
again
the
printed
circuit
board
is
completely
masked
by
the
lacquer
mask,
while
guaranteeing
that
the
lands
are
left
unmasked.
EuroPat v2