Translation of "Löschbereich" in English
Die
alte
Grenzlinie
82
und
der
ehemalige
Löschbereich
85
sind
wiederum
gestrichelt
angedeutet.
The
old
boundary
line
82
and
the
former
cancel
area
85
are
again
indicated
with
broken
lines.
EuroPat v2
Die
alte
Grenzlinie
82
und
der
ehemalige
Löschbereich
85
sind
wiederum
gestrichhelt
angedeutet.
The
old
boundary
line
82
and
the
former
cancel
area
85
are
again
indicated
with
broken
lines.
EuroPat v2
Um
einen
Löschbereich
zu
wählen,
muss
man
sein
Anfang
und
Ende
markieren.
To
select
the
deletion
area,
you
need
to
mark
its
beginning
and
end.
ParaCrawl v7.1
Im
Löschbereich
werden
die
Speicherfolien
gelöscht
und
anschließend
zurück
zur
Trenn-/Verbindungseinrichtung
befördert.
In
the
erasing
region,
the
imaging
plates
are
erased
and
then
conveyed
back
to
the
separating/joining
device.
EuroPat v2
Das
schützt
die
Gesundheit
von
Personen
im
Löschbereich
und
Sachwerte
vor
Rauchschäden.
This
protects
the
health
of
people
in
the
affected
area
and
prevents
smoke
damage
to
property.
ParaCrawl v7.1
Der
aktive
Löschbereich
wird
mit
den
gelben
Streifen
markiert.
The
active
area
of
deletion
is
marked
by
yellow
stripes
at
the
limits
of
the
area.
ParaCrawl v7.1
Die
weitere
Ausgestaltung
der
Erfindung
betrifft
Maßnahmen
zur
weiteren
Verbesserung
des
Verhaltens
der
Speicherzelle
im
Löschbereich.
The
further
development
of
the
invention
relates
to
measures
for
further
improvement
of
the
memory
cell
function
in
the
erase
area.
EuroPat v2
Daher
ist
die
Höhe
des
Schichtwiderstandes
des
implantierten
Bereiches
IP
im
Löschbereich
der
Speicherzelle
relativ
unkritisch.
Therefore,
the
layer
resistance
level
of
the
implanted
region
iP
in
the
erase
area
of
the
memory
cell
is
relatively
non-critical.
EuroPat v2
Die
Schalenbildung
um
die
Zusatzproben
und
die
Belegung
mit
den
Farbnummern
"0"
wird
abgebrochen,
sobald
ein
Löschbereich
die
gewünschte
Ausdehnung
erreicht
hat.
The
cup
formation
around
the
auxiliary
samples
and
the
occupation
with
the
color
numbers
"0"
is
broken
off
as
soon
as
a
cancel
area
has
reached
its
desired
scope.
EuroPat v2
Wenn
die
aufgerufenen
Adressen
in
den
betreffenden
Löschbereich
fallen,
werden
diese
mit
den
Farbnummern
"0"
belegt.
When
the
called-in
addresses
fall
within
the
appertaining
cancel
area,
these
are
occupied
with
the
color
numbers
"0".
EuroPat v2
Die
Erfindung
betrifft
ein
Verfahren
zum
Herstellen
einer
monolithisch
integrierten
Zwei-Transistor-Speicherzelle
in
MOS-Technik,
bei
der
ein
für
die
Informationsspeicherung
vorgesehener
erster
MOS-Feldeffekttransistor
sowohl
mit
einem
Steuergate
als
auch
mit
einem
zwischen
dem
Steuergate
und
der
Oberfläche
des
die
Speicherzelle
aufnehmenden
Siliciumkristalls
angeordneten
schwebenden
Gate
versehen
wird,
während
der
zweite
MOS-Feldeffekttransistor
nur
ein
Steuergate
erhält,
bei
dem
ferner
die
beiden
Steuergates
und
das
schwebende
Gate
aus
einer
auf
einer
das
betreffende
Gate
tragenden
SiOp-Schicht
abgeschiedenen
Schicht
aus
dotiertem
polykristallinen
Silicium
durch
maskierte
Ätztechnik
geformt
werden
und
bei
dem
schließlich
für
das
schwebende
Gate
des
ersten
MOS-Feldeffekttransistors
ein
sich
abseits
des
stromführenden
Kanals
der
beiden
MOS-Feldeffekttransistoren
der
Speicherzelle
angeordneter
Löschbereich
vorgesehen
wird.
The
invention
relates
to
a
method
of
producing
a
monolithically
integrated
two-transistor
memory
cell
in
accordance
with
MOS
technology,
in
which
a
first
MOS
field
effect
transistor,
provided
for
information
storage,
is
equipped
with
both
a
control
gate
and
a
floating
gate
disposed
between
the
control
gate
and
the
surface
of
the
silicon
crystal
accommodating
the
memory
cell,
whereas
the
second
MOS
field
effect
transistor
is
provided
only
with
a
control
gate;
the
two
control
gates
and
the
floating
gate
are
formed
by
masked
etching
technology
of
a
doped
polycrystalline
silicon
layer
deposited
on
an
SiO2
film
supporting
the
respective
gate;
and
an
erase
area
apart
from
the
current-carrying
channel
of
the
two
MOS
field
effect
transistors
of
the
memory
cell
is
provided
for
the
floating
gate
of
the
first
MOS
field
effect
transistor.
EuroPat v2
Im
Interesse
einer
günstigen
und
definierten
Löschfunktion
bei
Abänderung
des
in
der
betreffenden
Speicherzelle
gespeicherten
Informationsgehaltes
wäre
es
vorteilhaft,
wenn
das
die
schwebende
Gateelektrode
des
ersten
MOS-Feldeffekttransistors
der
Speicherzelle
tragende
Oxyd
im
Löschbereich
in
definierter
Weise
dünner
als
im
Kanalbereich
des
ersten
MOS-Feldeffekttransistors
eingestellt
wird.
In
the
interest
of
a
favorable
and
defined
erase
function
when
the
information
content
stored
in
the
respective
memory
cell
changes,
it
would
be
advantageous
if
the
oxide
supporting
the
floating
gate
electrode
of
the
first
MOS
field
effect
transistor
were
made
thinner
in
a
defined
manner
in
the
erase
area,
than
in
the
channel
area
of
the
first
MOS
field
effect
transistor.
EuroPat v2
Es
hat
sich
jedoch
gezeigt,
daß
diese
Möglichkeit
besser
durch
die
von
der
Erfindung
vorgeschlagene
Möglichkeit
zu
ersetzen
ist,
da
dann
die
Dicke
des
den
Löschbereich
an
der
Siliciumoberfläche
bedeckenden
Oxyds
merklich
besser
reproduzierbar
wird.
However,
it
has
turned
out
that
this
production
possibility
is
better
replaced
by
the
possibility
suggested
by
the
invention,
because
the
thickness
of
the
oxide
covering
the
erase
area
on
the
silicon
surface
then
becomes
noticeably
better
reproducible.
EuroPat v2
Wesentlich
ist
außerdem,
daß
sich
das
schwebende
Gate
FG
und
das
Steuergate
SG1
des
ersten
Transistors
T1
nicht
nur
im
Kanalbereich
KB
des
ersten
Transistors
T1
sondern
auch
in
dem
abseits
des
Kanalbereichs
KB
anzuordnenden
Löschbereich
Überlappen,
wie
dies
aus
Fig.
In
additon,
it
is
essential
that
the
floating
gate
FG
and
the
control
gate
SG1
of
the
first
transistor
T1
overlap
not
only
in
the
channel
area
KB
of
the
first
transistor
T1,
but
also
in
the
erase
area
to
be
disposed
apart
from
the
channel
area
KB,
as
evident
from
FIG.
EuroPat v2
Der
Löschbereich
ist
als
diejenige
Stelle
an
der
Oberfläche
des
Siliciumkristalls
im
Bereich
der
einzelnen
Speicherzelle
definiert,
an
der
bei
Löschung
die
in
der
betreffenden
Speicherzelle
enthaltende
und
dem
Pegel
"1"
entsprechende
elektrische
Ladung
des
schwebenden
Gates
zum
Verschwinden
gebracht
wird.
The
erase
area
is
defined
as
the
particular
location
on
the
silicon
crystal
surface
in
the
area
of
the
individual
memory
cell
where,
when
erasing,
the
electrical
charge
of
the
floating
gate
contained
in
the
respective
memory
cell
corresponding
to
the
"1"
level
is
caused
to
disappear.
EuroPat v2
Für
die
Löschung
wird
der
sog.
Fowler-Nordheim-Effekt
ausgenutzt,
bei
dem
ein
Tunnelstrom
zwischen
dem
schwebenden
Gate
FG
und
der
Diffusionszone
LZ
im
Löschbereich
der
Zelle
erzeugt
wird,
der
das
dünne
Löschoxyd
Lo
aufgrund
einer
20-30
V
betragenden
und
zwischen
das
Steuergate
SG1
des
ersten
Transistors
T1
und
dem
sperrfreien
Anschluß
A3
des
Löschdiffusionsgebietes
LZ
zu
legenden
Löschspannung
überwindet,
ohne
dieses
merklich
zu
beeinträchtigen.
The
so-called
Fowler-Nordheim
effect
is
utilized
for
erasure,
generating
a
tunnel
current
between
the
floating
gate
FG
and
the
diffusion
zone
LZ
in
the
erase
area
of
the
cell
which
overcomes
the
thin
erase
oxide
Lo
due
to
a
20-30
V
erase
voltage
to
be
applied
between
the
control
gate
SG1
of
the
first
transistor
T1
and
the
blockless
terminal
A3
of
the
erase
diffusion
zone
LZ,
without
noticeable
adverse
effect
on
the
latter.
EuroPat v2
Der
nun
folgende
Schritt
zur
Erzeugung
des
Löschfensters
LF
in
der
durch
den
ersten
Oxydationsschritt
erhaltenen
Oxydschicht
Gox
*
beschränkt
sich
ausschließlich
auf
den
für
die
jeweilige
Speicherzelle
vorgesehenen
Löschbereich.
The
next
step
which
is
to
produce
the
erase
window
LF
in
the
oxide
film
Gox*
obtained
by
the
first
oxidation
step
is
restricted
exclusively
to
the
erase
area
provided
for
the
respective
memory
cell.
EuroPat v2
Ggf.
kann
je
eine
solche
Implatation
die
Aufgabe
der
Sourcezonen
S1,
S2,.der
Drainzonen
D1,
D2
sowie
der
Löschzone
LZ
im
Löschbereich
übernehmen.
If
applicable,
one
such
implantation
for
each
can
assume
the
function
of
the
source
zones
S1,
S2,
of
the
drain
zones
D1,
D2
and
of
the
erase
zone
LZ
in
the
erase
region.
EuroPat v2
Die
Schalenbildung
um
die
Zusatzproben-Farborte
und
die
Belegung
mit
den
Farb-
nummern
"0"
wird
abgebrochen,
sobald
ein
Löschbereich
die
gewünschte
Ausdehnung
erreicht
hat.
The
cup
formation
around
the
auxiliary
samples
and
the
occupation
with
the
color
numbers
"0"
is
broken
off
as
soon
as
a
cancel
area
has
reached
its
desired
scope.
EuroPat v2