Translation of "Kontaktloch" in English
Durch
Dotieren
werden
Source-
und
Drainbereich
und
die
elektrische
Verbindung
im
Kontaktloch
erzeugt.
The
source
and
drain
regions
and
the
electrical
connection
in
the
contact
hole
are
produced
by
doping.
EuroPat v2
Außerdem
weist
das
Bauteil
ausgerüstet
mit
einem
Dünnschichtschaltkreis
mindestens
ein
Kontaktloch
6
auf.
The
module
provided
with
a
thin-film
circuit
in
addition
has
at
least
one
contact
hole
6
.
EuroPat v2
Die
Metallschicht
9
füllt
das
gesamte
Kontaktloch
6
lunkerfrei
auf.
The
metal
layer
9
fills
the
entire
via
hole
6
in
void-free
fashion.
EuroPat v2
Das
Kontaktloch
wird
dann
in
die
Bor-Phosphor-Silikat-Glas-Schicht
geätzt.
The
contact
hole
is
then
etched
into
the
boron
phosphorous
silicate
glass
layer.
EuroPat v2
Es
wird
ein
Kontaktloch
8
in
die
Deckoxidschicht
7
eingebracht.
A
contact
hole
8
is
made
in
the
covering
oxide
layer
7
.
EuroPat v2
Durch
Abscheiden
von
leitendem
Material
wird
das
Kontaktloch
gefüllt.
The
contact
hole
is
filled
by
the
deposition
of
the
conductive
material.
EuroPat v2
In
dieser
ist
weiterhin
ein
mit
Polysilizium
gefülltes
Kontaktloch
25
angeordnet.
The
contact
hole
25
is
filled
with
polysilicon.
EuroPat v2
Auf
das
gefüllte
Kontaktloch
3
wird
anschließend
eine
Oxidationsbarriere
6
aufgebracht.
An
oxidation
barrier
6
is
subsequently
applied
to
the
filled
contact
hole
3
.
EuroPat v2
Die
kreisförmige
Fläche
kennzeichnet
ein
mit
einer
metallischen
Schichtenfolge
gefülltes
Kontaktloch.
The
circular
area
identifies
a
contact
hole
filled
with
a
metallic
layer
sequence.
EuroPat v2
Es
sei
angemerkt,
dass
das
Kontaktloch
vorzugsweis
einen
planen
Bodenbereich
aufweist.
It
should
be
noted
that
the
contact
hole
can
have
a
flat
bottom
region.
EuroPat v2
Zumindest
drei
Einsteckelemente
der
Steckervorrichtung
werden
gemeinsam
in
das
Kontaktloch
eingefügt.
At
least
three
insertion
elements
of
the
connector
device
are
jointly
inserted
into
the
contact
hole.
EuroPat v2
Hierbei
werden
die
zumindest
drei
Einsteckelemente
gemeinsam
in
das
Kontaktloch
eingeführt.
In
this
case,
the
at
least
three
insertion
elements
are
jointly
inserted
into
the
contact
hole.
EuroPat v2
Die
Einsteckelemente
werden
in
Richtung
der
Einsteckrichtung
in
das
Kontaktloch
eingeführt.
The
insertion
elements
are
inserted
into
the
contact
hole
in
the
insertion
direction.
EuroPat v2
Anschließend
wird
eine
Zwischenschicht
abgeschieden,
somit
ein
Kontaktloch
und
eine
Elektrode
hergestellt.
An
intermediate
layer
is
then
deposited,
thereby
producing
a
via
hole
and
an
electrode.
EuroPat v2
In
der
isolierenden
Schicht
5
ist
ein
Kontaktloch
16
gebildet.
A
contact
hole
16
is
formed
in
the
insulating
layer
5
.
EuroPat v2
Das
Kontaktloch
16
legt
einen
Oberflächenbereich
4
des
Dotiergebiets
3
frei.
The
contact
hole
16
uncovers
a
surface
region
4
of
the
doping
region
3
.
EuroPat v2
In
Figur
2
sind
schematisch
ein
Justiergraben
5
und
ein
Kontaktloch
4
dargestellt.
FIG.
2
diagrammatically
illustrates
an
alignment
trench
5
and
a
contact
hole
4
.
EuroPat v2
Auf
diese
Weise
kann
das
gesamte
Kontaktloch
mit
einem
dünnen
Siliziumfaden
aufgefüllt
werden.
In
this
way,
the
entire
contact
hole
can
be
filled
with
a
thin
silicon
filament.
EuroPat v2
Zudem
führt
ein
unvollständig
gefülltes
Kontaktloch
zu
Zuverlässigkeitsproblemen.
Moreover,
an
incompletely
filled
contact
hole
leads
to
reliability
problems.
EuroPat v2
Dadurch
sind
geringe
Anschlußwiderstände
für
die
durch
eine
das
Kontaktloch
auffüllende
Metallisierung
gebildeten
Kontakte
erzielbar.
Low
connecting
resistances
for
the
contacts
formed
by
a
metallization
filling
up
the
via
hole
can
be
achieved
as
a
result
thereof.
EuroPat v2
Der
Wickelkontakt
wird
in
ein
zylindrisches
Kontaktloch
5
eines
elektrisch
isolierenden
Gehäuses
4
(Fig.
The
winding
contact
is
plugged
into
a
cylindrical
contact
hole
5
of
an
electrically
insulating
housing
4
(FIG.
EuroPat v2
Das
Fluor
führt
dann
zu
einer
erhöhten
Wirksamkeit
des
später
in
das
Kontaktloch
hineingesputterten
Titans.
The
fluorine
then
leads
to
an
increased
efficacy
of
the
titanium
which
is
subsequently
sputtered
into
the
contact
hole.
EuroPat v2
Figur
3
zeigt
den
Halbleiterschichtaufbau
bei
der
galvanischen
Abscheidung
einer
Metallschicht
in
dem
Kontaktloch.
FIG.
3
shows
the
semiconductor
layer
structure
with
the
electro-deposition
of
a
metal
layer
in
the
via
hole;
EuroPat v2
Aufgabe
der
Erfindung
ist
es,
eine
weitere
Realisierungsmöglichkeit
für
ein
selbstjustiertes
Kontaktloch
anzugeben.
It
is
an
object
of
the
present
invention
to
provide
an
improved
realization
of
a
self-aligned
through
hole.
EuroPat v2
Das
Kontaktloch
hat
einen
Querschnitt
von
0,9
µm
und
eine
Tiefe
von
1
µm.
The
through
hole
has
a
diameter
of
about
0.9
micron
and
a
depth
of
1
micron.
EuroPat v2
Der
elektrische
Strom
fließt
im
Kontaktloch
nicht
mit
homogener
Stromdichte
vom
Aluminium
in
den
diffundierten
Bereich.
The
electric
current
does
not
flow
in
the
contact
hole
with
uniform
current
density
from
the
aluminum
into
the
diffused
region.
EuroPat v2
Kontaktelemente
zwischen
dem
Stoppelement
und
dem
Entfernvermeidungsabschnitt
stellen
einen
elektrischen
Kontakt
in
dem
Kontaktloch
her.
Contact
elements
between
the
stop
element
and
the
removal
prevention
segment
establish
an
electrical
contact
in
the
contact
hole.
EuroPat v2
Die
Steckervorrichtung
kann
die
Leiterplatte
in
dem
Kontaktloch
mittels
der
elektrisch
leitfähigen
Kontaktierungsschicht
lotfrei
kontaktieren.
The
plug
connector
device
may
contact
the
printed
circuit
board
in
the
contact
hole
by
the
electrically
conductive
contacting
layer
in
a
solder-free
manner.
EuroPat v2
Die
pro
Kontaktloch
152,
154
vorgesehenen
Einsteckelemente
604,
604
liegen
einander
achsensymmetrisch
gegenüber.
The
plug-in
elements
604,
604
provided
per
contact
hole
152,
154
are
mutually
opposed
in
an
axially
symmetrical
manner.
EuroPat v2