Translation of "Kathodenöffnung" in English
Es
hat
sich
experimentell
als
zweckmäßig
erwiesen,
den
Durchmesser
der
Kathodenöffnung
so
zu-wählen,
dass
er
sich
bis
zum
Außenbereich
um
etwa
ein
Faktor
2
verjüngt.
Experiments
have
shown
that
it
is
useful
to
choose
the
diameter
of
the
cathode
opening
such
that
it
narrows
towards
the
outer
region
by
approximately
a
factor
of
2.
EuroPat v2
In
einem
weiteren
Aspekt
der
Erfindung
erlaubt
der
Einsatz
einer
sich
verjüngenden
Kathodenöffnung
eine
einfachere
Betriebsweise
der
Gasentladungslampe.
In
a
further
embodiment
of
the
invention,
the
use
of
a
narrowing
cathode
opening
allows
a
simpler
mode
of
operation
of
the
gas
discharge
lamp.
EuroPat v2
Bei
einer
Kathodenöffnung,
welche
sich
vom
Entladungsraum
beginnend
in
Richtung
des
Außenraumes
verkleinert,
kommt
es
in
vielen
Fällen
zu
einem
höheren
Betriebsdruck,
so
dass
der
Fachmann
in
diesem
Fall
die
Maximierung
der
EUV-Ausbeute
bei
vorgegebener
Pulsenergie
besser
vornehmen
kann.
A
cathode
opening
which
narrows
in
a
direction
from
the
discharge
space
towards
the
outer
region
leads
to
a
higher
operating
pressure
in
many
cases,
so
that
the
expert
in
such
a
case
is
capable
of
maximizing
the
EUV
output
for
a
given
pulse
energy.
EuroPat v2