Translation of "Gasphasenabscheidung" in English
Wolframhexafluorid
wird
im
Prozess
der
Chemischen
Gasphasenabscheidung
in
der
Herstellung
von
Halbleitern
eingesetzt.
Tungsten
hexafluoride
is
used
in
the
production
of
semiconductors
through
the
process
of
chemical
vapor
deposition.
Wikipedia v1.0
Die
Gasphasenabscheidung
gestattet
außerdem,
die
chemische
Zusammensetzung
moleküllagenweise
zu
kontrollieren.
The
gas
phase
deposition
procedure
also
permits
to
control
the
chemical
composition
in
a
molecule
layered
fashion.
EuroPat v2
Diese
Schicht
wird
mittels
Chemischer
Gasphasenabscheidung
aufgetragen.
This
layer
is
applied
by
chemical
vapor
deposition.
EuroPat v2
Mögliche
CVD-Verfahren
sind
die
thermische
oder
plasmaunterstützte
Gasphasenabscheidung.
Possible
CVD
methods
are
thermal
or
plasma-supported
gas-phase
deposition.
EuroPat v2
Sie
sind
ebenfalls
für
die
anderen
Methoden
der
Gasphasenabscheidung
geeignet.
They
are
also
suitable
for
the
other
gas
phase
deposition
methods.
EuroPat v2
Die
chemische
Gasphasenabscheidung
wird
üblicherweise
bei
geringem
Druck
in
Reaktionskammern
durchgeführt.
The
chemical
gaseous
phase
deposition
is
usually
carried
out
at
low
pressure
in
reaction
chambers.
EuroPat v2
Man
unterscheidet
zwischen
physikalischer
und
chemischer
Gasphasenabscheidung.
A
distinction
is
made
between
physical
and
chemical
vapor
deposition.
EuroPat v2
Erfindungsgemäß
können
verschiedene
bekannte
Verfahren,
sowie
Kombinationen
daraus
zur
Gasphasenabscheidung
eingesetzt
werden.
According
to
the
invention,
several
conventional
methods,
as
well
as
combinations
thereof,
can
be
used
for
gas
phase
separation.
EuroPat v2
In
Betracht
kommen
hier
auch
die
Gasphasenabscheidung
(PVD,
CVD).
Gas
phase
deposition
(PVD,
CVD)
is
also
suitable
here.
EuroPat v2
Die
meisten
Vakuum
-Magnetron-Sputtern
und
chemische
Gasphasenabscheidung
zwei
Arten
der
Produktion.
Most
vacuum
magnetron
sputtering
and
chemical
vapor
deposition
two
kinds
of
production
.
ParaCrawl v7.1
Die
Verschleißschutzschicht
wird
vorzugsweise
durch
physikalische
Gasphasenabscheidung
(PVD)
aufgebracht.
The
wearing
protection
layer
is
preferably
deposited
by
a
physical
vapor
deposition
process
(PVD).
EuroPat v2
Dazu
können
die
Halbleitermaterialien
für
die
photoaktive
Schicht
einer
Gasphasenabscheidung
unterzogen
werden.
To
this
end,
the
semiconductor
materials
for
the
photoactive
layer
may
be
subjected
to
a
gas
phase
deposition.
EuroPat v2
Die
Gasphasenabscheidung
kann
mittels
thermischem
Aufdampfen
erfolgen.
The
vapor
deposition
can
be
brought
about
by
thermal
evaporation.
EuroPat v2
Bei
der
chemischen
Gasphasenabscheidung
können
auch
mehr
als
zwei
Ausgangsmaterialien
zum
Einsatz
kommen.
It
is
also
possible
to
use
more
than
two
starting
materials
in
chemical
vapor
deposition.
EuroPat v2
Zur
Beschichtung
jedoch
nicht
zur
Herstellung
von
Wendeschneidplatten
ist
die
Physikalische
Gasphasenabscheidung
bekannt.
The
physical
gas
phase
deposition
is
known
for
coating
but
not
for
production
of
indexable
inserts.
EuroPat v2
Figur
2
illustriert
eine
im
Allgemeinen
als
nachteilig
angesehene
Eigenschaft
der
Physikalischen
Gasphasenabscheidung.
FIG.
2
illustrates
a
property
of
the
physical
gas
phase
deposition
that
is
generally
considered
disadvantageous.
EuroPat v2
Alternativ
können
die
Leitstrukturen
mittels
Gasphasenabscheidung
aufgebracht
werden.
Alternatively,
the
conductive
structures
can
be
applied
by
means
of
vapor
deposition.
EuroPat v2
Dies
kann
ebenfalls
mittels
Gasphasenabscheidung
in
einem
Sputter-Verfahren
erfolgen.
This
may
likewise
take
place
by
means
of
chemical
vapor
deposition
in
a
sputtering
process.
EuroPat v2
Als
bevorzugtes
Verfahren
der
physikalischen
Gasphasenabscheidung
kommt
insbesondere
das
Sputtern
in
Betracht.
In
particular,
the
sputtering
method
is
a
possible
preferred
method
of
physical
vapor
deposition.
EuroPat v2
Polykristallines
Silicium
(Polysilicium)
wird
üblicherweise
hergestellt
durch
Gasphasenabscheidung
in
einem
Siemens-Reaktor.
Polycrystalline
silicon
(polysilicon)
is
conventionally
produced
by
vapor
deposition
in
a
Siemens
reactor.
EuroPat v2
Die
Parylene-Beschichtung
wird
mittels
einer
chemischen
Gasphasenabscheidung
erzeugt.
The
parylene
coating
is
created
by
chemical
vapor
deposition.
EuroPat v2
Die
chemische
Gasphasenabscheidung
ermöglicht
eine
porenfreie
Beschichtung
von
komplexen,
dreidimensional
geformten
Oberflächen.
Chemical
vapor
deposition
allows
pore-free
coating
of
complex
surfaces
having
a
three-dimensional
structure.
EuroPat v2
Polysilicium
wird
üblicherweise
hergestellt
durch
Gasphasenabscheidung
in
einem
Reaktor.
Polysilicon
is
usually
produced
by
vapor
deposition
in
a
reactor.
EuroPat v2
Die
Reaktionsenthalpie
der
Gasphasenabscheidung
ist
dagegen
von
untergeordneter
Bedeutung.
By
contrast,
the
reaction
enthalpy
of
the
gas
phase
deposition
is
of
secondary
importance.
EuroPat v2
Bevorzugt
wird
die
ganzflächige
Leitstruktur
mittels
physikalischer
oder
chemischer
Gasphasenabscheidung
abgeschieden.
Preferably,
the
whole-area
conductive
structure
is
deposited
by
means
of
physical
or
chemical
vapor
deposition.
EuroPat v2
Dazu
zählen
beispielsweise
die
physikalische
Gasphasenabscheidung,
wie
thermisches
Verdampfen
und
Sputterdeposition.
These
include,
for
example,
physical
gas-phase
deposition,
such
as
thermal
evaporation
and
sputter
deposition.
EuroPat v2
Wir
verwenden
die
Technik
der
physikalischen
Gasphasenabscheidung
(PVD).
We
use
the
technique
of
physical
vapour
deposition
(PVD).
CCAligned v1