Translation of "Flächenverkleinerung" in English
Die
Strukturierung
der
Hilfsschichten
erfolgt
bevorzugt
mit
der
konventionellen
Photolithographie,
wobei
jedoch
durch
das
erfindungsgemäße
Verfahren
erreicht
wird,
daß
die
später
wirklich
verwendeten
Ätzmasken
an
den
Eckpunkten
der
photolithographisch
erzeugten
Strukturen
liegen
und
auf
diese
Weise
eine
Flächenverkleinerung
von
fast
einem
Faktor
4
erreicht
wird.
In
accordance
with
a
further
mode
of
the
invention,
the
structuring
of
the
auxiliary
layers
is
carried
out
by
conventional
photolithography,
but
with
the
method
of
the
invention
the
etching
masks
being
actually
used
later
are
located
at
corner
points
of
the
photolithographically
created
structural
features,
and
in
this
way
a
decrease
in
area
by
nearly
a
factor
of
4
is
attained.
EuroPat v2
Wird
nun
der
Druck
reduziert,
so
kommt
es
zwangsläufig
zu
einer
Flächenverkleinerung,
da
der
weiche
Finger
bei
geringerem
Druck
nicht
mehr
so
breit
gedrückt
wird,
wie
bei
größerem
Druck.
When
the
pressure
is
now
reduced,
there
is
inevitably
a
reduction
in
area,
since
the
soft
finger
is
no
longer
pushed
so
as
to
widen
as
much
at
lower
pressure
as
at
higher
pressure.
EuroPat v2
Bevorzugt
ist
es
weiterhin,
dass
die
Flächenverkleinerung
der
Verkleinerungsoptik
zwischen
25
und
1000,
vorzugsweise
zwischen
50
und
1000,
insbesondere
250
beträgt.
In
another
embodiment,
it
is
furthermore
preferred
for
the
area
reduction
of
the
reducing
optical
unit
to
be
between
25
and
1000,
preferably
between
50
and
1000,
in
particular
250.
EuroPat v2
Vorrichtung
nach
Anspruch
1,
dadurch
gekennzeichnet,
dass
die
Flächenverkleinerung
der
Verkleinerungsoptik
zwischen
25
und
1000,
vorzugsweise
zwischen
50
und
1000,
insbesondere
250,
beträgt
und/oder
dass
die
Verkleinerungsoptik
(10)
die
von
jedem
Modulatorelement
gebeugte
Strahlungsintensität
auf
eine
Größe
von
weniger
als
10
µm
Durchmesser,
insbesondere
weniger
als
1
µm
Durchmesser,
verkleinert.
The
device
as
claimed
in
claim
1,
wherein
the
area
reduction
of
the
reducing
optical
unit
is
between
25
and
1000.
The
device
as
claimed
in
claim
1,
wherein
the
reducing
optical
unit
reduces
a
radiation
intensity
diffracted
by
each
modulator
element
to
a
size
of
less
than
10
?m
diameter.
EuroPat v2
Der
Rückgabewert
der
Funktion
icd_cellshr
entspricht
der
in
der
Setupdatei
angegebenen
Einstellung
für
die
Flächenverkleinerung
für
die
automatische
Generierung
von
Zellsperrflächen
aus
der
Zellumrandung.
The
icd_cellshr
function
returns
the
shrink
value
defined
in
the
BAE
IC
setup
for
the
automatic
autorouter
keepout
area
generation.
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