Translation of "Filtergitter" in English
Damit
wird
eine
verbesserte
Energieauflösung
am
Filtergitter
131
erzielt.
This
achieves
improved
energy
resolution
at
the
filtering
grid
131
.
EuroPat v2
Kleinigkeiten
sind
defekt
oder
fehlen
(z.B.
ein
Höhenverstellfuß
oder
ein
Filtergitter
sind
nicht
mehr
vorhanden)
Small
parts
are
broken
or
missing
(e.g.
the
projector
foot
or
a
filter
grid
are
missing)
CCAligned v1
Vorrichtung
gemäß
Anspruch
6,
bei
der
das
Filtergitter
(131)
Maschengrößen
mit
charakteristischen
Dimensionen
umfaßt,
die
kleiner
oder
gleich
300
µm
betragen.
The
device
according
to
claim
6,
wherein
the
filtering
grid
includes
mesh
apertures
smaller
or
equal
to
about
300
?m.
EuroPat v2
Auch
bekannt
als
Metallgitter,
Diamant
Drahtgeflecht,
Eisen
Drahtgeflecht,
Metall
Expansionsnetz,
schwere
Stahlplatte
Netz,
Pedal
Mesh,
Lochplatte
'Aluminiumplatte
Mesh,
Edelstahlnetz,
Getreidespeicher,
Antenne
Drahtgeflecht,
Filtergitter,
Akustik
Maschen,
etc.
.
Also
known
as
metal
mesh,
diamond
wire
mesh,
iron
wire
mesh,
metal
expansion
net,
heavy
steel
plate
net,
pedal
mesh,
perforated
plate
'aluminum
plate
mesh,
stainless
steel
net,
granary,
antenna
wire
mesh,
filter
mesh,
acoustics
meshes,
etc.
ParaCrawl v7.1
Ergänzend
oder
alternativ
ist
es
auch
möglich,
dass
vor
den
Abscheideschritten
42
bis
45
eine
Vorreinigung
der
staubbelasteten
Luft
gemäß
Schritt
49
erfolgt,
beispielsweise
durch
einen
Zyklonfilter
und/oder
ein
Filtergitter
und/oder
eine
Labyrinthfilterstufe.
In
addition,
or
as
an
alternative,
it
is
also
possible
that
a
pre-cleaning
of
the
dust-laden
air
is
effected
according
to
step
49
prior
to
the
precipitation
steps
42
to
45,
for
example,
by
means
of
a
cyclone
separator
and/or
a
filter
grate
and/or
a
labyrinth
filtering
stage.
EuroPat v2
Ein
weiterer
wichtiger
Gesichtspunkt
der
Erfindung
besteht
darin,
eine
erfindungsgemäße
Vorrichtung
zur
energie-
und
winkelaufgelösten
Abbildung
eines
Strahls
geladener
Teilchen
auf
eine
Detektoreinrichtung
auf
der
Basis
der
obengenannten
Kombination
aus
einer
Ablenkeinrichtung
zur
Erzeugung
paralleler
und
abgebremster
Teilchenstrahlen
und
einer
Filtereinrichtung
dahingehend
weiter
zu
entwickeln,
daß
die
Filtereinrichtung
aus
einem
einzigen,
in
Bezug
auf
die
parallelen
Teilchenstrahlen
senkrecht
ausgerichteten
Filtergitter
besteht.
Another
important
aspect
of
the
invention
consists
in
further
improving
a
device
according
to
the
invention
for
energy
and
angle
resolved
imaging
of
a
beam
of
charged
particles
on
a
detector
device
on
the
basis
of
the
above
mentioned
combination
of
a
deflection
unit
for
creation
of
parallel
and
decelerated
particle
beams
and
a
filtering
device
to
the
extent
that
the
filtering
device
consists
of
a
single
filtering
grid
aligned
vertically
with
respect
to
the
parallel
particle
beams.
EuroPat v2
Das
Filtergitter
bildet
bei
Zusammenwirkung
mit
der
Ablenkeinrichtung
einen
Gegenfeldanalysator,
der
beispielsweise
bei
Elektronenbeugungsuntersuchungen
der
Filterung
inelastisch
gestreuter
Elektronen
dient.
The
filtering
grid
in
association
with
the
deflection
unit
forms
a
retarding
field
analyzer,
which
for
instance
serves
to
filter
nonelastically
scattered
electrons
for
electron
diffraction
investigations.
EuroPat v2
Der
Übergang
von
einer
Gruppe
von
Filterelektroden
zu
einem
einzelnen
Filtergitter
stellt
insbesondere
in
Zusammenwirkung
mit
dem
vorgeschalteten
Eintrittsgitter
einen
wichtigen
Vorteil
sowohl
in
Bezug
auf
die
Vereinfachung
des
Gesamtaufbaus
als
auch
in
Bezug
auf
die
Abbildungsqualität
dar.
The
transition
from
a
group
of
filtering
electrodes
to
a
single
filtering
grid
forms
an
important
advantage,
especially
in
interaction
with
a
preceding
entrance
grid,
with
respect
to
simplification
of
the
overall
installation
as
well
as
with
respect
to
imaging
quality.
EuroPat v2
Es
wurde
vom
Erfinder
überraschenderweise
festgestellt,
daß
sich
mit
dem
Filtergitter
die
gleiche
hochempfindliche
Energieselektivität
wie
bei
der
herkömmlichen
Abbildungsvorrichtung
erreichen
läßt,
wobei
jedoch
keine
Moire-Muster
entstehen
und
damit
die
Bildqualität
verbessert
wird.
The
inventor
surprisingly
found
that
using
the
filtering
grid
the
same
highly
sensitive
energy
selectiveness
may
be
achieved
as
using
the
conventional
imaging
device,
but
no
moirépatterns
are
created
and
therefore
the
imaging
quality
is
improved.
EuroPat v2
Die
DE
197
44
361
beschreibt
einen
Kunststofffilter
mit
einem
Filtergitter,
das
eine
Vielzahl
kleiner
Durchlassöffnungen
aufweist.
DE
197
44
361
describes
a
synthetic
material
filter
with
a
filter
lattice
having
a
plurality
of
small
passage
openings.
EuroPat v2
Um
einen
in
einem
Spritzgießvorgang
herstellbaren
Filter
aus
Kunststoff
zu
schaffen,
besteht
das
Filtergitter
aus
einer
ersten
Lage
zueinander
paralleler
Rippen
und
einer
zweiten
Lage
zueinander
paralleler
Rippen,
die
die
Rippen
der
ersten
Lage
kreuzen,
wobei
die
beiden
Lagen
in
zwei
aneinander
angrenzenden
Flächen
angeordnet
sind
und
die
sich
kreuzenden
Rippen
der
beiden
Flächen
an
ihren
Kreuzungspunkten
miteinander
verbunden
sind.
In
order
to
create
a
synthetic
material
filter
that
can
be
manufactured
in
an
injection-moulding
process,
the
filter
lattice
consists
of
a
first
layer
of
ribs
parallel
to
one
another
and
a
second
layer
of
ribs
parallel
to
one
another,
which
cross
the
ribs
of
the
first
layer,
both
layers
being
located
in
two
surfaces
adjacent
to
one
another
and
the
inter-crossing
ribs
of
the
two
surfaces
are
joined
together
at
their
crossing
points.
EuroPat v2
Das
Filtergitter
131
ist
ein
ebenes
Gitternetz,
das
sich
senkrecht
zur
Gehäuseachse
über
den
gesamten,
durch
das
Eintrittsfenster
111
und
die
Abbremslinsen
121-124
gebildeten
Einfallsbereich
des
Elektronenstrahls
108
erstreckt.
The
filtering
grid
131
is
a
plane
grid
extending
vertically
to
the
housing
axis
across
the
whole
entrance
section
of
the
electron
beam
108
formed
by
the
entrance
window
111
and
the
deceleration
lenses
121
-
124
.
EuroPat v2
Nach
Durchtritt
durch
die
Abbremslinse
123
treffen
die
Elektronen
auf
das
Filtergitter
131,
das
mit
einer
Potentialdifferenz
(Filter-Abbremspotential)
gegenüber
der
Abbremslinse
124
zur
Bildung
eines
Abbremsfeldes
derart
beaufschlagt
ist,
daß
Elektronen
mit
einer
Energie
unterhalb
einer
vorbestimmten
Grenzenergie
im
Teilchenstrahl
reflektiert
(s.
Pfeil
B)
und
nur
Teilchen
mit
einer
höheren
Energie
zur
Detektoreinrichtung
140
durchgelassen
werden.
After
passing
the
deceleration
lens
123,
electrons
hit
the
filtering
grid
131,
which
is
biased
in
such
a
form
with
a
potential
difference
(filter
deceleration
potential)
with
respect
to
the
deceleration
lens
124
for
formation
of
a
deceleration
field,
so
that
electrons
with
an
energy
level
below
a
predetermined
cut-off
energy
are
reflected
into
the
particle
beam
(see
arrow
B)
and
only
particles
with
a
higher
energy
are
allowed
to
pass
to
the
detector
140
.
EuroPat v2
Zur
Erzielung
einer
hohen
Abbildungsqualität
werden
am
Filtergitter
131
Gitteröffnungen
der
Größenordnung
300
µm
oder
geringer
bevorzugt.
To
achieve
a
high
imaging
quality,
at
the
filtering
grid
131,
grid
openings
of
about
300
?m
or
lower
are
preferred.
EuroPat v2
In
der
Umfangswandung
71
des
Endstücks
46
ist
ein
hohlzylindrisches
Filtergitter
72
umspritzt,
das
die
Durchbrüche
70
abdeckt.
A
hollow
cylindrical
filter
screen
72
is
injection
molded
in
the
circumference
wall
71
of
the
end
piece
46
and
covers
the
openings
70
.
EuroPat v2
Ferner
können
innerhalb
des
Gehäuses
zusätzlich
Auffangelektroden
zur
Aufnahme
reflektierter
oder
vom
Filtergitter
131
weggelenkter
Teile
des
Elektronenstrahls
108
vorgesehen
sein,
die
die
Elektronen,
die
nicht
abgebildet
werden
sollen,
absaugen.
Furthermore,
within
the
housing,
additional
collecting
electrodes
for
recording
reflected
parts
of
the
electron
beam
108,
or
those
deflected
by
the
filtering
grid
131,
may
be
provided
for,
which
remove
the
electrons
which
should
not
be
imaged.
EuroPat v2
Gegenstand
der
Erfindung
ist
ferner
ein
Verfahren
zur
Abbildung
eines
Teilchenstrahls
aus
geladenen
Teilchen
mit
einer
bestimmten
Energie-
und
Winkelverteilung
unter
Verwendung
der
erfindungsgemäßen
Abbildungsvorrichtung
auf
einer
Detektoreinrichtung,
bei
dem
die
Teilchen
mit
einer
Ablenkeinrichtung
zu
parallelen
und
abgebremsten
Teilchenstrahlen
oder
-bahnen
geformt
und
auf
ein
Filtergitter
gerichtet
werden,
das
im
Zusammenwirken
mit
der
Ablenkeinrichtung
energieselektiv
Teilchen
mit
einer
Energie
oberhalb
einer
bestimmten
Grenzenergie
zu
einem
Detektor
durchläßt
und
Teilchen
mit
geringeren
Energie
reflektiert.
The
invention
furthermore
relates
to
a
method
for
imaging
of
a
particle
beam
consisting
of
charged
particles
with
a
specific
energy
and
angle
distribution
on
a
detector
unit
for
which
the
particles
are
shaped
into
parallel
and
decelerated
particle
beams
or
trajectories
using
a
deflection
unit
and
are
directed
to
a
filtering
grid,
which
in
interaction
with
the
deflection
unit
lets
particles
pass
energy
selectively
having
an
energy
level
above
a
certain
cut-off
energy
to
a
detector
and
reflects
particles
at
a
lower
energy
level.
EuroPat v2
In
der
Filtereinrichtung
130
ist
ausschließlich
ein
Filtergitter
131
vorgesehen,
das
im
Inneren
des
Gehäuses
101
zwischen
der
in
Richtung
des
einfallenden
Elektronenstrahls
108
letzten
Abbremslinse
124
und
der
Detektoreinrichtung
140
angebracht
ist.
In
the
filtering
device
130,
exclusively
one
filtering
grid
131
is
provided
for,
which
is
mounted
inside
of
the
housing
101
between
the
last
deceleration
lens
124
in
direction
of
the
incoming
electron
beam
108
and
the
detector
device
140
.
EuroPat v2
Es
kann
vorgesehen
sein,
daß
zwischen
dem
Leuchtschirm
141
und
dem
Filtergitter
131
ein
Beschleunigungspotential
ausgebildet
ist.
An
accelerating
potential
may
be
provided
between
the
fluorescent
screen
141
and
the
filtering
grid
131
.
EuroPat v2
Das
Eintrittsgitter
112
erstreckt
sich
über
den
gesamten
Einfallsbereich
des
Elektronenstrahls
108
und
ist
vorzugsweise
wie
das
Filtergitter
131
als
rechteckiges
oder
schiefwinkliges
Streifen-
und
Drahtnetz
ausgebildet.
The
entrance
grid
112
extends
throughout
the
whole
entrance
section
of
the
electron
beam
108
and
is
preferably
in
the
form
of
a
rectangular
or
slanted
angled
stripe
or
wire
mesh,
like
the
filtering
grid
131
.
EuroPat v2