Translation of "Fehlerbewertung" in English
Abhängig
von
der
Berechnungsart
müssen
die
Grenzwerte
der
Fehlerbewertung
angepaßt
werden.
The
limit
values
for
error
analysis
may
need
to
be
adapted,
depending
on
the
type
of
calculation.
EuroPat v2
Visualisierungen
helfen
Experten
bei
der
Fehlerbewertung.
Visualizations
help
experts
evaluate
errors.
ParaCrawl v7.1
Die
vorliegende
Erfindung
räumt
die
oben
genannten
Unsicherheiten
der
Fehlerbewertung
aus,
was
in
Fig.
The
present
invention
overcomes
the
uncertainties
of
the
fault
evaluation
mentioned
above,
which
is
shown
in
FIG.
EuroPat v2
Die
Arbeit
der
Fahrprüfer
muss
von
einer
durch
den
Mitgliedstaat
zugelassenen
Stelle
kontrolliert
und
überwacht
werden,
um
eine
korrekte
und
konsequente
Fehlerbewertung
gemäß
den
Kriterien
dieses
Anhangs
zu
gewährleisten.
The
work
of
driving
examiners
must
be
monitored
and
supervised,
by
a
body
authorised
by
the
Member
State,
to
ensure
correct
and
consistent
application
of
fault
assessment
in
accordance
with
the
standards
laid
down
in
this
Annex.
DGT v2019
Das
erfindungsgemäße
Meßverfahren
läßt
eine
so
weitgehende
Verbesserung
der
Fehlerbewertung
zu,
daß
eine
manuelle
Nachprüfung
in
Zukunft
überflüssig
sein
wird.
The
invention
system
allows
to
achieve
an
improvement
in
the
evaluation
of
defects
to
such
an
extent
that
in
the
future
a
manual
reexamination
will
become
superfluous.
EuroPat v2
Da
jedoch
kein
Laufzeitsignal
vorliegt,
das
dem
Fehlersignal
zugeordnet
werden
kann,
ist
eine
Aussage
über
die
Tiefenlage
des
Fehlers
und
damit
eine
Fehlerbewertung
nicht
möglich.
Since
there
is
no
delay
signal,
however,
that
can
be
associated
with
the
defect
signal,
it
is
not
possible
to
say
anything
about
the
depth
of
the
defect
and
thus
no
assessment
of
the
defect
can
be
made.
EuroPat v2
Im
Zuge
einer
Ultraschall-Werkstoffprüfung
des
Rohrumfanges
sollen
dabei
störende
Echos,
wie
sie
an
den
Flanken
der
Flossen
am
Rohr
oder
den
Ecken
eines
Vielkantprofiles
auftreten
können,
bei
der
Fehlerbewertung
ausgenommen
werden.
In
the
context
of
an
ultrasonic
material
test
of
the
circumference
of
the
tube
interfering
echoes
are
to
be
excluded
in
the
defect
evaluation,
as
such
echoes
can
occur
at
the
flanks
of
the
fins
at
the
tube
or
at
the
edges
of
a
multi-edge
profile.
EuroPat v2
Die
Daten
im
Sollbildspeicher
100
können
mit
Hilfe
dieser
Steuerinformation
zur
Reduzierung
einer
erforderlichen
nicht
linearen
Kennlinie
zur
Fehlerbewertung
herangezogen
werden.
The
data
in
the
set
point-image
memory
100
can
be
used,
with
the
aid
of
this
control
information,
to
reduce
a
required
non-linear
characteristic
for
error
evaluation.
EuroPat v2
Auch
dies
ist
mit
einem
zusätzlichen
Anwachsen
der
Bildinformationen
verbunden
und
für
eine
automatische
Online-Fehlerkontrolle
in
einer
Waferfertigungslinie
mit
weitreichender
Fehlerbewertung
kontraproduktiv.
This,
too,
is
associated
with
an
additional
increase
in
image
data,
and
is
incompatible
with
extensive
defect
evaluation
in
the
context
of
automatic
defect
monitoring
in
a
wafer
production
line.
EuroPat v2
Davon
ausgehend
liegt
der
Erfindung
die
Aufgabe
zugrunde,
ein
Verfahren
zur
Fehlerbewertung
an
strukturierten
Wafern
zu
schaffen,
das
mit
einer
hohen
Sicherheit
eine
Unterscheidung
in
die
Funktionsfähigkeit
eines
Chips
beeinträchtigende
(kritische)
Fehler
und
die
Funktionsfähigkeit
nicht
beeinträchtigende
(unkritische)
Fehler
erlaubt.
SUMMARY
OF
THE
INVENTION
Proceeding
therefrom,
it
is
the
object
of
the
invention
to
create
a
method
for
defect
evaluation
on
patterned
wafers
that
allows,
with
high
reliability,
a
distinction
between
defects
impairing
the
functionality
of
a
chip
(critical
defects)
and
defects
that
do
not
impair
functionality
(noncritical
defects).
EuroPat v2
Wollte
man
mit
den
bisher
bekannten
Mitteln
"online"
eine
automatisierte
Fehlerbewertung
auf
der
Grundlage
der
erfaßten
Bildinformationen
je
Einzelbildfeld
vornehmen,
die
über
eine
Ja/Nein-Aussage
im
Hinblick
auf
das
Vorhandensein
einer
Abweichung
hinausginge,
so
wäre
der
rechentechnische
Aufwand
immens
und
würde
die
heutigen
Möglichkeiten
weit
übersteigen.
If
an
attempt
were
made
with
previously
known
means
to
perform
“online”
automated
defect
evaluation
on
the
basis
of
the
acquired
image
data
for
each
individual
image
field
that
went
beyond
a
yes/no
decision
in
terms
of
the
presence
of
a
deviation,
the
outlay
in
terms
of
computing
technology
would
be
immense
and
would
far
exceed
present-day
capabilities.
EuroPat v2
Die
für
die
Fehlerbewertung
zusätzlich
erforderlichen
Referenzinformationssätze
werden
dann
zum
Zeitpunkt
der
Verarbeitung
der
jeweiligen
Einzelbildfelder
aus
der
Informationsbasis
16,
d.h.
hier
dem
Zentralspeicher,
in
die
Analysevorrichtung
17
hinzugeladen.
The
reference
data
sets
additionally
necessary
for
defect
evaluation
then
need
to
be
loaded
into
analysis
apparatus
17
from
information
base
16
—i.e.
in
this
case
from
the
central
memory—at
the
time
the
respective
individual
image
fields
are
processed.
EuroPat v2
Es
kann
nämlich
bei
einer
Fehlerbewertung
zwischen
gefährlichen
Fehlern,
bei
welchen
durch
den
Fehler
oder
auf
eine
Anforderung
hin
die
Sicherheitsstellung
nicht
mehr
angefahren
werden
kann,
und
ungefährlichen
Fehlern,
bei
welchen
das
Gerät
zwar
nicht
mehr
funktionsfähig
ist,
jedoch
in
die
vorgegebene
Sicherheitsstellung
versetzt
wird,
unterschieden
werden.
Specifically,
in
a
fault
assessment,
a
distinction
can
be
made
between
dangerous
faults,
in
the
case
of
which
the
safe
position
can
no
longer
be
assumed
as
a
result
of
the
fault
or
in
response
to
a
demand,
and
non-dangerous
faults,
in
the
case
of
which
the
appliance
is
duly
no
longer
functional
but
is
placed
into
the
predefined
safe
position.
EuroPat v2
Dabei
kann
mit
der
zweiten
Kamera
insbesondere
eine
detaillierte
Fehlerbewertung
"von
einem
nahen
Standpunkt
aus"
erfolgen.
In
doing
so,
by
the
second
camera
in
particular
a
detailed
fault
evaluation
“from
a
nearby
viewpoint”
can
be
provided.
EuroPat v2
Es
ist
auch
möglich,
Protokollfunktionen
zu
benutzen,
die
für
eine
Fehlerbewertung
der
Übertragungsstrecke
zur
Verfügung
stehen.
It
is
also
possible
to
use
protocol
functions
which
are
available
for
an
error
evaluation
of
the
transmission
distances.
EuroPat v2
Wird
bei
einer
Fehlerbewertung
lediglich
auf
die
einzelnen
Abweichungen
abgestellt,
so
werden
beispielsweise
Maskenfehler
oder
makroskopische
Objekte
nicht
in
ihrem
Zusammenhang
erkannt.
If
a
defect
analysis
is
confined
only
on
the
individual
deviations,
then,
for
example,
mask
defects
or
macroscopic
objects
are
not
recognized
in
terms
of
their
correlation.
EuroPat v2
Im
folgenden
sollen
nun
zwei
Verfahren
zur
Fehlerbewertung
an
strukturierten
Wafern
anhand
der
Fig.2
und
Fig.3
näher
erläutert
werden,
wobei
beide
Vorgehensweisen
auf
den
erfindungsgemäßen
Verfahrensprinzipien
beruhen.
Two
methods
for
defect
evaluation
on
patterned
wafers
will
now
be
explained
in
more
detail
with
reference
to
FIG.
2
and
FIG.
3,
both
procedures
being
based
on
the
method
principles
according
to
the
present
invention.
EuroPat v2
Prinzipiell
kann
die
Auswahl
der
Signalanteile
nach
Spektralbereichen,
die
Ermittlung
der
Signalpegel
und
der
Energie
sowie
die
einfache
Analytik
zur
Schwellenermittlung,
Fehlerbewertung
und
Trendbestimmung
sowohl
analog
erfolgen
als
auch
mit
Digitalprozessoren.
In
principle,
the
selection
of
the
signal
components
by
spectral
regions,
the
determination
of
the
signal
level
and
the
energy,
as
well
as
simple
analysis
for
threshold
definition,
fault
evaluation,
and
trend
determination
can
be
analog
or
digital.
EuroPat v2
Im
folgenden
werden
die
Komponenten
des
Anlaufsystems,
die
über
eine
statistische
Fehlerbewertung
automatisch
angestoßen
werden,
näher
erläutert.
The
components
of
the
startup
system
that
are
automatically
triggered
via
a
statistical
error
evaluation
are
explained
in
greater
detail
below.
EuroPat v2
Der
Mikrocontroller
µC
erhält
nach
Abarbeitung
des
Messauftrages
durch
die
Zündkreis-Messsteuerung
110,
der
Messwertverarbeitung
und
Fehlerbewertung
das
Ergebnis
"Passed"
oder
"Not
Passed"
beziehungsweise
"bestanden"
oder
"nicht
bestanden".
After
the
processing
of
the
measurement
request
by
ignition
circuit
measurement
control
unit
110,
the
measurement
value
processing,
and
an
error
evaluation,
microcontroller
?C
receives
the
result
“passed”
or
“not
passed.”
EuroPat v2
Das
Verfahren
gemäß
einem
der
vorherigen
Ansprüche,
wobei
die
Fehlerbewertung
für
die
einzelnen
Fehlermeldungen
Teilbewertungen
für
die
Fehlerkategorien
von
zumindest
einer
ersten
Teilmenge
von
Fehlerkategorien
umfasst,
und
wobei
das
Erzeugen
(150)
des
einen
oder
der
der
mehreren
Auslöseraktionen
ferner
auf
den
Teilbewertungen
für
die
Fehlerkategorien
von
zumindest
der
ersten
Teilmenge
von
Fehlerkategorien
basiert.
The
method
according
to
one
of
the
previous
claims,
wherein
the
defect
score
for
the
individual
defect
reports
comprises
sub-scores
for
the
defect
categories
of
at
least
a
first
subset
of
defect
categories,
and
wherein
the
generating
(150)
of
the
one
or
more
trigger
actions
is
further
based
on
the
sub-scores
for
the
defect
categories
of
at
least
the
first
subset
of
defect
categories.
EuroPat v2
Dieses
Zusammenspiel
aus
kontinuierlicher
Kraftüberwachung,
Fehlerbewertung
und
Rückkanal
sorgt
für
ein
effizientes
Frühwarnsystem
bei
der
Herstellung
von
Wafern
–
und
bewahrt
vor
Kosten
und
Materialverlust.
This
interplay
between
continuous
force
monitoring,
error
evaluation
and
feedback
channel
ensures
an
efficient
early
warning
system
in
the
production
of
wafers
–
and
protects
against
costs
and
material
losses.
ParaCrawl v7.1
Die
Referenzbilder,
die
bislang
von
der
ASTM
nur
als
Bildkatalog
für
Radiografie-Prüfungen
mit
Film
zur
Verfügung
standen,
können
nun
in
der
digitalen
Radioskopie
über
einen
zweiten
Monitor
zur
Fehlerbewertung
von
Aluminium-
und
Magnesiumlegierungen
im
Druckguss
eingesetzt
werden.
The
reference
images,
which
so
far
have
only
been
available
as
an
image
catalog
for
radiographic
inspections
with
film,
can
now
be
deployed
in
digital
radioscopy
for
defect
evaluation
of
Aluminum
and
Magnesium
alloys
in
die
castings
via
a
second
review
monitor.
ParaCrawl v7.1
Die
Arbeit
der
Fahrprüfer
muss
von
einer
durch
den
Mitgliedstaat
zugelassenen
Stelle
kontrolliert
und
überwacht
werden,
um
eine
korrekte
und
konsequente
Fehlerbewertung
gemäß
den
Krite-rien
dieses
Anhangs
zu
gewährleisten.
The
work
of
driving
examiners
must
be
monitored
and
supervised,
by
a
body
authorised
by
the
Member
State,
to
ensure
correct
and
consistent
application
of
fault
assessment
in
accordance
with
the
standards
laid
down
in
this
Annex.
ParaCrawl v7.1