Translation of "Facettenspiegel" in English

Am Innenrahmen ist ein stabilisierender Kreiselrotor gelagert, der einen ringförmigen Facettenspiegel trägt.
A stabilizing gyro rotor is supported at the inner gimbal and carries an annular facetted mirror.
EuroPat v2
Die Erfindung betrifft auch einen nach dem Verfahren hergestellten Facettenspiegel.
The invention also relates to a faceted mirror produced by the method.
EuroPat v2
Die Erfindung betrifft einen Facettenspiegel für die EUV-Projektionslithografie.
The disclosure relates to a facet mirror for EUV projection lithography.
EuroPat v2
Die Detektoreinrichtung 19 weist nun einen Facettenspiegel 30 auf, der einzelne Facetten 31 trägt.
The detector device 19 now has a multi-facet mirror 30 which carries individual facets 31 .
EuroPat v2
Der Facettenspiegel 10 weist in dem hier dargestellten Ausschnitt des Ausführungsbeispiels drei der Spiegelfacetten 11 auf.
In the detail of the exemplary embodiment illustrated here, the facet mirror 10 has three of the mirror facets 11 .
EuroPat v2
Ein am Innenrahmen sitzender Umlenkspiegel lenkt den Strahlengang schräg zur Seite auf den Facettenspiegel, von dem das abbildende Lichtbündel über weitere optische Gllieder auf den innenrahmenfesten Detektor geleitet wird.
A deflecting mirror disposed at the inner gimbal deflects the path of rays laterally obliquely to the facetted mirror from which the imaging light beam is directed to the detector, which is fixed with respect to the inner gimbal, via further optical members.
EuroPat v2
Die beiden aktiven Spiegel 43' und 43'' sind als Facettenspiegel ausgebildet, die jeweils dieselbe Anzahl von sphärischen Facettenflächen 96 bzw. 97 haben.
The active mirrors 43' and 43" are shaped as facet mirrors each having a plurality of facets.
EuroPat v2
Der vorliegenden Erfindung liegt auch die Aufgabe zugrunde, einen Facettenspiegel mit einer Vielzahl von einzelnen optischen Spiegelelementen zu bilden, der eine homogene Beleuchtungsverteilung bzw. homogene Ausleuchtung und eine sehr exakte Strahlmischung und Feldabbildung erzeugt.
The present invention is based on the object of forming a faceted mirror with a multiplicity of individual optical mirror elements which produces a homogeneous lighting distribution or homogeneous illumination and very exact beam mixing and field imaging.
EuroPat v2
Da durch den Galvanisierungsprozeß exakt nachvollziehbare Verhältnisse geschaffen werden, läßt sich auf diese Weise z.B. ein Facettenspiegel bilden, der die homogene Ausleuchtung eines Feldes ermöglicht, womit eine entsprechend gute Strahlmischung und eine exakte Feldabbildung möglich werden.
Since exactly reproducible conditions are created by the galvanoplastic process, in this way it is possible for example to form a faceted mirror which permits the homogeneous illumination of a field, thereby making correspondingly good beam mixing and exact field imaging possible.
EuroPat v2
Das Licht einer Quelle 2, z.B. eines Lasers, wird über einen Kollektorspiegel 3 auf den Facettenspiegel 1 geworfen, wo es mit der gewünschten gleichmäßigen Ausleuchtung über einen Umlenkspiegel 4 einem Reticle (Maske) 5 zugeführt wird.
The light of a source 2, for example of a laser, is cast via a collector mirror 3 onto the faceted mirror 1, where it is fed with the desired uniform illumination via a deflecting mirror 4 to a reticle (mask) 5 .
EuroPat v2
Der Grundkörper 8 kann z.B. auf galvanische Weise abgeformt sein, wobei dessen Funktionsfläche bezüglich Krümmung, Position und Lage den Forderungen entspricht, die an den fertigen Facettenspiegel 1 gestellt werden.
The basic body 8 may be formed for example by galvanic means, its functional surface corresponding with respect to curvature and position to the requirements which the finished faceted mirror 1 has to meet.
EuroPat v2
Auf diese Weise ergibt sich am Ende ein Facettenspiegel als praktisch ein einziges monolithisches Teil in äußerst präziser Ausgestaltung.
In this way, a faceted mirror is finally obtained as virtually a single monolithic part in an extremely precise form.
EuroPat v2
Die Hilfsstruktur kann zur genaueren Anpassung aus mehreren Einzelstempeln 12a, 12b, 12c... zusammengesetzt sein, die zusammen eine Oberfläche in Negativform für den herzustellenden Facettenspiegel bilden und bei einer sphärischen Fläche entsprechend auf Abstand zueinander liegen bzw. Zwischenräume aus Platzgründen vorsehen.
For more accurate adaptation, the auxiliary structure may be made up of a plurality of individual dies 12 a, 12 b, 12 c . . ., which together form a surface in negative form for the faceted mirror to be produced and, in the case of a spherical surface, lie correspondingly at a distance from one another, or provide intermediate gaps for reasons of space.
EuroPat v2
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Laserstrahl (3) mit einem Schwingspiegelsystem (4) oder einem Facettenspiegel in Bezug auf die Brennfleckgeometrie und/oder auf die Intensitätsverteilung im Brennfleck beeinflußt wird.
Method according to claim 1 characterized in that the laser beam (3) is influenced, with regard to at least one of the focal spot geometry and the intensity distribution in the focal spot, by means of one of an oscillating mirror system (4) ad a faceted mirror.
EuroPat v2
Wenn wir die erste Option zu prüfen, müssen Sie festlegen, dass ein Facettenspiegel gefärbt werden können, und gebogen, und gelten als die wichtigsten in den Spiegel als Markennamen zu sein, Logos.
If we consider the first option, you must specify that a facet mirror can be colored and curved, and are considered to be the most relevant in the mirror as brand names, logos.
ParaCrawl v7.1
Die optischen Umlenkmittel umfassen dabei vorzugsweise ein keilförmiges optisches Prisma, eine Sammellinse, ein holografisches optisches Element, ein diffraktives optisches Element, einen Umlenk-, Dach- und/oder einen Facettenspiegel.
The optical deflection means in this instance preferably comprise a wedge-like optical prism, a collecting lens, a holographic optical element, a diffractive optical element, a deflection mirror, a roof type mirror and/or a bevelled mirror.
EuroPat v2
Derartige Facettenspiegel sind aus einer Vielzahl von Einzelspiegeln oder Spiegelfacetten aufgebaut, welche jeweils zum Zwecke der Justage oder auch zur Realisierung bestimmter Beleuchtungswinkelverteilungen über Festkörpergelenke kippbar ausgelegt sein können.
Such facet mirrors are constructed from a multiplicity of individual mirrors or mirror facets, which each can be designed to be tiltable by way of flexure bearings for the purposes of adjusting, or else for realizing specific illumination angle distributions.
EuroPat v2
Ein solcher Spiegel kann beispielsweise als Facettenspiegel, DMD oder adaptiver Spiegel ausgestaltet werden, wobei bei den letzten beiden Varianten eine entsprechende Einstellung bzw. Ansteuerung die Neigung der Spiegelelemente sicherstellt.
Such a mirror may be designed, for example, as a multi-faceted mirror, a DMD (digital mirror device) or as an adaptive mirror, wherein in the case of the latter two variants a suitable setting or more specifically actuation ensures the tilt of the mirror elements.
EuroPat v2
Die Erfindung ist jedoch nicht auf die Anwendung auf den Facettenspiegel beschränkt, so dass grundsätzlich auch andere Spiegel (auch solche, die nicht aus einer Mehrzahl von Spiegelelementen zusammengesetzt sind) in der erfindungsgemäßen Weise ausgestaltet werden können.
However, the invention is not restricted to the application to the facet mirror, and so, as a matter of principle, other mirrors can also be designed in the manner according to the invention (even those which are not composed of a plurality of mirror elements).
EuroPat v2
Ferner betrifft die Erfindung eine Beleuchtungsoptik mit einem derartigen Facettenspiegel, ein Beleuchtungssystem und ein optisches System mit einer derartigen Beleuchtungsoptik, eine Projektionsbelichtungsanlage mit einem derartigen optischen System, ein Verfahren zur Herstellung eines mikro- bzw. nanostrukturierten Bauteils mithilfe einer derartigen Projektionsbelichtungsanlage.
The disclosure furthermore relates to an illumination optical unit having such a facet mirror, to an illumination system and to an optical system having such an illumination optical unit, to a projection exposure apparatus having such an optical system, to a method for producing a microstructured or nanostructured component by way of such a projection exposure apparatus, and to a microstructured or nanostructured component that is produced by way of such a method.
EuroPat v2
Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Facettenspiegel der eingangs genannten Art derart weiterzubilden, dass dessen EUV-Durchsatz insbesondere bei einem längeren Betrieb einer hiermit ausgerüsteten Projektionsbelichtungsanlage erhöht ist.
SUMMARY The disclosure seeks to develop a facet mirror for EUV projection lithography with increased EUV throughput thereof, particularly for prolonged operation of a projection exposure apparatus that is equipped therewith.
EuroPat v2
Der Spiegelscanner umfasst beispielsweise mehrere drehbare Facettenspiegel oder verkippbare Ablenkspiegel, die den Laserstrahl entsprechend den eingestellten Winkel der Spiegel auf unterschiedliche Orte des Werkstücks richten können.
The mirror scanner comprises, for example, a plurality of rotatable facet mirrors or tiltable deflection mirrors, which can direct the laser beam onto different sites of the workpiece depending on the set angles of the mirrors.
EuroPat v2
Die gepumpte Strahlung kann, obwohl dies nicht in Figur 6 dargestellt ist, aus den Festkörpern über entsprechende Austrittsfenster 9, oder die Seitenflächen, ausgekoppelt werden und mittels einer geeigneten optischen Anordnung, wie Facettenspiegel, zu einem Strahl zusammengefaßt werden.
Though this is not shown in FIG. 6, the pumped radiation from the solid bodies can be coupled via appropriate emission windows 9, or the side surfaces, and collected by means of a suitable optical array, such as of bevel-edged mirrors, into a beam.
EuroPat v2
Im Gehäuse dem Sensor 22 gegenüberliegend ist ein kegelabschnittsförmiger Facettenspiegel 24 vorgesehen, welcher im Gehäuse 14 auf der Höhe des seitlich umlaufenden Linsenbereichs 18 liegt und durch diesen mit einfallender Strahlung beaufschlagt werden kann, welche dann durch die Facetten der Spiegeleinheit 24 auf dem Sensor 22 umgelenkt wird.
A facet mirror 24 in the form of segments of a cone is provided opposite the sensor 22 in the housing, said mirror being at the level of the laterally encircling lens region 18 in the housing 14 and being able to have incident radiation applied to it by the latter, which radiation is then deflected to the sensor 22 by the facets of the mirror unit 24 .
EuroPat v2
Die Erfindung betrifft einen Facettenspiegel mit mehreren Spiegelfacetten, welcher in Beleuchtungseinrichtungen für Projektionsbelichtungsanlagen in der Mikrolithographie, insbesondere für in der Mikrolithographie unter Verwendung von Strahlung im Bereich des extremen Ultravioletts, einsetzbar ist.
The invention relates to a facet mirror having a number of mirror facets that can be used in illuminating devices for projection exposure machines in microlithography, in particular when employing radiation in the region of the extreme ultraviolet.
EuroPat v2