Translation of "Einätzen" in English
Solche
Gräben
lassen
sich
ohne
Schwierigkeiten
und
sehr
genau
einätzen
oder
einritzen.
Trenches
of
this
type
can
be
etched
in
or
engraved
very
precisely
without
difficulty.
EuroPat v2
Ja,
wir
können
mikroskopisch
kleine
Markierungen
einätzen,
was
unseren
Kunden
die
größtmögliche
Sicherheit
gibt.
Yes,
we're
able
to
etch
microscopic
markings
that
provides
a
degree
of
security
our
clients
require.
OpenSubtitles v2018
Die
Isolierzonen
9
und
10
werden
durch
Einätzen
von
Vertiefungen
in
die
Epitaxialschicht
8
gebildet.
Isolation
regions
9
and
10
are
formed
by
etching
trenches
into
epitaxial
layer
8.
EuroPat v2
Zur
Verhinderung
eines
Verrutschens
der
Obermatratze
ist
die
Oberfläche
durch
Erodieren
oder
Einätzen
von
Strukturen
aufgerauht.
To
hinder
a
sliding
of
the
upper
mattress,
the
surface
is
roughened
by
erosion
or
by
inserting
structures.
EuroPat v2
Nach
dem
Einätzen
der
Aussparung
10
wird
die
Oberfläche
der
ganzen
Anordnung
dann
mit
einer
Schicht
aus
Aluminium
oder
einer
Aluminium-Siliciumlegierung
versehen,
wie
in
Fig.
After
the
recess
10
is
etched,
the
surface
of
the
entire
arrangement
is
provided
with
a
layer
of
aluminum
or
an
aluminum-silicon
alloy,
as
shown
in
FIG.
EuroPat v2
Verfahren
nach
Anspruch
1,
dadurch
gekennzeichnet,
daß
das
Einbringen
der
weiteren
Nuten
(4)
durch
Einätzen
erfolgt.
The
method
in
accordance
with
claim
1
wherein
said
second
grooves
are
provided
by
etching.
EuroPat v2
Ist
dies
nicht
möglich
oder
nicht
zweckmässig,
kann
ein
Spiegel
auch
durch
ein
Reflexionsgitter
oder
durch
Einätzen
oder
Einbohren
einer
Vertiefung
in
das
Substrat
1
realisiert
werden.
If
this
is
not
possible
or
not
expedient,
a
mirror
can
also
be
constructed
by
a
reflection
grating
or
by
etching
in
or
drilling
a
depression
into
the
substrate
1.
EuroPat v2
Mit
der
Erfindung
läßt
sich
erreichen,
daß
nach
selektivem
Abätzen
des
ursprünglichen
Substratkörpers
12
und
nachfolgendem
selektivem
Einätzen
der
Maskierungsstruktur
in
die
Schicht
13
ein
Körper
bestehend
aus
den
Schichten
14
und
15
und
dem
Trägerkörper
16
entsteht,
bei
dem
=
abgesehen
von
der
Maskierungsschicht
13
-
die
Schicht
14,
in
der
der
pn-Übergang
herzustellen
ist,
oberste
Schicht
desjenigen
Körpers
ist,
wie
ihn
Figur
2
zeigt.
With
the
invention,
after
selectively
etching
off
the
original
substrate
body
12
and
subsequent
selective
etching-in
of
the
masking
structure
into
the
layer
13,
a
body
consisting
of
the
layers
14
and
15
and
of
the
carrier
body
16
arises
wherein--apart
from
the
masking
layer
13--the
layer
14
in
which
the
pn
junction
is
to
be
manufactured
is
the
uppermost
layer
of
that
body,
as
shown
in
FIG.
2.
EuroPat v2
Vorzugsweise
wird
diese
Maskierung
mittels
einer
Lackmaske
vorgenommen,
in
die
photolithographisch
Ausnehmungen
eingebracht
werden,
die
das
Dünnschichtsystem
in
denjenigen
Bereichen
freilegen,
innerhalb
derer
sich
jeweils
ein
Fenster
31'
für
das
Einätzen
einer
Justiermarke
befindet.
This
masking
is
preferably
performed
through
the
use
of
a
resist
mask
into
which
cutouts
are
introduced
photolithographically.
The
cutouts
uncover
the
thin-film
system
in
those
areas
within
which
a
window
31
?
for
the
etching
in
of
an
alignment
marker
is
respectively
situated.
EuroPat v2
Die
Abmessungen
der
Strukturen
der
Isolierschichten
26
und
27
und
der
Strukturen
der
Kapazitätselektrodenschichten
3
und
9
sind
dabei
so
gewählt,
daß
ein
ausreichender
Abstand
zwischen
ihnen
und
den
leitenden
im
Schnitt
trapezförmigen
Abstandshaltern
7,
die
durch
Einätzen
von
Kavitäten
im
Grundkörper
1
hergestellt
sind,
vorhanden
ist.
The
dimensions
of
the
insulating
layers
26
and
27
as
well
as
the
capacitance
electrode
layers
3
and
9
have
been
chosen
so
that
a
sufficient
clearance
exists
between
them
and
the
conductive
spacers
7.
The
spacers
7,
which
are
trapezoidal
in
cross
section,
are
created
by
etching
cavities
into
the
base
1.
EuroPat v2
Die
Erfindung
betrifft
ein
Verfahren
zum
Erzeugen
von
Lochöffnungen
oder
Gräben
in
aus
n-dotiertem
Silizium
bestehenden
Schichten
oder
Substraten,
wie
sie
bei
der
Herstellung
von
Halbleiterbauelementen,
insbesondere
hochintegrierten
Halbleiterschaltungen,
verwendet
werden,
durch
maskiertes
Einätzen.
BACKGROUND
OF
THE
INVENTION
The
present
invention
relates
generally
to
the
manufacture
of
semiconductor
components.
More
particularly,
the
present
invention
is
directed
to
a
method
for
generating
apertured
openings
or
trenches
in
layers
or
substrates
composed
of
n-silicon
as
used
in
the
manufacture
of
semiconductor
components,
particularly
LSI
semiconductor
circuits,
through
masked
etching.
EuroPat v2
In
einem
Ausführungsbeispiel
der
Erfindung
werden
die
durchgehenden
Öffnungen
in
der
Schutzschicht,
welche
auf
der
ersten
Grünfolie
angeordnet
ist,
mittels
Maskieren
der
Schutzschicht
durch
eine
Maskierungsschicht
und
Einätzen
der
durchgehenden
Öffnungen
erzeugt.
In
one
exemplary
embodiment
of
the
present
invention,
the
through
openings
in
the
protective
layer,
which
is
positioned
on
the
first
green
film,
are
produced
by
masking
the
protective
layer
with
a
masking
layer,
and
etching
the
through
openings.
EuroPat v2
Die
kastenförmigen
Einsätze
können
Stifte
aufweisen,
die
jeweils
in
Kontakt
mit
den
aus
Metall
gefertigten
vertikalen
Profilen
treten,
um
Spannung
aufzunehmen,
damit
die
LEDs,
die
in
den
kastenförmigen
Einätzen
angeordnet
sind,
mit
Spannung
versorgt
werden.
The
box-shaped
inserts
can
have
pins,
which
in
each
case
come
into
contact
with
the
vertical
profiles
made
from
metal,
in
order
to
receive
voltage
so
that
the
LEDs
disposed
in
the
box-shaped
inserts
are
supplied
with
voltage.
EuroPat v2
Werden
Oxidstrukturen
mit
schneidenförmiger
Spitzenstruktur
hergestellt,
so
lassen
sich
gegebenenfalls
zwei
Öffnungen
in
die
Spitze
der
Oxidschicht
beziehungsweise
den
Bodenbereich
24
einätzen.
If
oxide
structures
having
an
edge-like
tip
structure
are
produced,
two
openings
can
be
etched
into
the
tip
of
the
oxide
layer
or
the
bottom
area
24,
if
required.
EuroPat v2
Werden
Oxidstrukturen
mit
plateauförmiger
Struktur
an
der
zulaufenden
Seite
des
Stumpfes
der
Oxidschicht
26
hergestellt,
so
lassen
sich
gegebenenfalls
vier
Öffnungen
in
die
Spitze
der
Oxidschicht
26
einätzen.
If
oxide
structures
are
produced
having
a
plateau-like
structure
on
the
tapering
side
of
the
stump
of
the
oxide
layer
26
four
openings
can
be
etched
into
the
tip
of
the
oxide
layer
26,
if
required.
EuroPat v2
Danach
erfolgt
ein
Einätzen
von
Kontaktlöchern
und
Justiergräben
in
die
Isolatorschicht,
wobei
die
Kontaktlöcher
und
Justiergräben
an
ihrer
Unterseite
an
der
Metallschicht
ausmünden.
Afterwards,
contact
holes
and
alignment
trenches
are
etched
into
the
insulator
layer,
the
contact
holes
and
alignment
trenches
opening
out
at
the
metal
layer
at
their
underside.
EuroPat v2
Andererseits
würde
ein
solcher
"optimaler"
Prozess
zu
einer
unerwünschten
isotropen
statt
anisotropen
Ätzung
führen,
während
der
erfindungsgemäße
Prozess
trotz
der
kurzen
Passiviergastakte
weiterhin
ein
anisotropes
Einätzen
von
Strukturen
ermöglicht.
However,
such
an
“optimum”
process
would
lead
to
undesired
isotropic
etching
instead
of
anisotropic
etching,
while
the
process
according
to
the
present
invention,
in
spite
of
the
short
passivation
gas
cycles,
still
allows
anisotropic
etching
of
structures.
EuroPat v2
Wir
können
jegliche
Designideen
in
das
Leder
einätzen,
egal
wie
kompliziert
sie
sind.
Verschiedene
Designstile,
unterschiedliche
Farben
und
unterschiedliche
Größen
stehen
für
eine
Vielzahl
von
Looks
zur
Verfügung.
We
can
etch
any
design
ideas
into
the
leather
no
matter
how
intricate
they
are.
Different
design
styles,
different
colors,
different
sizes
are
available
for
a
wide
variety
of
looks.
CCAligned v1